【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种衬底键合设备，更具体地说，涉及一种包括衬底分离器 的衬底键合设备。
技术介绍
随着基于信息技术的社会的发展，对显示器件的需求越来越多。各种平板显示器件，诸如液晶显示器(LCD)、等离子体显示器(PDP)、电致发 光显示器(ELD)和真空荧光显示器(VFD)，已经-皮开发出来。与更早的 阴极射线管(CRT)技术相比，在这些显示器中，LCD具有优异的图像质量， 轻且薄，而且能够在低能耗下运行。对关联的制造技术的改进，可以帮助LCD 获得更广泛的应用。
技术实现思路
本专利技术提供了 一种衬底键合设备，其能够将由夹持件保持的衬底从该夹 持件分离。本申请包含并概括性描述的衬底键合设备包括板，所述板具有一个主 表面，所述主表面与固定到所述板一侧的村底相对；多个夹持件，位于所述 板的所述一个主表面和所述衬底之间，用于保持衬底；以及衬底分离单元， 用以从所述夹持件分离所述村底。衬底分离单元可包括用于推所述衬底使所述衬底从所述夹持件分离的推 力器和安装在所述板的所述一个主表面上的基底板，所述基底板具有在其内 部形成的用以安装所述推力器的安装空间。所述推力器经过位于...
【技术保护点】
一种衬底键合设备，包括： 具有接收表面的板，所述接收表面接收固定在其上面的衬底； 在所述板的所述接收表面设置的多个夹持件，其中，所述多个夹持件保持位于所述板的所述接收表面上的所述衬底的匹配表面；以及 衬底分离器，所述衬底分离器选择性地将所述衬底从所述多个夹持件分离，以从所述板释放所述衬底。
【技术特征摘要】
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