衬底键合设备制造技术

本发明专利技术提供了一种衬底键合设备和方法。衬底键合设备可包括具有与固定到其一侧的衬底相对的接收表面的板、位于板的接收表面和衬底之间多个夹持件、以及用来将衬底从夹持件分离的衬底分离器。衬底分离器包括用于推衬底使衬底从夹持件分离的推力器和安装在板的接收表面上的基底板，基底板具有在其内形成的用以安装推力器的安装空间。推力器经过位于安装空间一端的进出端口伸出基底板，以对衬底施压。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种衬底键合设备，更具体地说，涉及一种包括衬底分离器 的衬底键合设备。
技术介绍
随着基于信息技术的社会的发展，对显示器件的需求越来越多。各种平板显示器件，诸如液晶显示器(LCD)、等离子体显示器(PDP)、电致发 光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)，已经-皮开发出来。与更早的 阴极射线管(CRT)技术相比，在这些显示器中，LCD具有优异的图像质量， 轻且薄，而且能够在低能耗下运行。对关联的制造技术的改进，可以帮助LCD 获得更广泛的应用。
技术实现思路
本专利技术提供了 一种衬底键合设备，其能够将由夹持件保持的衬底从该夹 持件分离。本申请包含并概括性描述的衬底键合设备包括板，所述板具有一个主 表面，所述主表面与固定到所述板一侧的村底相对；多个夹持件，位于所述 板的所述一个主表面和所述衬底之间，用于保持衬底；以及衬底分离单元， 用以从所述夹持件分离所述村底。衬底分离单元可包括用于推所述衬底使所述衬底从所述夹持件分离的推 力器和安装在所述板的所述一个主表面上的基底板，所述基底板具有在其内 部形成的用以安装所述推力器的安装空间。所述推力器经过位于所述安装空 间一端的进出端口伸出所述基底板，以对所述衬底施压。夹持件可围绕着所述进出端口设置。衬底分离单元还可以包括弹性件，用以向伸出所述基底板的所述推力器 提供回复力。衬底分离单元还可以包括能够在从外面供给的气体作用下膨胀以对所述推力器施压的膜片。衬底分离单元还可以包括活塞，用以对推力器施压，所述活塞包括活塞 杆、用以盖住所述推力器顶部和侧面的盖子、和置于所述盖子中与所述推力 器顶部接触的推力部。在所述推力器的侧面和所迷盖子的内侧可以安装o型圈。衬底分离单元可包括置于所述夹持件之间的膨胀件，使得所述膨胀件在 从外面供给的气体作用下膨胀，以对所述衬底施压。所述衬底分离单元还可以包括具有通孔的基底块和将气体供给到所述通 孔一侧的气体供给器，所述膨胀件位于所述通孔的另一側，所述膨胀件的一 側和另 一侧固定到所述基底块。所述膨胀件可以按照基本上平行于所述板的所述一个主表面延伸的杆状 形成。村底分离单元可包括用以向形成在所述板上的柱形沟槽的一端供给气体 的气体供给器和置于所述柱形沟槽中用于在气体作用下移向所述柱形沟槽开 放的另一端以对所述衬底施压的活塞。所述板可包括形成在所述柱形沟槽的内周用以防止所述活塞从所述柱形 沟槽分离的阻截突起。附图说明下面将参照附图详细描述实施例，其中，相同的附图标记表示相同的元 件。附图中，图1是本申请包含并概括性描述的衬底键合设备的剖视图； 图2是包含在图1所示衬底键合设备中的板上的衬底夹具布局的俯视图； 图3是根据本申请概括性描述的一个实施例的衬底夹具的局部切除的透 视图4和图5表示的是图3所示衬底夹具的4喿作；图6是根据本申请概括性描述的一个实施例的衬底夹具的局部去除透视图7和图8表示的是图6所示衬底夹具的操作；图9是根据本申请概括性描述的另 一 实施例的衬底键合设备的剖视图10是本申请包含并概括性描述的布置在板上的静电夹具俯视图；图11是图IO所示上板和静电夹具内部结构的前剖视图； 图12是图IO所示上板的侧剖视图13是根据本申请概括性描述的另一实施例的上板和静电夹具内部结 构的前剖^L图；以及图14和图15表示的是图10所示静电夹具和图9所示衬底键合设备的操作。具体实施例方式下面将参照图1 ~ 15更详细地描述示例性实施例。因为可以按各种形式 修改实施例，所以，本专利技术范围不应理解为受到本申请概括性描述的实施例 的限制。通过在上面形成有电极的薄膜晶体管(TFT)衬底和上面施加有荧光物 质的滤色器(CF)衬底之间注入液晶，可以制造LCD面板。可以在衬底外 周施加密封剂，以防止液晶泄漏。在衬底之间可以设置分隔件，以维持衬底 间的预定i 巨离。为了制造LCD，首先进行单独制备TFT衬底和CF衬底的工艺，接着是 键合衬底的工艺，然后是向衬底间限定的空间内注入液晶材料的工艺。键合 衬底的工艺在决定LCD质量方面是重要的。衬底键合工艺可以由衬底键合设备来执行。村底键合设备包括上腔室和 下腔室，上、下腔室形成了里面产生真空并执行该工艺的键合空间。衬底键 合设备可以对TFT衬底和CF衬底施压来键合衬底。为此，衬底键合设备可 包括沿竖向彼此相对设置的两个静电夹具(ESC ) 。 TFT衬底和CF衬底可以 由各自的静电夹具保持。在键合村底时，静电夹具可以彼此相向移动，同时 精确地维持静电夹具之间的平行度，使衬底键合到 一起。图1所示的衬底键合设备可包括接收第一衬底S1的第一腔室100和接收 第二衬底S2的第二腔室200。第二腔室200可以固定到基底，第一腔室100 可以在移动装置240的作用下向上或者向下运动。第一腔室100可设有第一衬底夹具300以保持第一衬底Sl,第二腔室200 可设有第二衬底夹具210以保持第二衬底S2。第一衬底夹具300和第二衬底 夹具210可分别安装在第一腔室100的第一板101上和第二腔室200的第二 板201上。第一村底夹具300可利用范德瓦尔斯力来保持第一衬底P1，第二衬底夹具210可利用静电力保持第二衬底P2。其他的手段也是合适的。图2是第一衬底夹具300的俯视图。如图2所示，第一衬底夹具300可以安装在第一板101上。第一衬底夹具300可包括底板310、以暴露的方式设置在底板310表面上的多处粘结剂320、以及衬底分离器330,村底分离器330设置在粘结剂320之间，用于在必要的时候将附着到粘结剂320上的第一衬底Sl从粘结剂320分开。在一些实施例中，取决于第一衬底S1的尺寸和第一板IOI的尺寸，可以在第一板101上安装多个第一衬底夹具300。下面将描述第一衬底夹具300的各种实施例。图3是第一衬底夹具第一实施例的局部去除透视图，图4和图5表示的是根据第一实施例的第一衬底夹具的操作。如图3所示，第一衬底夹具300可包括金属制成的底板310。底板310 可设有安装空间311，安装空间311具有形成在其下部的进出端口 321。在安 装空间311的内侧下面部分可形成台阶部322。围绕着底板310的进出端口 321,可布置多处粘结剂320来保持衬底S1。衬底分离器330可以被安装在安装空间311内。衬底分离器330可包括 推力器331,推力器331包括支承部331a和推力部331b,支承部331a位于 安装空间311内，使得支承部331a接合安装空间311的台阶部322，推力部 331b的直径小于支承部331a的直径。衬底分离器330还可包括膜片332和若干弹簧333。膜片332促使推力 器331的推力部331b伸向进出端口 321,弹簧333被置于推力器331的支承 部331a和安装空间311的台阶部322之间，以使推力器331弹性回复到安装 空间311内。在台阶部322上可形成支承突起323,用以支承弹簧333。位于 推力器331上的膜片332可以响应气体压力而膨胀或收缩。在膜片332的顶 部，气管332a可以向膜片332供给气体压力。气管332a可从底板310向外 延伸。下面将参照图4和图5描述图3所示第一衬底夹具300的操作。当如图 4所示，第一村底S1被粘结剂320保持时，推力器331被弹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衬底键合设备，包括：　具有接收表面的板，所述接收表面接收固定在其上面的衬底；　在所述板的所述接收表面设置的多个夹持件，其中，所述多个夹持件保持位于所述板的所述接收表面上的所述衬底的匹配表面；以及　衬底分离器，所述衬底分离器选择性地将所述衬底从所述多个夹持件分离，以从所述板释放所述衬底。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黄载锡，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]