一种基于微电容的微流控流速探测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基于微电容的微流控流速探测装置，包括：微流控芯片、柔性层、第一导电部、第二导电部、第一极板、第二极板、第一电极、第二电极，微流控芯片的表面设有流体通道，柔性层包覆流体通道，柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口，第一极板和第二极板固定在柔性层上流体通道的顶部，第一极板和第二极板分离，第一极板固定连接第一导电部的一端，第一导电部的另一端固定连接第一电极，第二极板固定连接第二导电部的一端，第二导电部的另一端固定连接第二电极。本发明专利技术具有流速探测精度高的优点。度高的优点。度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微电容的微流控流速探测装置


[0001]本专利技术涉及微流控流速探测领域，具体涉及一种基于微电容的微流控流速探测装置。

技术介绍

[0002]微流控技术是流体物理学、生物激光技术、微反应器等领域科学研究的重要平台。微流流速检测是微流控技术的重要环节。传统基于热传递和悬臂梁形变的流速检测技术的精度低。

技术实现思路

[0003]为解决以上问题，本专利技术提供了一种基于微电容的微流控流速探测装置，包括：微流控芯片、柔性层、第一导电部、第二导电部、第一极板、第二极板、第一电极、第二电极，微流控芯片的表面设有流体通道，柔性层包覆流体通道，柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口，第一极板和第二极板固定在柔性层上流体通道的顶部，第一极板和第二极板分离，第一极板固定连接第一导电部的一端，第一导电部的另一端固定连接第一电极，第二极板固定连接第二导电部的一端，第二导电部的另一端固定连接第二电极。
[0004]更进一步地，第一极板和第二极板设置在流体通道中心位置的两侧。
[0005]更进一步地，第一导电部和第二导电部分别延本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于微电容的微流控流速探测装置，其特征在于，包括：微流控芯片、柔性层、第一导电部、第二导电部、第一极板、第二极板、第一电极、第二电极，所述微流控芯片的表面设有流体通道，所述柔性层包覆所述流体通道，所述柔性层在所述流体通道的入口和出口分别设有开口，所述第一极板和所述第二极板固定在所述柔性层上所述流体通道的顶部，所述第一极板和所述第二极板分离，所述第一极板固定连接所述第一导电部的一端，所述第一导电部的另一端固定连接所述第一电极，所述第二极板固定连接所述第二导电部的一端，所述第二导电部的另一端固定连接所述第二电极。2.如权利要求1所述的基于微电容的微流控流速探测装置，其特征在于：所述第一极板和所述第二极板设置在所述流体通道中心位置的两侧。3.如权利要求2所述的基于微电容的微流控流速探测装置，其特征在于：所述第一导电部和所述第二导电部分别延伸至所述流体通道的外侧。4.如权利要求3所述的基于微电容的微流控流速探测装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ五一IntClG零一P五零八，
申请(专利权)人：西安柯莱特信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：