使用各自进行多次扫描的多个写入列来制作准确的光栅图案的系统和方法技术方案

提供一种用于产生光栅结构的光刻系统，这种光刻系统具有多列成像系统，多列成像系统位于能够在交叉扫描方向中移动的桥上；掩模，具有位于成像系统的物平面中的具有固定空间频率的光栅图案；多线对准标记，与光栅图案对准并且具有固定空间频率；工作台，配置成用以保持和扫描基板；扫描系统，配置成用以使工作台在大于基板上的光栅图案的期望长度的距离内移动；纵向编码器刻度，附接至工作台并且在扫描方向中定向，和至少两个编码器刻度，附接至工作台并且排列于交叉扫描方向中，其中刻度包含具有固定空间频率的周期性间隔开的对准标记。记。记。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】使用各自进行多次扫描的多个写入列来制作准确的光栅图案的系统和方法


[0001]本公开内容的方面涉及用于多种类型的电子产品的平板显示器(flat panel display)制造。特别地，多个方面涉及用于制造线栅偏振器(wire grid polarizer)的系统和方法，其中生产这样的偏振器的制造系统具有由多个列(column)产生的光栅图案，所述多个列各自进行多次扫描。

技术介绍

[0002]在每个液晶电视机中都需要一组有效的偏振器，每个偏振器被配置成用以透射光的一种偏振，并且反射正交的偏振。这些偏振器的尺寸与电视图像的尺寸大致相同，因此，随着电视尺寸的不断增加，需要对角线测量的尺寸大于66英寸的偏振器。线栅偏振器一般由玻璃基板(或晶片)上的微细线(microscopic wire)阵列构成，微细线选择性地透射偏振光。偏振器是平板显示器的重要成本要素，这样的偏振器可占平板系统总成本的30％之多。
[0003]电视和平板显示器系统尺寸的增加，刺激了构成电视屏幕的基板以及必要附件的尺寸的增加，其中一些尺寸接近三平方米。为了在商业上可行，有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光刻系统，包括：成像系统，位于桥上，所述桥能够在交叉扫描方向中移动；掩模，具有光栅图案和多线对准标记，所述光栅图案具有固定空间频率，所述光栅图案位于所述成像系统的物平面中，所述多线对准标记与所述光栅图案对准并且具有固定空间频率；工作台，配置成用以保持基板；扫描系统，配置成用以使所述工作台在大于所述基板上的所述光栅图案的期望长度的距离内移动；纵向编码器刻度，附接至所述工作台并且在扫描方向中定向；和至少两个编码器刻度，附接至所述工作台并且排列于交叉扫描方向中，其中所述至少两个编码器刻度包含具有固定空间频率的周期性间隔开的对准标记。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述成像系统是戴森光学成像系统。3.根据权利要求2所述的系统，其中所述戴森光学成像系统是半戴森光学成像系统。4.根据权利要求1所述的系统，进一步包括：激光照射源。5.根据权利要求4所述的系统，其中所述激光照射源配置成具有TM
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横向模式。6.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少两个编码器刻度中的至少一个编码器刻度排列于所述交叉扫描方向中，以在所述交叉扫描方向中定位所述光栅图案的每个投射条带，或者所述成像系统配置成同时产生两个图像。7.根据权利要求1所述的系统，进一步包括：对准系统，配置成用以从成像在编码器标记上的掩模观察对准标记的图像，从而产生束，随着所述对准标记跨所述编码器标记移动，所述束被调制。8.根据权利要求7所述的系统，其中所述对准标记包括3条至7条等间距的线，这些线具有与所述戴森掩模上的所述光栅图案相同的周期。9.根据权利要求1所述的系统，进一步包括：计量布置，被配置成用以沿直线限制工作台路径，并且配置成用以相对于垂直于所述工作台的轴使...

【专利技术属性】
技术研发人员：D，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：