用于附着衬底的设备制造技术

提供了一种衬底贴合设备和方法。该衬底贴合设备可以包括：接收第一衬底的第一支承件；接收与第一支承件相对的第二衬底的第二支承件；支承销，支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该支承销可以连接到第一支承件；以及距离调节单元，距离调节单元可以向上或向下移动支承销，以调节第一支承件和第二支承件之间的距离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种衬底贴合设备，更具体地说，涉及一种在平板显示器面 板的制造过程中使用的衬底贴合设备。
技术介绍
随着基于信息技术的社会的发展，对显示器设备的需求在增加。诸如液晶显示器(LCD)、等离子显示器面板(PDP)和电致发光显示器(ELD) 的多种平板显示器设备正在被广泛使用。其中，由于LCI)与老式的阴极射线骨(CRT )相比具有优良的图像质量、 重量轻、厚度薄以及低功耗，LCD被广泛用于移动应用中。当制造用于LCD 的液晶显示器面板的时候，用于贴合阵列衬底和滤色器衬底的工艺会是确定 LCI)质量的重要因素。
技术实现思路
提供了一种衬底贴合设备，该衬底贴合设备能够在上板(或下板)向着 下板(或上板)移动的时候，防止上板(或者下板)震动。本申请包含并概况描述的衬底贴合设备可以包括第一支承件，第一支 承件在其一个主表面处固定第一衬底；第二支承件，第二支承件在其与第一 支承件相对的一个主表面处闺定第二衬底；支承销，支承销位于固定到第一 支承件的第一衬底的外部，该支承销连接到第一支承件；以及距离调节单元， 距离调节单元用于向上或向下移动支承销，以调节第 一支承件和第二支承件 之间的距离。支承销可以被布置成与第一衬底的一侧基本平行，并且距离调节单元包括 基本平行于固定到第二支承件的第二衬底的一侧而形成的槽，以接收支承销。距离调节单元可以包括推杆和致动器，其中推杆具有接收支承销的槽， 该推杆支承槽内接收到的支承销，并且致动器连接到推杆以向上或向下移动 推杆。本申请包含并概况描述的衬底贴合设备可以包括第一支承件，第一支承件在其一个主表面处固定第一衬底；第二支承件，第二支承件在其与第一 支承件相对的一个主表面处固定第二衬底；第一支承销，第一支承销位于固 定到第一支承件的第一衬底的外部，该第一支承销连接到第一支承件的一侧； 第二支承销，第二支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该第二 支承销连接到与第 一支承件的所述一侧基本平行的第 一支承件的另 一侧；第 一腔室，第一腔室具有开口，其中布置有第一支承件，第一腔室围绕第一和 第二支承销和第一支承件；第一和第二弹性件，第一和第二弹性件分别布置 在第 一腔室和第 一支承件的 一侧之间以及第 一腔室和第 一支承件的另 一侧之 间，以在朝着第一支承件的方向上向第一支承件提供弹性力；以及距离调节 单元，距离调节单元用于向上或向下移动第一和第二支承销，以调节第一支 承件和第二支承件之间的距离。本申请包含并概况描述的衬底贴合设备可以包括第一支承件，第一支 承件在其一个主表面处固定第一衬底；第二支承件，第二支承件在其与第一 支承件相对的一个主表面处固定第二衬底；第一支承销，第一支承销位于固 定到第 一支承件的第 一衬底的外部，该第 一支承销连接到第 一支承件的 一侧； 第二支承销，第二支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该第二 支承销连接到与第 一支承件的所述一侧基本垂直的第 一支承件的另 一侧；以 及距离调节单元，距离调节单元用于向上或向下移动第一和第二支承销，以 调节第 一 支承件和第二支承件之间的距离。附图说明下面将参照附图详细地描述实施例。附图中，类似附图标记表示类似元 件，其中，图1是本申请包含并概括性描述的衬底贴合设备的剖面图； 图2是本申请包含并概括性描述的衬底贴合设备的距离调节器的内部结 构的前剖面图3是图2中示出的距离调节器的部分透视闺； 图4是图2中示出的距离调节器的侧剖面图； 图5是上板和支承销的俯视图6是本申请包含并概括性描述的衬底贴合设备的另一距离调节器的内部结构的前剖面图7是图6中示出的距离调节器的侧剖面图； 图8A和8B是上板和支承销的俯视图；以及 图9是本申请包含并概括性描述的衬底贴合设备的操作流程图。具体实施例方式下文中，将参考附图1 - 9详细描述示例性实施例。这些示例性实施例可 以修改成多种形式，因此本专利技术的范围不应被解释成受这些示例性实施例的限制。薄膜晶体管(T1'T) -LCD面板可以通过下述步骤来制备制备具有以矩 阵形式排列的多个薄膜晶体管的阵列衬底；制备其上形成有滤色器或遮光膜 的滤色器衬底；将滤色器衬底贴合到阵列衬底，使得滤色器衬底与阵列衬底 相对，同时維持滤色器衬底和阵列衬底之间若千nm的预定距离；在贴合之 前、期间或之后，将液晶注入滤色器衬底和阵列衬底之间；以及密封经贴合 的滤色器衬底和阵列衬底。衬底贴合工艺可以由包括上腔室和下腔室的衬底贴合设备执行，并且在 上、下腔室限定的内部空间产生真空。衬底可以被固定到上腔室和下腔室， 并且可以被移动以调节衬底之间的距离，并且调节衬底的对准。在每个腔室 中可以设置有板、夹具和对准器，以防止腔室的结构变形影响衬底，并且还 用来对准和调节衬底之间的距离。本申请包含并概括性描述的示例性衬底贴合设备IOO在图1中示出。衬 底贴合设备l()()可以包括框架200、上腔室300、下腔室400、以及驱动器500。框架200形成衬底贴合设备100的外观，并且支承衬底贴合设备100的 相应组件。框架200包括限定框架200下部的多个支柱210，支柱21(H皮固 定到基底220的边缘。基底220支承驱动器500。在相邻的支柱210之间可 以设置额外的梁(未示出)或撑杆(未示出)，以增加支柱210提供的结构 刚度的强度。上腔室300可以结合到框架200的上部，并且可以与下腔室400紧密接 触以限定贴合空间。上腔室300可以包括上腔室主体31()和多个支承杆320， 其中上腔室主体31()被配置可以与下腔室400紧密接触以定义贴合空间，并 且多个支承杆320从上腔室主体310突出以允许框架200的支柱210从中穿过，使得支柱10被支承杆320接收并与支承杆320结合。上腔室主体310可以包括开口 312,开口 312形成在上腔室主体310的 下部以接收上支承件。上支承件可以包括上板330和被置于上板330底部的 上夹具340。上夹具340可以被形成为平板的形状。第一衬底P1可以被放置 在上夹具340的接收表面上。上夹具340可以是使用静电力来支承第一衬底 PI的静电夹具，或者是其他合适类型的夹具。在替代性实施例中，上板330 可以与上夹具34()—体形成。在此情形中，上板33()可以保持第一衬底P1。 支承销350可以从上板330的外端突出，并且可以被布置成与固定到上 夹具340的第一衬底Pl的一侧基本平行。支承销350可以由推杆412支承， 这将在稍后描述。摄像机36()可以设置在上腔室主体31()的顶部，以调节第一衬底P1和第 二衬底P2之间的相对位置。其他位置也可能适宜安放摄像机36()。还可以与 上腔室310—同设置衬底分离器370,以吸或压第一衬底Pl,使得第一衬底 Pl可以固定到上夹具340或者从上夹具340分离。摄像机36()通过形成在上腔室主体310和上板330中的通孔361可以观 察固定到上夹具340的第一衬底Pl和第二衬底P2之间的对准，这将在稍后 描述。例如，摄像机360可以在将第 一衬底P1和第二衬底P2重叠的时候， 观察设置在第 一衬底Pl和第二衬底P2上的对准标记(未示出)。摄像机360 还可以在将第一衬底Pl和第二衬底P2重叠的时候，观察第一衬底Pl和第 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底贴合设备，包括：　第一支承件，第一支承件在其接收表面上接收第一衬底；　与所述第一支承件相对设置以便在其间限定贴合空间的第二支承件，其中所述第二支承件在其接收表面上接收第二衬底；　设置在所述第一支承件内并在所述第一衬 底外部的支承销，其中所述支承销用于所述第一衬底相对于所述第二支承件的移动；以及　距离调节器，所述距离调节器有选择地向上或向下移动所述支承销，以调节所述第一支承件和所述第二支承件之间的距离。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金东建，崔凤焕，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]