【技术实现步骤摘要】
一种振板式超声波装置及振板式超声波清洗装置
[0001]本技术涉及清洗
,具体涉及一种振板式超声波清洗装置。
技术介绍
[0002]超声波技术发展于二十世纪三十年代,目前已广泛应用于化学、医学、食品工业、制造工业、废水处理等方面。超声波清洗技术是利用超声波在液体介质中的空化效应对待清洗件表面进行清洗,其特点是清洗效率高、清洗效果好,且易于实现自动化,特别适用清洗件表面形状复杂的精细清洗(王志勇,飞机滤芯清洗工艺研究及设备研制[D].大连理工大学,2019.)。
[0003]目前超声清洗技术常用于清洗喷丝板、半导体产品、wafer晶圆、钟表和精密机械的零件、电子元器件、电路板组件等机械零部件(超声波特性参数对Wafer清洗效果的影响机理及实验研究[D].天津大学,2014.)。常规的带清洗槽式超声波清洗机,其特点是由若干个超声换能器置于清洗槽底部,自下而上超声对清洗槽内待清洗件进行清洗。因其超声功率密度小而难以对结构复杂的精密件起到高效的清洗效果,并且清洗液一般需选用强酸、强碱或强极性有机溶剂,产生大量的化学废液 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种振板式超声波装置,包括换能器和与其相连的振板,其特征在于,所述的振板上设有用于放置待清洗件的第一开孔和紧固件,所述的紧固件将待清洗件与振板固定连接。2.根据权利要求1所述的振板式超声波装置,其特征在于,所述的紧固件为紧固板。3.根据权利要求2所述的振板式超声波装置,其特征在于,所述紧固板上设有第二开孔,所述的第二开孔与第一开孔的位置对应。4.根据权利要求1所述的振板式超声波装置,其特征在于,所述的振板与换能器通...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄显雯,马洪波,张永刚,徐敏军,
申请(专利权)人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所,
类型:新型
国别省市:
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