提拉涂膜夹具及提拉涂膜设备制造技术

本申请提供了提拉涂膜夹具及提拉涂膜设备，涉及化学膜制备技术领域。一种提拉涂膜夹具，包括主体、密封圈和两个压杆。主体具有凹槽和围设于凹槽四周的平台，平台用于放置待涂膜元件。密封圈围设于凹槽的四周且与平台密封连接。两个压杆能够分别与凹槽两侧的平台可拆卸连接，以将放置于平台上的待涂膜元件紧贴与密封圈。该提拉涂膜夹具对元件采用两侧夹持，不在元件顶部和底部有任何高出元件表面的夹持，避免影响元件表面膜层的均匀性。采用凹槽和密封圈的配合，实现大口径高径厚比元件的单面密封，能够实现对大口径高径厚比元件的两个不同表面制备不同的化学膜。表面制备不同的化学膜。表面制备不同的化学膜。

【技术实现步骤摘要】
提拉涂膜夹具及提拉涂膜设备


[0001]本申请涉及化学膜制备
，具体而言，涉及提拉涂膜夹具及提拉涂膜设备。

技术介绍

[0002]溶胶-凝胶技术制备薄膜的方法通常有旋涂法、弯月面法、提拉法等。旋转法工艺复杂，影响膜层均匀性因素复杂，并且要求待涂膜元件可承受高速旋转振动，同时对非涂膜表面易造成污染或破坏。弯月面法虽然可以实现低速膜层制备，但其工艺对设备要求高，制备的膜层均匀性较差。提拉法是将整个元件浸入预先制备好的溶胶之中，然后以精确控制的速度将元件平稳地从溶胶中提拉出来，在粘度和重力作用下基板表面形成一层均匀的液膜，随着溶胶中溶剂迅速蒸发，在被溶胶浸润过的元件全表面形成一层均匀的薄膜。而对于单面的涂膜需求，目前的提拉装置很难实现。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供提拉涂膜夹具及提拉涂膜设备，以解决不易对大口径高径厚比元件进行单面均匀涂膜的技术问题。
[0004]第一方面，本申请实施例提供了一种提拉涂膜夹具，包括主体、密封圈和两个压杆。主体具有凹槽和围设于凹槽四周的平台，平台用于放置待涂膜元件。密封圈围设于凹槽的四周且与平台密封连接。两个压杆能够分别与凹槽两侧的平台可拆卸连接，两个压杆被配置为作用于待涂膜元件的两个侧边且与平台连接，以将放置于平台上的待涂膜元件紧贴与密封圈。
[0005]该提拉涂膜夹具对元件采用两侧夹持，不在元件顶部和底部有任何高出元件表面的夹持，避免影响元件表面膜层的均匀性。采用凹槽和密封圈的配合，实现大口径高径厚比元件的单面密封，同时保护不涂膜的表面，避免该表面与任何部件接触，能够实现对大口径高径厚比元件的两个不同表面制备不同的化学膜。
[0006]在一种可能的实现方式中，平台的台面平整度不大于130μm。
[0007]由于大口径高径厚比元件结构较薄，若平台平整度不够，待涂膜元件的两侧在受到相同的外力时，会使得待涂膜元件部分位置产生弯曲等形变而导致破裂，因此平台的台面平整度较为重要。当平台的台面平整度不大于130μm时，该结构能够较大程度避免待涂膜元件的损坏。
[0008]在一种可能的实现方式中，平台包括沿凹槽的周边依次连接设置的第一台面、第二台面、第三台面和第四台面，第一台面和第三台面均设有至少两个用于与压杆可拆卸连接的凸台，凸台位于密封圈的外围。
[0009]凸台相对平台的台面要高出一定高度，该结构能够提高平台与压杆连接处的厚度，进而提高压杆与平台连接的稳固性。第一台面和第三台面均设有至少两个用于与压杆连接的凸台能够提高对压杆位置的限定，进而提高对元件固定的稳固性。
[0010]在一种可能的实现方式中，第二台面设有至少一个保护台，保护台位于密封圈的
外围，以限制待涂膜元件从提拉涂膜夹具滑脱。
[0011]保护台的作用是在底部保护元件，避免提拉过程中元件从平台脱落。
[0012]在一种可能的实现方式中，第四台面设有柱台，柱台位于密封圈的外围。在一种可能的实现方式中，还包括挂架，挂架与柱台固定连接。
[0013]提拉涂膜夹具通过挂架挂设于涂膜装置，方便提拉涂膜夹具的使用。
[0014]在一种可能的实现方式中，压杆包括紧固部和固定部，紧固部用于与平台可拆卸地连接，固定部用于与密封圈配合夹持固定放置于平台上的待涂膜元件。在一种可能的实现方式中，压杆的断面为L型结构。
[0015]该结构对压杆的不同部位的功能进行限定，以对元件进行更稳固的固定。
[0016]在一种可能的实现方式中，密封圈的宽度与凹槽的最长边的长度的比值为(1-1.5):90。
[0017]为了减少待涂膜元件与平台的接触面积，增大待涂膜元件的保护面积，元件与内台面的接触面积尽量小。但是若元件与内台面的接触面积太小，会导致元件的两边受到较大的压强，易引起元件开裂等损伤。在此基础上，本申请采用上述结构能够在尽量增大元件保护面积的同时，避免元件出现破裂的情况。
[0018]第二方面，提供了提拉涂膜设备，包括机械臂和上述提拉涂膜夹具，提拉涂膜夹具挂设于机械臂，机械臂能够带动提拉涂膜夹具运动。
[0019]该提拉涂膜设备能够实现对大口径高径厚比元件的单面密封，能够对大口径高径厚比元件的两个不同表面制备不同的化学膜。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1为本申请实施例提供的主体的第一视角的结构示意图；
[0022]图2为本申请实施例提供的主体的第二视角的结构示意图；
[0023]图3为本申请实施例提供的提拉涂膜夹具和待涂膜元件的结构示意图；
[0024]图4为本申请实施例提供的压杆的第一视角的结构示意图；
[0025]图5为本申请实施例提供的压杆的第二视角的结构示意图。
[0026]图标：10-待涂膜元件；100-提拉涂膜夹具；110-主体；111-凹槽；113-平台；1131-第一台面；1132-第二台面；1133-第三台面；1134-第四台面；115-卡槽；117-凸台；118-保护台；119-柱台；120-密封圈；130-压杆；131-紧固部；133-固定部；140-硅胶垫片；150-挂架。
具体实施方式
[0027]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实
施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0028]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]目前的化学薄膜的制备方法存在一定的缺陷，常用于元件的提拉法适用于全表面涂膜，若仅需单面涂膜或不同面涂不同的膜时，需要对不涂膜的面采取保护措施，而在保护膜面的过程中难免会对膜面造成损伤，进而影响元件的膜层质量。并且，对于大口径高径厚比元件，由于其表面积大，但厚度薄，因此在进行膜面保护的过程中，容本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提拉涂膜夹具，其特征在于，包括：主体，所述主体具有凹槽和围设于所述凹槽四周的平台，所述平台用于放置待涂膜元件；密封圈，所述密封圈围设于所述凹槽的四周且与所述平台密封连接；以及两个压杆，所述两个压杆能够分别与所述凹槽两侧的平台可拆卸连接，所述两个压杆被配置为作用于待涂膜元件的两个侧边且与所述平台连接，以将放置于所述平台上的待涂膜元件紧贴于所述密封圈。2.根据权利要求1所述的提拉涂膜夹具，其特征在于，所述平台的台面平整度不大于130μm。3.根据权利要求1所述的提拉涂膜夹具，其特征在于，所述平台包括沿所述凹槽的周边依次连接设置的第一台面、第二台面、第三台面和第四台面，所述第一台面和所述第三台面均设有至少两个用于与所述压杆可拆卸连接的凸台，所述凸台位于所述密封圈的外围。4.根据权利要求3所述的提拉涂膜夹具，其特征在于，所述第二台面设有至少一个保护台，所述保护台位于所述密封圈的外围，...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠浩浩，雷向阳，杨伟，邓雪然，王天宇，袁志刚，张帅，马红菊，张剑锋，苏文虎，高睿，张利平，朱玉洁，张清华，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：