衬底贴合设备和方法技术

一种衬底贴合设备，包括：第一室，第一室包括第一表面板，在第一表面板上接收第一衬底；表面板升降机，用于升起第一表面板；第二室，第二室包括第二表面板，在第二表面板上接收待贴合于第一衬底的第二衬底；至少一处胶粘剂，包含于第一表面板用来附着到第一衬底；以及胶粘剂升降机，用于独立地升起胶粘剂。

【技术实现步骤摘要】

这里描述的一个或多个实施例涉及贴合(bonding)衬底。
技术介绍
现在在市场上可以得到多种平板显示器件。其中，LCD与其他器件相比能产生优良图像质量而且重量轻、厚度薄、功耗低。LCD是通过将液晶注入到薄膜晶体管(TFT)衬底和滤色器(CF)衬底之间制成的。用来贴合这些衬底的工艺所具有的缺点是，这些工艺增加了成本并对性能有负面影响。
技术实现思路
根据本专利技术的一个方面，提供了一种衬底贴合设备，包括:第一室，所述第一室包括第一表面板，在第一表面板上接收第一衬底；表面板升降机，用于升起第一表面板；第二室，所述第二室包括第二表面板，在第二表面板上接收待贴合于第一衬底的第二衬底；至少一处胶粘剂，包含于第一表面板，用于附着到第一衬底；以及胶粘剂升降机，用于独立地升起胶粘剂。根据本专利技术的另一方面，提供了一种衬底贴合方法，包括:将第一衬底附着于第一表面板的胶粘剂；将第二衬底附着于第二表面板，使第一衬底和第二衬底对准；使第一衬底从第一表面板分离；以及升起包含于第一表面板的胶粘剂，使第一衬底落到第二衬底上，以使第一衬底和第二衬底被贴合在一起。根据本专利技术的另一方面，提供了一种衬底卡盘，包括:表面板，包括用于附着衬底的胶粘剂；以及分离单元，设置在表面板上，用来使所述衬底从表面板分离。附图说明图1是表示衬底贴合设备一个实施例的示意图。图2是表示包含在图1设备中的衬底卡盘放大视图的示意图。-->图3到图6是表示胶粘剂例子的示意图。图7和图8是表示包含在衬底贴合方法的多种实施例中的步骤的流程图。图9和图10是表示根据前述实施例的衬底卡盘可以如何操作的示意图。图11是表示衬底贴合设备另一个实施例的示意图。图12是可以用在图11中的衬底卡盘的俯视图。图13和图14是表示图11和图12中的衬底卡盘的构造和操作的示意图。图15到图18是表示可用于根据这里描述的实施例的设备中的胶粘剂布置。图19和图20是表示衬底卡盘另外的例子的示意图。具体实施方式LCD可以用多种工艺制造。例如，一种工艺涉及制备TFT衬底和CF衬底，另一种工艺涉及贴合这两个衬底，又一种工艺涉及将液晶材料注入到两个衬底之间的空间中。贴合这两个衬底的工艺是决定LCD质量和性能的最重要的工艺之一。衬底贴合工艺可以由衬底贴合设备进行。该设备包括上室和下室，这两个室限定了产生真空的居间空间。由Fujitsu Limited申请的名称为“System forProducing Pasted Substrate”的国际公开第WO/2004/097509、由Shin-EtsuEngineering Co.，Ltd申请的名称为“Sticking Device for Flat Panel Substrate”的国际公开第WO/2003/091970，公开了这种类型的衬底贴合设备的例子。在这些设备的操作过程中，TFT和CF衬底受压，而使它们贴合在一起。为了实现贴合，两个静电卡盘(ESC)以彼此相对的关系放置。衬底由静电卡盘保持。在贴合过程中，使卡盘相互靠近，同时精确地维持卡盘的平行度。然后，进行衬底的贴合工艺。但是，在这些设备中使用的静电卡盘非常昂贵。而且各卡盘表面上的聚酰亚胺膜被用来产生静电力。在使用过程中，这种膜常常被衬底贴合工艺中产生的颗粒损坏。图1表示的是另一种类型的衬底贴合设备的一个实施例。这个设备包括第一室100和第二室200，在这两个室中分别接收第一衬底S1和第二衬底S2。第二室固定于基座上，第一室位于第二室上方并由升降机300沿着上下方向运动。用于保持第一衬底S1的第一衬底卡盘110设置在第一室的底部。其上接-->收第二衬底S2的第二衬底卡盘210设置在第二室的顶部。第一衬底卡盘安装在第一室内的第一表面板101上，第二衬底卡盘安装在第二室内的第二表面板201上。第二衬底卡盘210可以是一种通过静电力保持第二衬底S2的静电卡盘(ESC)。而且，在第二室中设置了多个升降销220，这些升降销220贯穿或者以其他方式穿过第二衬底卡盘210和第二表面板201。当第二衬底S2被载运进来时，升降销被升起以接收第二衬底S2，然后被降下，使得第二衬底被接收在第二衬底卡盘210上。当顶部的第一衬底S1和底部的第二衬底S2贴合起来形成面板时，升降销220升起贴合后的面板，以使其能够被送出到外面。在第一室中也可以包含摄像机130，用来拍摄第一衬底S1和第二衬底S2上的对准标记。通过对这些对准标记进行成像，可以决定衬底S1和S2是否位于精确并对准的位置。摄像机经过贯穿第一室的孔100a拍摄标记。照明单元230设置在第二室200的底部，为孔200a提供光，使摄像机130能够更好地拍摄对准标记。衬底贴合设备还可以包括涡轮分子泵(TMP)或者干式泵，用来在第一、二室被相互紧密靠近时形成的处理空间中产生真空。第一表面板升降机151、胶粘剂升降机131和升降机300可以做成直线致动器。图2表示的是用于图1衬底贴合设备的衬底卡盘110的放大视图。衬底卡盘110包括上面接收第一衬底S1的第一表面板101、用于使第一表面板上下运动的第一表面板升降机151、贯穿或者穿过第一表面板101用来附着到第一衬底S1的多处胶粘剂124、以及用于沿上下方向移动胶粘剂124的胶粘剂升降机131。胶粘剂按照矩阵的形式布置在第一表面板101上。通过按矩阵形式布置胶粘剂，可以容易地维护和修补胶粘剂。除了矩阵形式外，可以根据用户的方便按照各种形式和构造来布置胶粘剂。通过固化10～75重量份、具有键合到硅原子的烯基(alkenyl groups)的有机聚硅氧烷、5～30重量份有机含氢聚硅氧烷(organhydrogenpolysiloxane)、包括加成固化型(addition-cure)催化剂的可加成固化的硅橡胶合成物，可以获得各胶粘剂124。这些胶粘剂可以通过压力成型、粉浆浇铸(slip casting)-->或者注射成型，对硅橡胶合成物进行模制形成。或者，可以通过将光照射到作为一种塑料的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上形成细沟槽，而形成这些胶粘剂，其中细沟槽具有直径大约为400nm的突起和凹陷。胶粘剂可以按图3到图6所示的各种形状形成。例如，胶粘剂可以按图3所示的圆形、图4所示的四边形、图5所示的五边形或者图6所示的椭圆形形成。现在来描述衬底贴合设备的操作以及可以根据图1实施例执行的衬底贴合方法。图7和图8是流程图，示出了包含在衬底贴合方法各种实施例中的步骤，图9和图10是表示衬底卡盘操作的示意图。开始时，机器人(没有示出)可以把第一衬底S1载运进第一室100和第二室200相互分开的空间中。第一室的胶粘剂升降机131使胶粘剂下降，使第一衬底S1附着到胶粘剂(S100)。胶粘剂升降机然后将胶粘剂和第一衬底S1一起升起。同时，在接收第一衬底S1的过程中，真空卡盘可以接收第一衬底S1并向上运动，使第一衬底S1粘到胶粘剂上。升降机131上下移动胶粘剂124。在其他实施例中可以使用多个胶粘剂升降机131来执行这种功能。第一衬底S1被载运进来之后，由机器人载运第二衬底S2。升降销220被升起来接收第二衬底S2。一旦升降销支承到第二衬底S2，机器人就从室移出。然后，升降销运动，使第二衬底S2被接收在第二表面板201上。当第二衬底S本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底贴合设备，包括：　第一室，所述第一室包括第一表面板，在所述第一表面板上接收第一衬底；　表面板升降机，用于升起所述第一表面板；　第二室，所述第二室包括第二表面板，在所述第二表面板上接收待贴合于所述第一衬底的第二衬底；　至少一处胶粘剂，包含于所述第一表面板，用于附着到所述第一衬底；以及　胶粘剂升降机，用于独立地升起所述胶粘剂。

【技术特征摘要】
KR 2007-9-20 10-2007-0095748;KR 2007-9-3 10-2007-01.一种衬底贴合设备，包括:第一室，所述第一室包括第一表面板，在所述第一表面板上接收第一衬底；表面板升降机，用于升起所述第一表面板；第二室，所述第二室包括第二表面板，在所述第二表面板上接收待贴合于所述第一衬底的第二衬底；至少一处胶粘剂，包含于所述第一表面板，用于附着到所述第一衬底；以及胶粘剂升降机，用于独立地升起所述胶粘剂。2.如权利要求1所述的设备，还包括:多处胶粘剂，所述胶粘剂升降机基本上同时地升起所述多处胶粘剂。3.如权利要求1所述的设备，其中，所述第一表面板被降下，使得所述第一衬底能够从所述第一表面板分离，并且其中通过使所述第一衬底从所述至少一处胶粘剂分离，所述第一衬底被分离。4.如权利要求3所述的设备，其中，所述至少一处胶粘剂在所述第一表面板被降下的时候被升起，以使所述第一衬底分离。5.如权利要求3所述的设备，其中，所述第一表面板在所述至少一处胶粘剂被升起的时候被降下，以使所述第一衬底分离。6.如权利要求3所述的设备，其中，所述至少一处胶粘剂和所述第一表面板沿着彼此相反的方向同时上下运动，以使所述第一衬底分离。7.一种衬底贴合方法，包括:将第一衬底附着于第一表面板的胶粘剂；将第二衬底附着于第二表面板，使所述第一衬底和所述第二衬底对准；使所述第一衬底从所述第一表面板分离；以及升起包含于所述第一表面板的胶粘剂，使所述第一衬底落到所述第二衬底上，以使所述第一衬底和第二衬底被贴合在一起。8.如权利要求7所述的方法，其中，所述胶粘剂在所述第一表面板被降下的时候被升起，以使所述第一衬底分离。9.如权利要求7所述的方法，其中，所述第一表面板在所述胶粘剂被升起的时候被降下，以使所述第一衬底分离。10.如权利要求7所述的方法，其中，所述胶粘剂...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄载锡，黄甫成权，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[]