隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及液晶面板制造方法及图纸

一种能够在基板上的液晶形成区域均匀地撒布隔离子的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及液晶面板。用预先设定了尺寸的载物台本体（３ａ）和保持在载物台本体（３ａ）上可以滑动的载物台辅助部（３ｂ）或者具有可与载物台本体（３ａ）连接的结构的载物台辅助部（３ｂ）来构成载物台（３），根据载物台（３）上放置的基板（１０）的尺寸，相应地滑动或连接载物台辅助部（３ｂ），使载物台尺寸可变，从而使载物台（３）的端部和其附近的液晶面板形成区域（１０ａ）的距离处在预先设定的范围内。这样就能够提高隔离子撒布密度的均匀性，能够以高成品率、低成本来制造对置的一对基板间的间隙得到均匀控制的高显示品位的液晶面板。

【技术实现步骤摘要】
隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及液晶面板
本专利技术涉及隔离子(スペ一サ)撒布装置和隔离子撒布方法以及液晶面板，特别涉及在液晶面板用基板上撒布隔离子的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及具备该液晶面板用基板的液晶面板。
技术介绍
作为AV设备或OA设备的显示装置，由于薄、轻、功耗低等优点，液晶面板得到了广泛的应用。该液晶显示面板具有矩阵状地形成了TFT(Thin Film Transistor)等开关元件的TFT基板和形成了滤色器、黑色矩阵等的对置基板，在两个基板之间配置预定尺寸的聚合物有孔玻璃珠、石英有孔玻璃珠等绝缘性的隔离子，形成预定的间隙，并在该间隙内注入液晶后密封而形成。并且，对在对置的一对基板或一个基板上形成的电极施加电压，使之产生电场，由该电场来控制液晶的取向方向，从而改变光的透过率，显示图像。对于这种结构的液晶面板，为了提高显示品位，使对置的基板之间的间隔保持均匀至关重要，因此，需要在基板上均匀地撒布用来形成间隙的隔离子。作为在基板上撒布隔离子的方法，有将隔离子分散在氟利昂、酒精、纯水等溶剂中，将该溶剂从喷嘴进行喷雾的湿式撒布方法和通过静电枪或摩擦等使隔离子带电，将该带电后的隔离子从喷嘴喷出的干式撒布方法，在湿式撒布方法中，必须对氟利昂或酒精等进行回收，另外，隔离子在溶剂中容易凝聚，不容易在基板面内均匀地撒布隔离子，因此，近年来，干式撒布方法得到广泛应用。在该干式撒布方法中，通常隔离子以正电位带电，由于隔离子相互之间有排斥力发生作用，所以隔离子不会有局部的凝聚，但是，由-->于喷嘴与隔离子的位置关系而呈现以下的趋势：载物台的中央部分因为位于喷嘴的正下方，隔离子的撒布量就多，另一方面，载物台的边缘部分因为离喷嘴的距离变大，隔离子的撒布量变少，在载物台整体上隔离子的撒布密度上就会产生偏差。为了降低这种起因于喷嘴与载物台的位置关系的隔离子撒布密度分布的偏差，有以下的方法：使隔离子撒布装置的工作室与隔离子带相同符号电位(通常为正电位)的电，使向工作室壁面方向射出的隔离子向载物台方向弹回，以此来实现隔离子撒布密度的均匀化。例如，在特开2002-148635号公报中，公开了使放置基板的撒布工作室形成为各层进行了电绝缘的积层结构，从外部对工作室的最内层面施加与隔离子同符号的电压，以此靠静电力使向工作室壁面行进的隔离子弹回，以此来抑制基板边缘部的隔离子撒布量下降的结构。[专利文献1]特开2002-148635号公报(第3-10页，图1)
技术实现思路
通过采用上述专利文献1所记载的隔离子撒布装置，能够改善上述起因于喷嘴与载物台的位置关系的隔离子撒布密度分布的偏差，但是，在该装置中，反而是被工作室壁面弹回后飞到载物台边缘部分的隔离子的量变得太多。在此，可通过对在工作室壁面上施加的电压进行调整，或改善撒布隔离子的喷嘴的形状或撒布图形等来调整工作室壁面附近的载物台边缘部分的隔离子撒布量，但是，即使进行了这种调整，也不能使基板上的隔离子的撒布密度变均匀。其原因是，隔离子的撒布密度分布不仅随喷嘴与载物台的位置关系、工作室壁面与载物台的位置关系，而且随载物台与其上面放置的基板的位置关系而发生变化。具体地讲，是因为：在载物台的中央部分，电场大致是一定的，而在载物台的端部，由于边沿效应，电场集中，这样一来，离载物台端部较近的基板的边缘部分的隔离子的撒布-->量就会增加。在此，当液晶面板的尺寸较小时，或者基板的切割位置有富余时(即，用一张基板制造多张的液晶面板时，液晶面板之间的间隔较宽的情况)，可以增加从基板的端部到液晶面板形成区域的距离，所以即使由于边沿效应，载物台端部附近的隔离子的撒布量增加了，在液晶面板形成区域，也能够减小其影响，但是，当液晶面板的尺寸大型化，为了降低成本而在基板上密集配置多张液晶面板时，基板的切割位置必然没有富余，结果，边沿效应的影响就会扩大到位于载物台端部附近的液晶面板形成区域。为了降低该边沿效应的影响，也可以考虑扩大工作室或载物台的尺寸，使基板远离载物台端部，但是，如果工作室的尺寸增加，进行一次隔离子撒布所使用的隔离子的量就会相应增加，这样就浪费了昂贵的隔离子，从而导致液晶面板的成本增加。另外，液晶面板的尺寸按照需求的产品，是各式各样的，如果载物台端部和其附近的液晶面板形成区域的距离因产品而异，那么隔离子撒布密度也会因不同的产品而发生变化，结果，产品的性能就会产生偏差。本专利技术正是鉴于上述问题点而提出来的，其主要的目的在于，提供一种无论液晶面板的尺寸或基板上的液晶面板的配置如何，均能在液晶面板形成区域均匀撒布隔离子的隔离子撒布装置和隔离子撒布方法以及用该隔离子撒布装置制造的液晶面板。为了实现上述目的，本专利技术的隔离子撒布装置是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布装置，在该隔离子撒布装置中，上述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和支承在上述载物台本体上，使上述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部构成。-->另外，本专利技术的隔离子撒布装置是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布装置，在该隔离子撒布装置中，上述载物台由在外缘部的至少一部分上具有相互结合的连接装置的一方的、预先设定了尺寸的载物台本体和在内缘部的至少一部分上具有与上述连接装置的一方结合的上述连接装置的另一方的、多种尺寸的载物台辅助部构成，通过将上述载物台本体和从上述多种尺寸中选择的尺寸的上述载物台辅助部连接起来，使上述载物台的面方向的尺寸能够变更。另外，本专利技术的隔离子撒布装置是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布装置，在该隔离子撒布装置中，上述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和保持在上述载物台本体上，可在该载物台本体的面方向滑动的载物台辅助部构成，通过滑动上述载物台辅助部，使上述载物台的面方向的尺寸能够变更。在本专利技术中，可以构成为：上述载物台辅助部被保持成其上面与上述载物台本体下面大致抵接(当接する)的状态，通过在上述载物台本体方向滑动上述载物台辅助部来去除上述载物台辅助部上面堆积的上述隔离子。在本专利技术中，上述载物台本体和上述载物台辅助部之间具有绝缘部件，还可以把上述载物台本体和上述载物台辅助部设定成不同的电位。另外，在本专利技术中，优选的是，在上述基板上设有多个形成液晶面板的区域，滑动或选择上述载物台辅助部，使从上述载物台的端部到该载物台端部附近的上述区域的距离处在预先设定的范围内。另外，本专利技术的隔离子撒布方法是一种在放置于支承在工作室内-->的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布方法，在该隔离子撒布方法中，由预先设定了尺寸的载物台本体和使上述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部来构成上述载物台，由上述载物台本体来支承上述载物台辅助部，从而按照上述基板的尺寸来变更上述载物台的面方向的尺寸，控制上述隔离子的撒布密度分布。另外，本专利技术的隔离子撒布方法是一种在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子的隔离子撒布方法，在该隔离子撒布方法中，由在外缘部的至少一部分上具有相互结合的连接装置的一方的、预先设定了尺寸的载物台本体和在内缘部的至少一部分上具有与上述连接装置的一方结合的上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隔离子撒布装置，在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子，其特征在于：所述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和支承在所述载物台本体上，使所述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部构成。

【技术特征摘要】
JP 2004-7-29 2004-2216371.一种隔离子撒布装置，在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子，其特征在于：所述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和支承在所述载物台本体上，使所述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部构成。2.根据权利要求1所述的隔离子撒布装置，其特征在于：所述载物台由在外缘部的至少一部分上具有相互结合的连接装置的一方的、预先设定了尺寸的载物台本体和在内缘部的至少一部分上具有与所述连接装置的一方结合的所述连接装置的另一方的、多种尺寸的载物台辅助部构成，通过将所述载物台本体和从所述多种尺寸中选择的尺寸的所述载物台辅助部连接起来，使所述载物台的面方向的尺寸能够变更。3.根据权利要求1所述的隔离子撤布装置，其特征在于：所述载物台由预先设定了尺寸的载物台本体和保持在所述载物台本体上，可在该载物台本体的面方向滑动的载物台辅助部构成，通过滑动所述载物台辅助部，使所述载物台的面方向的尺寸能够变更。4.根据权利要求3所述的隔离子撒布装置，其特征在于：所述载物台辅助部被保持成其上面与所述载物台本体下面大致抵接的状态，通过在所述载物台本体方向滑动所述载物台辅助部来去除所述载物台辅助部上面堆积的所述隔离子。5.根据权利要求1、2或3所述的隔离子撒布装置，其特征在于：所述载物台本体和所述载物台辅助部之间具有绝缘部件，使得所述载物台本体和所述载物台辅助部可设定成不同的电位。6.根据权利要求1至3中任意一项所述的隔离子撒布装置，其特征在于：所述基板上设有多个形成液晶面板的区域，滑动或选择所述载物台辅助部时，使从所述载物台的端部到该载物台端部附近的所述区域之间的距离处在预先设定的范围内。7.一种隔离子撒布方法，在放置于支承在工作室内的载物台上的基板上，用撒布喷嘴撒布隔离子，其特征在于：由预先设定了尺寸的载物台本体和使所述载物台的面方向的尺寸能够变更的载物台辅助部构成所述载物台...

【专利技术属性】
技术研发人员：元松俊彦，
申请(专利权)人：NEC液晶技术株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]