一种集成光收发器制造技术

本发明专利技术涉及半导体技术领域，本发明专利技术公开了一种集成光收发器，该集成光收发器包括集成连接的滤波件、交织滤波器和温度传感器；该滤波件用于实现不同波长的光的合波或者分波；该温度传感器用于监测该集成光收发器的温度；该滤波件与该交织滤波器波导连接，该交织滤波器用于接收该温度传感器监测的温度，当该温度小于预设温度时，调整波长偏离的光的波长于原波长的位置，从而本申请提供的集成光收发器具有成本高、尺寸小和性能好的特点。尺寸小和性能好的特点。尺寸小和性能好的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种集成光收发器


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种集成光收发器。

技术介绍

[0002]随着人们对信息传输、处理速度要求的不断提高和多核计算时代的来临，基于金属的电互连将会由于过热、延迟、电子干扰等缺陷成为发展瓶颈。而采用光互连来取代电互连，可以有效解决这一难题。在光互连的具体实施方案中，硅基光互连以其无可比拟的成本和技术优势成为首选。硅基光互连既能发挥光互连速度快、带宽大、抗干扰、功耗低等优点，又能充分利用微电子标准互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)工艺成熟、高密度集成、高成品率、成本低廉等优势，其发展必将推动新一代高性能计算机、数据通信系统的发展，有着广阔的市场应用前景。
[0003]硅基光互连的核心技术是在硅基SOI(siliconon insulator)硅光波导的工艺基础上实现各种光电功能的器件，如集成光接收器件(receiver)：包括硅光波导(WG，waveguide)、多路复用器(MUX)、多路分解器(DEMUX)、探测器(PD，photodetector)等元器件组成。
[0004]现有CWDM(Coarse Wavelength Division Multiplexing，粗波分复用，信道间距20nm)接收器产品的技术方案是基于薄膜或非热敏氧化硅AWG(Arrayed Waveguide Grating)和光探测器(或光探测器阵列)封装在一起。这样的方案成本高，尺寸大，性能差。/>
技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的是现有技术中光接收器件成本高、尺寸大和性能差的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本申请公开了一种集成光收发器，其包括集成连接的滤波件、交织滤波器和温度传感器；
[0007]该滤波件用于实现不同波长的光的合波或者分波；
[0008]该温度传感器用于监测该集成光收发器的温度；
[0009]该滤波件与该交织滤波器波导连接，该交织滤波器用于接收该温度传感器监测的温度，当该温度小于预设温度时，调整波长偏离的光的波长于原波长的位置。
[0010]可选地，还包括第一光模转换器和探测器；
[0011]该滤波件为解复用器；
[0012]该第一光模转换器的输入端与光纤连接；
[0013]该第一光模转换器的输出端与该交织滤波器的输入端波导连接；
[0014]该交织滤波器的输出端与该滤波件的输入端波导连接；
[0015]该滤波件的输出端与探测器波导连接。
[0016]可选地，该温度传感器位于该交织滤波器与该滤波件之间的区域。
[0017]可选地，该滤波件的数量为至少两个；
[0018]该探测器的数量为至少两个。
[0019]可选地，该滤波件的信道间距大于该交织滤波器的信道间距。
[0020]可选地，还包括激光器、调制器和第二光模转换器；
[0021]该滤波件为复用器；
[0022]该激光器的输出端与该调制器的输入端波导连接；
[0023]该调制器的输出端与该滤波件的输入端波导连接；
[0024]该滤波件的输出端与该交织滤波器的输入端波导连接；
[0025]该交织滤波器的输出端与该第二光模转换器的输入端波导连接；
[0026]该第二光模转换器的输出端与光纤连接。
[0027]可选地，该温度传感器位于该激光器与该调制器之间的区域。
[0028]可选地，该激光器的数量为至少两个；
[0029]该调制器的数量与该激光器的数量相同。
[0030]可选地，该温度传感器为片上温度传感器或者片外温度传感器。
[0031]可选地，该交织滤波器包括加热器或者PIN二极管；
[0032]该加热器或者PIN二极管用于当该温度小于预设温度时，通过外部施加的电流调整该波长偏离的光的波长于该原波长的位置。
[0033]采用上述技术方案，本申请提供的集成光收发器具有如下有益效果：
[0034]本申请提供的集成光收发器包括集成连接的滤波件、交织滤波器和温度传感器，该滤波件与该交织滤波器波导连接，具有集成度高、尺寸小和成本低的优点，其中，该滤波件用于实现不同波长的光的合波或者分波，该温度传感器用于监测该集成光收发器的温度，因此，当温度传感器检测的温度小于预设温度时，控制单元会发送信号给交织滤波器，从而交织滤波器可以调整波长偏离的光的波长于原波长的位置，进而使得经过本申请的交织滤波器的光的波长均为偏离很小范围的光波，降低了器件光的传输损耗，提高了器件的性能。
附图说明
[0035]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0036]图1为本申请一种可选地实施方式中集成光收发器的结构示意图；
[0037]图2为现有技术中接收器件的结构示意图；
[0038]图3为本申请另一种可选地实施方式中集成光收发器的结构示意图；
[0039]图4为本申请另一种可选地实施方式中集成光收发器的结构示意图；
[0040]图5为本申请的交织滤波器滤波的过程示意图。
[0041]以下对附图作补充说明：
[0042]1-交织滤波器；101-加热器/PIN二极管；2-滤波件；21-第一滤波件；22-第二滤波件；3-温度传感器；4-LC接头；5-透镜；6-微透镜阵列；7-PLC解复用器；8-APD阵列；9-电路板；10-探测器；11-第一光模转换器；12-激光器；13-调制器；14-第二光模转换器。
具体实施方式
[0043]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0044]此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本申请至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含的包括一个或者更多个该特征。而且，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成光收发器，其特征在于，包括：集成连接的滤波件(2)、交织滤波器(1)和温度传感器(3)；所述滤波件(2)用于实现不同波长的光的合波或者分波；所述温度传感器(3)用于监测所述集成光收发器的温度；所述滤波件(2)与所述交织滤波器(1)波导连接，所述交织滤波器(1)用于接收所述温度传感器(3)监测的温度，当所述温度小于预设温度时，调整波长偏离的光的波长于原波长的位置。2.根据权利要求1所述的集成光收发器，其特征在于，还包括第一光模转换器(11)和探测器(10)；所述滤波件(2)为解复用器；所述第一光模转换器(11)的输入端与光纤连接；所述第一光模转换器(11)的输出端与所述交织滤波器(1)的输入端波导连接；所述交织滤波器(1)的输出端与所述滤波件(2)的输入端波导连接；所述滤波件(2)的输出端与探测器(10)波导连接。3.根据权利要求2所述的集成光收发器，其特征在于，所述温度传感器(3)位于所述交织滤波器(1)与所述滤波件(2)之间的区域。4.根据权利要求2所述的集成光收发器，其特征在于，所述滤波件(2)的数量为至少两个；所述探测器(10)的数量为至少两个。5.根据权利要求1所述的集成光收发器，其特征在于，所述滤波件(2)的信道间距大于所述交织滤波器(1)的信道间...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯大增，王奕琼，梁虹，武爱民，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：