烤箱及气悬浮装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种烤箱及气悬浮装置，该气悬浮装置包括供气源及与所述供气源的出气端连通的第一供气管，所述第一供气管设有至少一个第一出气孔，所述第一出气孔用于气悬浮支撑基板。该气悬浮装置能够利用气悬浮来支撑基板，使得该基板在烤箱中加热干燥时，不会出现局部受热过高，能够避免造成基板损坏。能够避免造成基板损坏。能够避免造成基板损坏。

【技术实现步骤摘要】
烤箱及气悬浮装置


[0001]本专利技术涉及平板显示
，特别是涉及一种烤箱及气悬浮装置。

技术介绍

[0002]目前在TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)及印刷OLED(Organic Light-Emitting Diode)等相关器件制作过程中，玻璃基板常需要进行清洗，然后在烤箱进行干燥。
[0003]然而当前烤箱主要是传统式烤箱，玻璃基板送入烤箱内部后，通过顶针进行支撑，使得玻璃基板放置于加热件的上方，利用加热件对玻璃基板进行加热干燥，此过程玻璃基板与顶针接触处会出现局部受热过高，容易造成玻璃基板损坏。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种烤箱及气悬浮装置。该气悬浮装置能够利用气悬浮来支撑基板，使得该基板在烤箱中加热干燥时，不会出现局部受热过高，能够避免造成基板损坏。
[0005]其技术方案如下：
[0006]一方面，本申请提供一种气悬浮装置，包括供气源及与所述供气源的出气端连通的第一供气管，所述第一供气管设有至少一个第一出气孔，所述第一出气孔用于气悬浮支撑基板。
[0007]上述气悬浮装置使用时，利用供气源供气，使得气流经第一供气管，通过第一出气孔排出、并用于气悬浮支撑基板，使得基板能够采用非接触式的方式设置于加热件上方，而无需采用顶针等接触式支撑，进而能够避免基板在烤箱中加热干燥时，出现局部受热过高，避免造成基板损坏，有利于提高良品率。
[0008]下面进一步对技术方案进行说明：
[0009]在其中一个实施例中，该气悬浮装置还包括至少三个限位件，所述限位件间隔设置、并形成用于限制所述基板水平移动。
[0010]在其中一个实施例中，所述供气源的出气端与所述第一供气管的进气端之间设有第一开关阀。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一供气管包括供气管体、以及凸出所述供气管体设置的出气管体，所述出气管体的一端设有第一出气孔，所述出气管体设有流量控制阀。
[0012]在其中一个实施例中，所述供气源还设有进气端，所述进气端用于插入所述烤箱内。
[0013]在其中一个实施例中，一个所述第一出气孔对应于所述基板的重心位置；或所述第一出气孔至少为两个，且沿所述基板的外周均匀间隔设置。
[0014]在其中一个实施例中，所述第一供气管至少为两个，且所有所述第一供气管的第一出气孔相配合用于气悬浮支撑所述基板。
[0015]在其中一个实施例中，所述第一供气管与所述供气源的出气端可转动连接，使得第一出气孔的出气方向可调。
[0016]在其中一个实施例中，该气悬浮装置还包括与所述供气源的出气端连通的第二供气管，所述供气源的出气端与所述第二供气管的进气端之间设有第二开关阀，所述第二供气管设有与所述第一出气孔的出气方向相反的第二出气孔。
[0017]另一方面，本申请还提供了一种烤箱，包括前述任一实施例中所述的气悬浮装置，还包括箱体及设置于所述箱体的底部的加热件，所述第一供气管插入所述箱体中，并使所述第一出气孔设置于所述加热件的上方。
[0018]利用上述烤箱进行基板加热干燥时，可以将基板移动至烤箱内，然后通过供气源供气，使得气流经第一供气管，通过第一出气孔排出、并用于气悬浮支撑基板，使得基板能够采用非接触式的方式设置于烤箱的加热件上方，而无需采用顶针等接触式支撑，进而能够避免基板在烤箱中加热干燥时，出现局部受热过高，避免造成基板损坏，有利于提高良品率。
附图说明
[0019]图1为一实施例中的所述烤箱的结构示意图；
[0020]图2为一实施例中气悬浮装置的结构示意图；
[0021]图3为一实施例中的所述烤箱的结构示意图；
[0022]图4为一实施例中第一出气孔的排布示意图；
[0023]图5为一实施例中第一出气孔的排布示意图；
[0024]图6为一实施例中的所述烤箱的结构示意图；
[0025]图7为一实施例中的所述烤箱的结构示意图。
[0026]附图标记说明：
[0027]10、烤箱，100、箱体，200、加热件，300、气悬浮装置，310、供气源，312、进气端，320、第一供气管，322、第一出气孔，324、供气管体，326、出气管体，328、流量控制阀，330、限位件，340、第二供气管，350、第一开关阀，360、第二开关阀，400、基板。
具体实施方式
[0028]为使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本专利技术进行进一步的详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本专利技术，并不限定本专利技术的保护范围。
[0029]需要说明的是，当元件被称为“固定于”、“设置于”、“固设于”或“安设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当元件与另一个元件相互垂直或近似垂直是指二者的理想状态是垂直，但是因制造及装配的影响，可以存在一定的垂直误差。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0030]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具
体的实施方式的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0031]本专利技术中涉及的“第一”、“第二”不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分。
[0032]如图1所示，本实施例中，提供了一种烤箱10，包括箱体100及设置于箱体100的底部的加热件200，以及气悬浮装置300。
[0033]一并参考图2所示，该气悬浮装置300包括供气源310及与供气源310的出气端连通的第一供气管320，第一供气管320设有至少一个第一出气孔322，第一出气孔322用于气悬浮支撑基板400，第一供气管320插入箱体100中，并使第一出气孔322设置于加热件200的上方。
[0034]如图1所示，利用上述烤箱10进行基板400加热干燥时，可以将基板400移动至烤箱10内，然后通过供气源310供气，使得气流经第一供气管320，通过第一出气孔322排出、并用于气悬浮支撑基板400，使得基板400能够采用非接触式的方式设置于烤箱10的加热件200上方，而无需采用顶针等接触式支撑，进而能够避免基板400在烤箱10中加热干燥时，出现局部受热过高，避免造成基板400损坏，有利于提高良品率。
[0035]进一步地，可以理解地，在现有技术中，基板400与顶针接触处，易出现脏污及颗粒状物残留频率更高，而在加热固化后，残留物难以清除；而本申请的方案采用非接触式方式来支撑基板400，没有使用顶针，自然也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气悬浮装置，其特征在于，包括供气源及与所述供气源的出气端连通的第一供气管，所述第一供气管设有至少一个第一出气孔，所述第一出气孔用于气悬浮支撑基板。2.根据权利要求1所述的气悬浮装置，其特征在于，还包括至少三个限位件，所述限位件间隔设置，用于限制所述基板水平移动。3.根据权利要求1所述的气悬浮装置，其特征在于，所述供气源的出气端与所述第一供气管的进气端之间设有第一开关阀。4.根据权利要求1所述的气悬浮装置，其特征在于，所述第一供气管包括供气管体、以及凸出所述供气管体设置的出气管体，所述出气管体的一端设有第一出气孔，所述出气管体设有流量控制阀。5.根据权利要求1所述的气悬浮装置，其特征在于，所述供气源还设有进气端，所述进气端用于插入烤箱内。6.根据权利要求1所述的气悬浮装置，其特征在于，一个所述第一出气孔对应于所述基板的重心位置；或所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：许剑，孙贤文，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：