一种用于铝合金表面膜层的激光去除方法技术

本发明专利技术属于激光加工技术领域，特别涉及一种用于铝合金表面膜层的激光去除方法。用于铝合金表面膜层的激光去除方法，具体包括如下步骤为：对铝合金表面多余膜层采用激光进行处理，从而去除铝合金表面多余膜层。所述方法可以去除铝合金表面的化学膜层或者物理膜层，不仅能够满足半导体领域对设备零部件精密度的要求，还能满足其他领域对膜层进行修复的要求；可以高效、高可靠性、高质量去除铝合金表面膜层，方法简便适合工业应用。方法简便适合工业应用。方法简便适合工业应用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于铝合金表面膜层的激光去除方法


[0001]本专利技术属于激光加工
，特别涉及一种用于铝合金表面膜层的激光去除方法。

技术介绍

[0002]目前，随着国家对半导体行业的重视，半导体行业的快速发展，半导体设备对零部件的精密度的要求越来越高。在半导体设备中，有很多零部件是铝制零部件，为了防止刻蚀气体对铝合金零件的腐蚀，通常对铝合金表面进行阳极氧化、喷涂陶瓷层等处理，从而提高铝合金零部件的使用寿命。
[0003]但并不是零件的所有部位都需要进行表面处理，这就需要将不需要表面处理的部位进行遮蔽，但在工业生产中，对铝合金零件表面处理后，会发现有遮蔽的部位也会有部分膜层，这就需要去除膜层处理。通常采用喷砂去除喷涂的陶瓷层或是采用人工修复的方式去除多余的膜层，但这些方法均无法确保去除效果的一致性，且效率低。
[0004]对于其他一些领域，为了提高铝合金零部件的耐腐蚀性、耐磨性通常也会对铝合金表面进行表面处理，当出现表面处理效果不好，或者使用一段时间，铝合金表面的膜会丧失一部分功能，这样也需要去除铝合金零部件表面的膜层，重新进行表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于铝合金表面膜层的激光去除方法，其特征在于，具体步骤为对铝合金表面多余膜层采用激光进行处理，从而去除铝合金表面多余膜层。2.如权利要求1所述的用于铝合金表面膜层的激光去除方法，其特征在于，所述膜层为阳极膜层、喷涂膜层、化学膜层或物理膜层。3.如权利要求1所述的用于铝合金表面膜层的激光去除方法，其特征在于，所述激光是固体脉冲激光。4.如权利要求1所述的用于铝合金表面膜层的激光去除方法，其特征在于，所述激光功率范围在20-50W，激光频率...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜春燕，赵晖，
申请(专利权)人：沈阳理工大学，
类型：发明
国别省市：