一种样品转移装置及转移方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种样品转移装置及转移方法。所述装置包括：样品台，所述样品台用于放置样品；密封罩，所述密封罩包括罩本体，所述罩本体罩设于所述样品台，所述罩本体设有通气孔；弹性密封抽吸组件，所述弹性密封抽吸组件弹性压盖所述密封罩的通气孔，并当所述弹性密封抽吸组件被移离所述通气孔时能够使得所述通气孔连通抽吸通道。本发明专利技术兼具正负压转移模式，适用不同的样品转移要求，成本可降低一个量级，更有利于普及应用；对于一般空气敏感样品，省却了需要单独配置抽真空等设备的麻烦，可直接将空气敏感样品保持在真空内，且该新装置能实现转移过程中较好的大气环境隔绝。现转移过程中较好的大气环境隔绝。现转移过程中较好的大气环境隔绝。

【技术实现步骤摘要】
一种样品转移装置及转移方法


[0001]本专利技术涉及光电子能谱分析
，具体涉及一种光电子能谱分析仪的空气敏感样品转移装置及转移方法。

技术介绍

[0002]X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy，XPS)是一种基于光电效应的能谱技术，利用一定能量的软X射线激发出材料表面原子的内层电子，通过检测光电子的动能及其数量关系，由此获取样品表面各元素的化学态信息及其相对含量。XPS仪器的常规进样方式是先将样品制备在标准样品托上，然后转移至仪器的进样室进行预抽真空，这一过程中样品都是暴露在大气环境下的，对于一些空气敏感(如易氧化、易潮解)或者要求比较苛刻的特殊样品(如UPS样品)的测试结果影响很大。
[0003]目前有一些样品转移装置，比如可以确保样品在正压(略大约大气压)惰性气氛环境中转移，避免样品从制备完成后到进入能谱仪器的过程中暴露外部环境，实现半原位转移，保证科研数据测试的有效性和准确性，但在使用过程中需要特制的真空抽气系统配合使用，成本较高。也有此类技术商品化的应用于电子能谱仪上的真空传递舱(负压转移)，但其价格昂贵，体积较大(不能放入手套箱)，传递装置及过程比较复杂，因此难以推广应用。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术的不足，本专利技术旨在提供一种样品转移装置及转移方法，以使其能适用于不同压力条件下的转移场合，比如样品起始为正压或负压的环境进行转移，从而降低成本，简化操作流程。
[0005]本专利技术首先提出一种样品转移装置，所述装置包括：
[0006]样品台，所述样品台用于放置样品；
[0007]密封罩，所述密封罩包括罩本体，所述罩本体罩设于所述样品台，所述罩本体设有通气孔；
[0008]弹性密封抽吸组件，所述弹性密封抽吸组件弹性压盖所述密封罩的通气孔，并当所述弹性密封抽吸组件被移离所述通气孔时能够使得所述通气孔连通抽吸通道。
[0009]根据本专利技术的一种实施方式，所述弹性密封抽吸组件包括：
[0010]密封压头，所述密封压头被压下时底部密封压盖所述密封罩的通气孔；
[0011]弹性元件，所述弹性元件设于所述密封压头和抽吸元件之间；
[0012]抽吸元件，所述抽吸元件设有抽吸通道；
[0013]外密封部，所述外密封部沿所述密封压头的周向设置，使得所述密封压头的周向形成有密封空间；
[0014]密封空间，该密封空间自所述密封压头的底部起始向上延伸，当所述抽吸元件与所述密封压头之间有间隔时，所述密封空间与所述抽吸元件的抽吸通道连通。
[0015]根据本专利技术的一种实施方式，所述外密封部与所述密封罩固定连接，所述抽吸元
件能相对所述外密封部运动，所述弹性密封抽吸组件还包括定位元件，以固定所述抽吸元件与所述外密封部的相对位置。
[0016]根据本专利技术的一种实施方式，所述外密封部包括固定限位件和运动件，所述固定限位件与所述密封罩固定连接，所述运动件与所述固定限位件环向连接，所述运动件带动所述抽吸元件相对所述密封罩上下运动。
[0017]根据本专利技术的一种实施方式，所述固定限位件设有第一限位部分，所述运动件设有与所述第一限位部分相匹配的第二限位部分。
[0018]根据本专利技术的一种实施方式，所述第一限位部分为具有上下限位面的凸缘，所述第二限位部分为具有上下限位面的凹槽，该凹槽与所述凸缘相配合限位，所述外密封部还包括第二定位元件，该第二定位元件以固定所述运动件与所述固定限位件的相对位置。
[0019]根据本专利技术的一种实施方式，所述运动件为中空回转件，所述运动件设有内螺纹，所述密封罩还包括凸起部分，所述凸起部分自所述密封罩的罩本体向上延伸，并在周向包围所述通气孔，所述凸起部分的内周与所述密封压头的外周向之间留有间隙，所述凸起部分设有外螺纹，该外螺纹与所述运动件的内螺纹相配合，所述运动件螺旋安装于所述凸起部分外。
[0020]根据本专利技术的一种实施方式，所述运动件的下端外周设有周向凹槽，所述固定限位件设于所述运动件的下端外周处，所述固定限位件的内周设有周向凸缘，所述运动件的凹槽与所述固定限位件的凸缘配合安装，且所述凹槽的高度大于所述凸缘的高度。
[0021]根据本专利技术的一种实施方式，所述抽吸元件穿入所述运动件的中空部分，所述抽吸元件的中部设有所述抽吸通道，所述抽吸元件在外周与所述密封罩的凸起部分的内周形成周向密封。
[0022]根据本专利技术的一种实施方式，所述密封压头呈柱状体，所述密封压头的底部封闭，该底部以压盖所述通气孔，所述密封压头在底端设有周向凸缘，所述抽吸元件在底端设有周向凹进部分，所述弹性元件设于所述凸缘与所述凹进部分之间。
[0023]根据本专利技术的一种实施方式，所述密封压头在下底面设有密封槽，以与所述密封罩之间形成密封连接。
[0024]根据本专利技术的一种实施方式，所述抽吸元件与所述运动件的上端通过卡簧连接。
[0025]根据本专利技术的一种实施方式，所述固定限位件在周向由两部分拼接而成，所述固定限位件通过螺钉与所述密封罩连接。
[0026]根据本专利技术的一种实施方式，所述弹性元件为弹簧。
[0027]根据本专利技术的一种实施方式，所述样品转移装置还包括紧固部分，所述紧固部分与所述密封罩紧固连接，并在所述样品台的外部中间部分压紧所述样品台与所述密封罩。
[0028]根据本专利技术的一种实施方式，所述紧固部分包括两侧对称的紧固部、连接板和球形压头，所述紧固部与所述密封罩可拆卸连接，所述连接板连接所述两侧的紧固部，所述球形压头可拆卸穿过所述连接板的中间位置，以压紧所述样品台。
[0029]根据本专利技术的一种实施方式，所述紧固部包括第四连接孔和连接螺钉，所述第四连接孔包括相连接的光孔和第二螺纹孔，所述连接螺钉包括相连接的光轴和螺纹轴，所述光轴与所述光孔相配合，所述螺纹轴与所述第二螺纹孔相配合；优选地，所述连接螺钉还包括旋钮部，该旋钮部与所述光轴相连接。
[0030]根据本专利技术的一种实施方式，所述密封罩的下端设有定向槽，以与所述样品台定位安装；所述密封罩的侧面设有传送连接部，优选地，所述传送连接部包括连接孔；所述密封罩上与所述样品台连接的底面设有密封槽，以容纳密封圈；所述样品台的侧面设有第二传送连接部，优选地，所述第二传送连接部包括第五连接孔；优选地，所述密封罩、所述样品台均为回转件；所述样品转移装置的材质为钛合金。
[0031]本专利技术还提出一种利用所述样品转移装置进行样品转移的方法，所述方法包括将所述样品转移装置内的样品的起始状态处于负压或正压后转移。
[0032]根据本专利技术的一种实施方式，当所述样品的起始状态处于负压进行转移，包括以下步骤：
[0033]S1、通过所述弹性密封抽吸组件对所述密封罩上的通气孔施加一定弹力，将所述样品转移装置置入真空环境，使得样品所在区域气体压力大于所述装置的外部环境压力，从而使得样品所在区域的气体顶开所述弹性密封抽吸组件，进而使得所述通气孔连通所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品转移装置，其特征在于，所述装置包括：样品台，所述样品台用于放置样品；密封罩，所述密封罩包括罩本体，所述罩本体罩设于所述样品台，所述罩本体设有通气孔；弹性密封抽吸组件，所述弹性密封抽吸组件弹性压盖所述密封罩的通气孔，并当所述弹性密封抽吸组件被移离所述通气孔时能够使得所述通气孔连通抽吸通道。2.根据权利要求1所述的样品转移装置，其特征在于，所述弹性密封抽吸组件包括：密封压头，所述密封压头被压下时底部密封压盖所述密封罩的通气孔；弹性元件，所述弹性元件设于所述密封压头和抽吸元件之间；抽吸元件，所述抽吸元件设有抽吸通道；外密封部，所述外密封部沿所述密封压头的周向设置，使得所述密封压头的周向形成有密封空间；密封空间，该密封空间自所述密封压头的底部起始向上延伸，当所述抽吸元件与所述密封压头之间有间隔时，所述密封空间与所述抽吸元件的抽吸通道连通。3.根据权利要求2所述的样品转移装置，其特征在于，所述外密封部与所述密封罩固定连接，所述抽吸元件能相对所述外密封部运动，所述弹性密封抽吸组件还包括定位元件，以固定所述抽吸元件与所述外密封部的相对位置。4.根据权利要求2所述的样品转移装置，其特征在于，所述外密封部包括固定限位件和运动件，所述固定限位件与所述密封罩固定连接，所述运动件与所述固定限位件环向连接，所述运动件带动所述抽吸元件相对所述密封罩上下运动。5.根据权利要求4所述的样品转移装置，其特征在于，所述固定限位件设有第一限位部分，所述运动件设有与所述第一限位部分相匹配的第二限位部分；优选地，所述第一限位部分为具有上下限位面的凸缘，所述第二限位部分为具有上下限位面的凹槽，该凹槽与所述凸缘相配合限位，所述外密封部还包括第二定位元件，该第二定位元件以固定所述运动件与所述固定限位件的相对位置。6.根据权利要求4所述的样品转移装置，其特征在于，所述运动件为中空回转件，所述运动件设有内螺纹，所述密封罩还包括凸起部分，所述凸起部分自所述密封罩的罩本体向上延伸，并在周向包围所述通气孔，所述凸起部分的内周与所述密封压头的外周向之间留有间隙，所述凸起部分设有外螺纹，该外螺纹与所述运动件的内螺纹相配合，所述运动件螺旋安装于所述凸起部分外；优选地，所述运动件的下端外周设有周向凹槽，所述固定限位件设于所述运动件的下端外周处，所述固定限位件的内周设有周向凸缘，所述运动件的凹槽与所述固定限位件的凸缘配合安装，且所述凹槽的高度大于所述凸缘的高度。7.根据权利要求6所述的样品转移装置，其特征在于，所述抽吸元件穿入所述运动件的中空部分，所述抽吸元件的中部设有所述抽吸通道，所述抽吸元件在外周与所述密封罩的凸起部分的内周形成周向密封；优选地，所述密封压头呈柱状体，所述密封压头的底部封闭，该底部以压盖所述通气孔，所述密封压头在底端设有周向凸缘，所述抽吸元件在底端设有周向凹进部分，所述弹性元件设于所述凸缘与所述凹进部分之间；
优选地，所述密封压头在下底面设有密封槽，以与所述密封罩之间形成密封连接。8.根据权利要求4至7任一项所述的样品转移装置，其特征在于，所述抽吸元件与所述运动件的上端通过卡簧连接；优选地，所述固定限位件在周向由两部分拼接而成，所述固定限位件通过螺钉与所述密封罩连接。9.根据权利要求2至7任一项所述的样品转...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁震，章小余，赵志娟，
申请(专利权)人：中国科学院化学研究所，
类型：发明
国别省市：