三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器制造技术

一种三电容ＭＯＳ硅基高速高调制效率电光调制器，包括一衬底；一二氧化硅掩埋层位于衬底上；一ｎ型单晶硅层为衬底上的单晶硅，制作成凹槽结构；一ｎ＋注入层制作在ｎ型单晶硅层两侧的平面上；一横向栅氧化层和一纵向栅氧化层，制作在ｎ型单晶硅层上的凹槽内壁面；一ｐ型单晶硅层制作在ｎ型单晶硅层的凹槽结构内，该ｐ型单晶硅层和ｎ型单晶硅层一起形成脊形波导结构；一ｐ＋注入层制作在ｐ型单晶硅层的上面；金属接触层制作在ｐ＋注入层上面的中间位置及ｎ＋注入层上面的中间位置，分别形成调制器的正负电极；一氧化层制作在ｎ型单晶硅层和ｐ型单晶硅层的表面，起到保护作用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电光调制器，特别涉及一种与现代大规模集成电路工艺兼容的三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器。
技术介绍
集成电路的集成度按照摩尔定律每两年翻一番的速度飞速向前发展，晶体管尺寸和互连线尺寸同步缩小使芯片集成度越来越高，费用越来越低。虽然随着集成度的提高，单个晶体管的延时越来越小，然而互连线的延时却越来越大。这是因为互连线尺寸的减小使互连线电阻增加，虽然目前采用铜互连代替以前的铝互连能在一定程度上减小电阻和互连线的电迁移率问题，然而当互连线尺寸进一步减小时，铜互连仍然遇到了延时和功耗的瓶颈。此外，随着铜互连线尺寸的减小，表面散射越来越严重从而使互连线电阻进一步增加。当互连线宽度小于50nm时，这种表面散射的影响将变得非常显著，并且严重依赖于金属淀积技术。这些电互连固有的电阻、延时、功率-->损失及电磁干扰等问题成为制约微电子集成电路发展的瓶颈，使人们把目光转向了光互连。光互连能解决电互连固有的瓶颈，具有高带宽、抗干扰和低功耗等优点，可用于系统芯片中时钟信号传输，解决信号的相互干扰和时钟歪斜问题。为了实现光互连必须借助于调制器将电信号调制成光信号。和其他光电子器件一样，目前调制器所用材料都是基于III-V族化合物半导体材料以及具有强线性电光系数的LiNbO3。之所以人们较少考虑将硅作为调制器材料是因为硅是反演对称晶体结构不具备线性电光效应，难以实现高速电光调制。传统的基于等离子色散效应的PIN波导型电光调制器速度最高也只有20MHz。2004年，《Nature》杂志上报道的硅基MOS(Metal-Oxide-Semiconductor)型电容器结构调制器将调制速率提高到了1GHz。虽然这种MOS型电容器结构调制器大大提高了速度，但是这种结构的载流子积累区域只集中在栅氧化层两侧的薄层内，载流子和光场交叠面积小，因此载流子引起折射率的变化较小，调制效率低下，需要很长的调制长度才能达到π相移。低的调制效率还引起功耗的增加，需要较大的注入电流。工作在大电流下的硅基调制器会引起器件温度的升高，温度的升高会由于热光效应引起硅折射率的增大，抵消了等离子色散效应引起的折射率的减小，从而可能使器件失效。因此有必要对该结构调制器进行改进，在满足高速调制下同时实现高效率调制。-->
技术实现思路
本专利技术提出一种高性能三电容MOS型硅基电光调制器，以提高上述MOS调制器的调制效率，减小调制长度和功耗。这种三电容MOS型硅基电光调制器制作在SOI衬底上，由两层纵向栅氧化层17和一层横向栅氧化层19构成。其制作工艺与于现代大规模集成电路工艺兼容，易于实现光电子集成。本专利技术一种三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器，其特征在于，包括：一衬底；一二氧化硅掩埋层，该二氧化硅掩埋层位于衬底上；一n型单晶硅层，该n型单晶硅层为衬底上的单晶硅，制作成凹槽结构；一n+注入层，该n+注入层制作在n型单晶硅层两侧的平面上；一横向栅氧化层和一纵向栅氧化层，制作在n型单晶硅层上的凹槽内壁面；一p型单晶硅层，该p型单晶硅层制作在n型单晶硅层的凹槽结构内，该p型单晶硅层和n型单晶硅层一起形成脊形波导结构；一p+注入层，该p+注入层制作在p型单晶硅层的上面；-->金属接触层，该金属接触层制作在p+注入层上面的中间位置及n+注入层上面的中间位置，分别形成调制器的正负电极；一氧化层，该氧化层制作在n型单晶硅层和p型单晶硅层的表面，起到保护作用。其中纵向栅氧化层的厚度为10nm，越薄的栅氧化层厚度越有利于调制效率的提高。其中横向栅氧化层的厚度为10nm，越薄的栅氧化层厚度越有利于调制效率的提高。其中横向栅氧化层和纵向栅氧化层夹在n型单晶硅层和p型单晶硅层之间，起到将n型单晶硅层和p型单晶硅层绝缘的作用，形成电容结构。其中p+注入层的注入深度应该小于0.5μm，以减小重掺杂欧姆接触对光场的吸收损耗，p+注入层的厚度越薄越有利于减小吸收损耗。其中n+注入层的注入深度应该小于0.5μm，以减小重掺杂欧姆接触对光场的吸收损耗，n+注入层的厚度越薄越有利于减小吸收损耗。其中使用SOI衬底制作器件，利用到SOI的二氧化硅掩埋层起到限制光场的作用，从而将光场限制在脊形波导区域，减小光场向衬底的泄露损耗。-->附图说明为进一步说明本专利技术的具体
技术实现思路
，以下结合实施例及附图详细说明如后，其中：图1表示本专利技术的结构剖面图；图2表示入射光场在调制器中分布图；图3(a)和(b)表示在外加不同正向偏压下，调制器中载流子分布图；图4表示不同的调制长度下，不同的正向偏压引起的相位变化图；图5表示不同脊形波导宽度下，RC时间延时随掺杂浓度变化关系图；图6表示载流子瞬态响应图。具体实施方式以下结合附图描述本专利技术的具体实施方式。请参阅图1，图1表示双纵向栅氧化层结构MOS调制器的结构剖面图，包括：一衬底10；一二氧化硅掩埋层11，该二氧化硅掩埋层11位于衬底10上；一n型单晶硅层12，该n型单晶硅层12为衬底上单晶-->硅，制作成凹槽结构；一n+注入层13，该n+注入层13制作在n型单晶硅层12两侧的平面上；一横向栅氧化层19和一纵向栅氧化层17，制作在n型单晶硅层12上的凹槽内；一p型单晶硅层18，该p型单晶硅层18制作在横向栅氧化层19和纵向栅氧化层17上面，该p型单晶硅层18和n型单晶硅层12一起形成脊形波导结构；一p+注入层16，该p+注入层16制作在p型单晶硅层18的上面；一金属接触层14，该金属接触层14制作在p+注入层16上面的中间位置及n+注入层13上面的中间位置，分别形成调制器的正负电极；一氧化层15，该氧化层15制作在n型单晶硅层12和p型单晶硅层18的表面，起到保护作用。其中n型单晶硅层12为SOI衬底上的n-Si，将多于的单晶硅刻蚀掉形成凹槽结构。两层纵向栅氧化层17和一层横向栅氧化层19为通过在n型单晶硅层12上高温干氧生长形成。p型单晶硅层18为通过在横向栅氧化层19上外延生长形成。之所以生长单晶硅是为了减小其对光场吸收损耗，考虑到生长单晶硅工艺的复杂性也可以改成生长工艺上较为容易的多晶硅，但代价是多晶硅对光场的吸收较大引起较大的吸-->收损耗。电极的制作通过常规的欧姆接触即可获得，需要注意的是，为了减少电极的重掺杂欧姆接触对光场的吸收以减小损耗，欧姆接触的重掺杂注入层厚度应该较小，即：p+注入层16和的n+注入层13注入深度应该小于0.5μm。注入层的厚度越薄越有利于减小吸收损耗，但代价是欧姆接触的电阻可能增加。最后在调制器表面生长一层氧化层15作为保护层。夹在n型单晶硅层12和p型单晶硅层18之间的两层纵向栅氧化层17以及横向栅氧化层19充当了电容器的电介质绝缘层，因此该结构可等效于三个电容器的并联。当在电极上加正向偏压时，与普通电容器一样，在电介质绝缘层——纵向栅氧化层17和横向栅氧化层19两侧都会出现多子积累。积累的载流子通过等离子色散效应减小了脊形波导的折射率，从而改变了入射光场相位。适当的选择正向偏压值和调制长度，使相位改变π。相位相差π的两束光经过Mach-Zehnder型Y分支干涉仪时发生干涉，从而形成光强的调制。图2表示入射光场在调制器中分布图，由图可见大部分光场被限制在脊形波导区域，光场振幅最大处位于p型单晶硅层18中。这与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三电容ＭＯＳ硅基高速高调制效率电光调制器，其特征在于，包括：一衬底；一二氧化硅掩埋层，该二氧化硅掩埋层位于衬底上；一ｎ型单晶硅层，该ｎ型单晶硅层为衬底上的单晶硅，制作成凹槽结构；一ｎ＋注入层，该ｎ＋注入层 制作在ｎ型单晶硅层两侧的平面上；一横向栅氧化层和一纵向栅氧化层，制作在ｎ型单晶硅层上的凹槽内壁面；一ｐ型单晶硅层，该ｐ型单晶硅层制作在ｎ型单晶硅层的凹槽结构内，该ｐ型单晶硅层和ｎ型单晶硅层一起形成脊形波导结构；一ｐ＋ 注入层，该ｐ＋注入层制作在ｐ型单晶硅层的上面；金属接触层，该金属接触层制作在ｐ＋注入层上面的中间位置及ｎ＋注入层上面的中间位置，分别形成调制器的正负电极；一氧化层，该氧化层制作在ｎ型单晶硅层和ｐ型单晶硅层的表面，起到保护作用 。

【技术特征摘要】
1.一种三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器，其特征在于，包括：一衬底；一二氧化硅掩埋层，该二氧化硅掩埋层位于衬底上；一n型单晶硅层，该n型单晶硅层为衬底上的单晶硅，制作成凹槽结构；一n+注入层，该n+注入层制作在n型单晶硅层两侧的平面上；一横向栅氧化层和一纵向栅氧化层，制作在n型单晶硅层上的凹槽内壁面；一p型单晶硅层，该p型单晶硅层制作在n型单晶硅层的凹槽结构内，该p型单晶硅层和n型单晶硅层一起形成脊形波导结构；一p+注入层，该p+注入层制作在p型单晶硅层的上面；金属接触层，该金属接触层制作在p+注入层上面的中间位置及n+注入层上面的中间位置，分别形成调制器的正负电极；一氧化层，该氧化层制作在n型单晶硅层和p型单晶硅层的表面，起到保护作用。2.根据权利要求1所述的三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器，其特征在于，其中纵向栅氧化层的厚度为10nm，越薄的栅氧化层厚度越有利于调制效率的提高。3.根据权利要求1所述的三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器，其特征在于，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈弘达，黄北举，刘金彬，顾明，刘海军，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]