一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台制造技术

本发明专利技术公开一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台，包括底座，所述底座上固定安装有安装罩，且安装罩为开口朝上的U形罩，所述安装罩前后侧内罩壁两侧均转动安装有转轴，且四个转轴上均固定套设有辊轮。本装置通过在安装罩上安装成对传送带，且在成对传送带上设联动的呈整列状分布的放置芯片的放置机构，在安装罩左右侧端分设进料机构和出料机构，可自动对芯片进行导入和导出，放置机构包括安装有吸附结构的可调整前后位置的滑座，这样可自动将导体芯片依次导于各个放置机构上，且能精确保证芯片放置位置，不需要多次调整，且在操作过程中不可能会导致芯片位置偏移，自动拿取芯片，省时省力，从而保证探针探测导体芯片的效率。从而保证探针探测导体芯片的效率。从而保证探针探测导体芯片的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体为一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制工艺的成本。
[0003]一般探针台在利用探针对导体芯片进行操作时，需要人为事先将导体芯片放于放置台面上，这样不能精确保证芯片放置位置，需要多次调整，且在操作过程中可能会导致芯片位置偏移，此外人为不断拿取芯片，必定会花费更多的时间，费时费力，从而影响到探针探测导体芯片的效率，鉴于此，我们提出一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台，包括底座，所述底座上固定安装有安装罩，且安装罩为开口朝上的U形罩，所述安装罩前后侧内罩壁两侧均转动安装有转轴，且四个转轴上均固定套设有辊轮，前后侧中位于同侧的两个所述转轴套设有同一传送带，且两个传送带上固定安装有同一固定座，所述固定座沿两个传送带均呈阵列状等距离分布，且固定座上安装有滑座，所述滑座上固定套设有橡胶套，且橡胶套上吸附有芯片，所述橡胶套内套壁上固定安装有网架，且网架上固定安装有信号接收模块，所述安装罩一侧内罩壁两端均转动安装有转动气筒，且两个转动气筒上套设有同一环带，所述转动气筒上安装有出气插头，所述环带内设有导气腔，且环带内腔壁上固定安装有密封环垫，所述密封环垫上设有气孔，且气孔沿密封环垫呈阵列状等距离分布，所述环带正对气孔的带面上设有插口，所述安装罩内罩壁上固定安装有成对吸气机，且两个吸气机吸气端分别和两个转动气筒筒腔相连通，所述环带上连通有导气管，且导气管沿环带呈阵列状等距离分布，所述伸缩器管远离环带的一端固定于相邻橡胶套上，所述安装罩好两外侧罩壁上均固定安装有第一液压缸，两个所述第一液压缸自由端均延伸至安装罩罩腔内，且两个延伸端分别固定安装有推板，所述安装罩两侧边顶端固定安装有同一顶板，且顶板上固定安装有第二液压缸，所述第二液压缸自由端固定安装有升降板，且升降板上固定安装有探测针和观测台，所述升降板上转动安装有转动架，且转动架上固定安装有信号发射模块，所述安装罩上固定安装有上架，且上架上固定安装有进料带和进料导盒，所述进料导盒底盒壁上设有出料口，所述安装罩上固定安装有下架，且下架上固定安装有出料导盒和出料带。
[0006]优选的，所述固定座为开口朝上的U形座，且固定座两内侧壁上均设有滑槽，滑座
两端分别延伸至两个滑槽内，且可沿相应滑槽内槽壁滑动。
[0007]优选的，所述安装罩两侧罩壁上均设有安装腔，且两个安装腔内均设有主动齿轮和从动齿轮，相邻所述转轴延伸至安装腔内，且主动齿轮套设于转轴延伸端上，所述安装罩两外罩壁上均固定安装有第一电机，且两个第一电机输出端分别和两个转轴延伸端固定连接，所述安装腔内腔壁上转动安装有转柱，且转柱固定连接于相邻转动气筒上，所述从动齿轮固定套设于转柱上，且主动齿轮和从动齿轮相啮合。
[0008]优选的，所述吸气机吸气端连通有吸气管，所述转动气筒上设有气口，且吸气管远离吸气机的一端贯穿气口。
[0009]优选的，所述升降板上设有U形口，且U形口内口壁上转动安装有转杆所述转杆上固定套设有转动架，所述升降板外侧端固定安装有第二电机，且第二电机输出端和转杆固定连接。
[0010]优选的，所述转动气筒筒壁上设有安装口，且安装口内口壁上固定安装有出气插头，所述出气插头呈锥形头状，且出气插头沿转动气筒呈环形阵列状分布。
[0011]优选的，所述导气管为弹性伸缩管，且导气管上安装有电磁阀。
[0012]优选的，所述进料带出料端正对进料导盒进料口端，且出料导盒出料端正对出料带进料端。
[0013]优选的，所述进料导盒和出料导盒均为弹性盒，且进料导盒和出料导盒的进料端均呈扩张式开敞状。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0015]本装置通过在安装罩上安装成对传送带，且在成对传送带上设联动的呈整列状分布的放置芯片的放置机构，在安装罩左右侧端分设进料机构和出料机构，可自动对芯片进行导入和导出，放置机构包括安装有吸附结构的可调整前后位置的滑座，这样可自动将导体芯片依次导于各个放置机构上，且能精确保证芯片放置位置，不需要多次调整，且在操作过程中不可能会导致芯片位置偏移，自动拿取芯片，省时省力，从而保证探针探测导体芯片的效率。
附图说明
[0016]图1为本专利技术正面剖视图；
[0017]图2为本专利技术俯视时安装罩内布置结构示意图；
[0018]图3为本专利技术转动气筒和吸气机连接结构示意图；
[0019]图4为图1中A结构放大示意图；
[0020]图5为图1中B结构放大示意图；
[0021]图6为图1中C结构放大示意图。
[0022]图中：1底座、2安装罩、3转轴、4辊轮、5传送带、6第一电机、7固定座、8滑座、9芯片、10导气管、11主动齿轮、12转柱、13从动齿轮、14转动气筒、15吸气管、16吸气机、17环带、18第一液压缸、19推板、20橡胶套、21上架、22进料带、23进料导盒、24下架、25出料导盒、26出料带、27第二液压缸、28顶板、29升降板、30第二电机、31转杆、32转动架、33信号发射模块、34探测针、35观测台、36出气插头、37网架、38信号接收模块、39密封环垫。
具体实施方式
[0023]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0024]请参阅图1-6，一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台，包括底座1，底座1上固定安装有安装罩2，且安装罩2为开口朝上的U形罩，安装罩2前后侧内罩壁两侧均转动安装有转轴3，且四个转轴3上均固定套设有辊轮4，前后侧中位于同侧的两个转轴3套设有同一传送带5，且两个传送带5上固定安装有同一固定座7，固定座7沿两个传送带5均呈阵列状等距离分布，且固定座7上安装有滑座8，固定座7为开口朝上的U形座，且固定座7两内侧壁上均设有滑槽，滑座8两端分别延伸至两个滑槽内，且可沿相应滑槽内槽壁滑动，这样可沿着固定座7前后滑动滑座8，调整滑座8前后位置。
[0025]滑座8上固定套设有橡胶套20，且橡胶套20上吸附有芯片9，橡胶套20内套壁上固定安装有网架37，且网架37上固定安装有信号接收模块38，安装罩2一侧内罩壁两端均转动安装有转动气筒14，且两个转动气筒14上套设有同一环带17，安装罩2两侧罩壁上均设有安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸附式半导体加工用防偏移的载物台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定安装有安装罩(2)，且安装罩(2)为开口朝上的U形罩，所述安装罩(2)前后侧内罩壁两侧均转动安装有转轴(3)，且四个转轴(3)上均固定套设有辊轮(4)，前后侧中位于同侧的两个所述转轴(3)套设有同一传送带(5)，且两个传送带(5)上固定安装有同一固定座(7)，所述固定座(7)沿两个传送带(5)均呈阵列状等距离分布，且固定座(7)上安装有滑座(8)，所述滑座(8)上固定套设有橡胶套(20)，且橡胶套(20)上吸附有芯片(9)，所述橡胶套(20)内套壁上固定安装有网架(37)，且网架(37)上固定安装有信号接收模块(38)，所述安装罩(2)一侧内罩壁两端均转动安装有转动气筒(14)，且两个转动气筒(14)上套设有同一环带(17)，所述转动气筒(14)上安装有出气插头(36)，所述环带(17)内设有导气腔，且环带(17)内腔壁上固定安装有密封环垫(39)，所述密封环垫(39)上设有气孔，且气孔沿密封环垫(39)呈阵列状等距离分布，所述环带(17)正对气孔的带面上设有插口，所述安装罩(2)内罩壁上固定安装有成对吸气机(16)，且两个吸气机(16)吸气端分别和两个转动气筒(14)筒腔相连通，所述环带(17)上连通有导气管(10)，且导气管(10)沿环带(17)呈阵列状等距离分布，所述伸缩器管(10)远离环带(17)的一端固定于相邻橡胶套(20)上，所述安装罩好(2)两外侧罩壁上均固定安装有第一液压缸(18)，两个所述第一液压缸(18)自由端均延伸至安装罩(2)罩腔内，且两个延伸端分别固定安装有推板(19)，所述安装罩(2)两侧边顶端固定安装有同一顶板(28)，且顶板(28)上固定安装有第二液压缸(27)，所述第二液压缸(27)自由端固定安装有升降板(29)，且升降板(29)上固定安装有探测针(34)和观测台(35)，所述升降板(29)上转动安装有转动架(32)，且转动架(32)上固定安装有信号发射模块(33)，所述安装罩(2)上固定安装有上架(21)，且上架(21)上固定安装有进料带(22)和进料导盒(23)，所述进料导盒(23)底盒壁上设有出料口，所述安装罩(2)上固定安装有下架(24)，且下架(24)上固定安装有出料导盒(25)和出料带(26)。2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏妙红，
申请(专利权)人：夏妙红，
类型：发明
国别省市：