制造显示装置的狭缝式涂敷机及显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可以形成均匀质量的涂层的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机及利用该涂敷机的显示装置的制造方法。本发明专利技术所提供的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机，包含：涂敷液供应部；狭缝式喷嘴，该狭缝式喷嘴包含从所述涂敷液供应部注入涂敷液的注入部和将所述涂敷液涂敷到作为处理对象的基片上的细长型狭缝部，并在所述注入部与所述狭缝部之间形成对每１ｍｍ的所述狭缝部长度具有０．１３ｃｃ～０．５ｃｃ体积的内腔。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制造显示装置的狭缝式涂敷机及利用该涂敷机的显示装置制造方法。
技术介绍
最近，代替传统的CRT广泛地使用液晶显示装置(LCD)、PDP(PlasmaDisplay Panel)、OLED(Organic Light Emitting Diode)等平板显示装置。制造这些平板显示装置时，通常使用在基片的前面涂敷感光物质等薄膜而形成涂层的工艺。涂层根据需要通过曝光、显影等形成图案。这种形成涂层的方法包括旋转式涂敷(spin coating)及狭缝式涂敷(slitcoating)等。狭缝式涂敷是在基片上移动具有细长型喷嘴的狭缝式涂敷机并通过喷嘴排出涂敷液的方法。最近，随着显示装置的大型化，狭缝式涂敷机的长度也一并增加。但是，随着狭缝式涂敷机长度的增加，在不同位置排出的状态变得不均匀，使涂层的质量尤其是涂层厚度变得不均匀。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可以形成均匀质量的涂层的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机。本专利技术的另一目的在于提供一种利用可以形成均匀质量的涂层的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机来制造显示装置的方法。为了实现上述目的，依据本专利技术所提供的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机包含：涂敷液供应部；狭缝式喷嘴，该狭缝式喷嘴包含从所述涂敷液供应部注入涂敷液的注入部和将所述涂敷液涂敷到作为处理对象的基片上的细长型狭缝部，在所述注入部与所述狭缝部之间形成对每1mm的所述狭缝部长度具有0.13cc～0.5cc体积的内腔。并且，所述注入部位于所述狭缝式喷嘴的中央部，所述内腔最好以所述-->注入部为中心按左右对称的方式设置。并且，所述内腔最好越远离所述注入部越向下倾斜。并且，所述内腔的横截面积最好越远离所述注入部变得越大。并且，所述喷嘴的间隙最好为60μm～140μm。依据本专利技术所提供的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机，包含：涂敷液供应部；狭缝式喷嘴，该狭缝式喷嘴从所述涂敷液供应部接收涂敷液，而所供应的涂敷液经过对每1mm的排出宽度具有0.13cc～0.5cc体积的细长型内腔而排出。依据本专利技术所提供的显示装置的制造方法，包含步骤：利用包含涂敷液供应部和狭缝式喷嘴的狭缝式涂敷机在绝缘基片上涂敷涂层，其中狭缝式喷嘴包含注入涂敷液的注入部、将所述涂敷液涂敷到作为处理对象的基片上的细长型狭缝部、设在所述涂敷液供应部与所述狭缝部之间的对每1mm的所述狭缝部长度具有0.13cc～0.5cc体积的内腔；对所述涂层形成图案。并且，进一步包含在所述绝缘基片上形成格子状的黑色矩阵的步骤，所述涂层形成在所述黑色矩阵上，所述涂层最好包含滤色片物质。并且，所述涂敷液的粘度最好为2cP～6cP。依据本专利技术，提供一种可以形成均匀质量的涂层的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机。并且，提供一种利用可以形成均匀质量的涂层的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机来制造显示装置的方法。附图说明图1为依据本专利技术第一实施例所提供的狭缝式涂敷机的示意图；图2为按照图1的II-II线截取的截面图；图3为按照图1的III-III线截取的截面图；图4a及图4b为用于说明利用依据本专利技术第一实施例所提供的狭缝式涂敷机而进行的狭缝式涂敷工艺的示意图；图5为用于说明狭缝式涂敷机的内腔(cavity)体积和涂层厚度的分布关系的曲线图；图6a至图6c为用于说明针对无图案基片实施的本专利技术第一实验例的曲线图；-->图7a及图7b为用于说明针对形成有黑色矩阵(black matrix)的基片实施的本专利技术第二实验例的曲线图；图8a及图8b为用于说明采用不同的涂敷速度而进行的本专利技术第三实验例的曲线图；图9a至图9f为用于说明利用依据本专利技术第一实施例所提供的狭缝式涂敷机的显示装置制造方法的示意图；图10为依据本专利技术第二实施例所提供的狭缝式涂敷机的截面图；图11为依据本专利技术第三实施例所提供的狭缝式涂敷机的截面图。主要符号说明：10为狭缝式喷嘴，11、12为副本体，13为注入部，14为内腔，15为喷嘴，20为涂敷液供应部，21为涂敷液贮箱，22为质量流速控制器。具体实施方式以下，参照附图详细说明本专利技术。在下述实施例中对相同的构成要素采用了相同的参考编号。针对同一个构成要素在第一实施例中进行代表性的说明，在其它实施例中可能省略其说明。下面参照图1至图3说明本专利技术第一实施例所提供的狭缝式涂敷机。图1为依据本专利技术第一实施例所提供的狭缝式涂敷机的示意图，图2为按照图1的II-II线截取的截面图，图3为按照图1的III-III线截取的截面图。依据本专利技术第一实施例所提供的狭缝式涂敷机1包含狭缝式喷嘴10及涂敷液供应部20。狭缝式喷嘴10按长度方向延伸，并由涂敷液供应部20供应涂敷液而在基片上形成涂层。狭缝式喷嘴10的长度W可以设为约800mm～2000mm。所述涂敷液的粘度可以为2cP～6cP。狭缝式喷嘴10包含相互结合的第一副本体11及第二副本体12。第一副本体11的形状比第二副本体复杂，并设有注入部13、内腔14及喷嘴15。注入部13与涂敷液供应部20相连，接收所供应的涂敷液。注入部13大致位于狭缝式喷嘴10长度方向的中心部分。内腔14与注入部13相连，并以注入部13为中心向两侧延长。内腔14-->的两侧以注入部13为中心相互对称。通过注入部13供应的涂敷液经过内腔14之后流动到喷嘴15。内腔14具有大于喷嘴15的体积，每1mm的喷嘴15长度对应0.13cc～0.5cc的内腔14体积。例如，当狭缝式喷嘴10的长度W约为1200mm时，内腔14具有约156cc～600cc的体积。至于内腔14体积取这种数值的原因，将在后面进行说明。内腔14以注入部13为中心越远离注入部13越靠近下侧方向。倾斜的倾斜角，即悬挂角(hanger angle)θ可以为1度左右。第一副本体11及第二副本体12相对设置并在中间留出小间隙g而形成喷嘴15。喷嘴15与内腔14连接，喷嘴15的间隙g可以为60μm～140μm。喷嘴15的出口长度(orifice length)L根据内腔14的位置而不同。即，喷嘴15的出口长度L在内腔14位于最上部的狭缝式喷嘴10的中心部最长，在内腔14位于最下部的狭缝式喷嘴10的两个末端最短。狭缝式喷嘴10两个末端的最短的出口长度L可以为10mm～60mm。涂敷液供应部20包含涂敷液贮箱21和质量流速控制器(mass flowcontroller)。如上所述的狭缝式涂敷机1在任何位置均以均匀的厚度将所供应的涂敷液涂敷到基片上。即，在接近注入部13的部分和远离注入部13的部分均形成均匀厚度的涂层。这是由于具有较大体积的内腔14使涂敷液的流动变得均匀，而且离注入部13越远喷嘴15的出口长度L也越小使得排出阻力变小的缘故。下面参照图4a至图5说明狭缝式涂敷机的内腔体积。图4a及图4b为用于说明利用依据本专利技术第一实施例所提供的狭缝式涂敷机进行的狭缝式涂敷工艺的示意图，图5为用于说明狭缝式涂敷机的内腔(cavity)体积和涂层厚度的分布关系的曲线图。如图4a所示，狭缝式喷嘴10朝与延长方向相垂直的方向通过基片100而形成涂层110。本专利技术将狭缝式喷嘴10的延长方向称为TD，狭缝式喷嘴10的移动方向称为MD。涂层110的厚度可能会不均匀，其中MD方向的不均匀的厚度由涂敷液供应部20的性能、涂敷液的组成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造显示装置的狭缝式涂敷机，其特征在于包含：涂敷液供应部；狭缝式喷嘴，该狭缝式喷嘴包含从所述涂敷液供应部注入涂敷液的注入部和将所述涂敷液涂敷到作为处理对象的基片上的细长型狭缝部，并在所述注入部与所述狭缝部之间形成对每１ｍ ｍ的所述狭缝部长度具有０．１３ｃｃ～０．５ｃｃ体积的内腔。

【技术特征摘要】
KR 2006-2-3 10-2006-00108101、一种制造显示装置的狭缝式涂敷机，其特征在于包含：涂敷液供应部；狭缝式喷嘴，该狭缝式喷嘴包含从所述涂敷液供应部注入涂敷液的注入部和将所述涂敷液涂敷到作为处理对象的基片上的细长型狭缝部，并在所述注入部与所述狭缝部之间形成对每1mm的所述狭缝部长度具有0.13cc～0.5cc体积的内腔。2、根据权利要求1所述的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机，其特征在于所述注入部位于所述狭缝式喷嘴的中央部，所述内腔以所述注入部为中心按左右对称的方式设置。3、根据权利要求2所述的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机，其特征在于所述内腔越远离所述注入部越向下倾斜。4、根据权利要求2所述的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机，其特征在于所述内腔的横截面积越远离所述注入部变得越大。5、根据权利要求1所述的用于制造显示装置的狭缝式涂敷机，其特征在于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金润守，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]