【技术实现步骤摘要】
一种材料放气率测试系统及其测试方法
[0001]本专利技术涉及材料放气率测试领域，尤其涉及一种材料放气率测试系统及其测试方法。
技术介绍
[0002]在真空条件下，材料表面吸附的气体或者材料内部的气体会释放出来，称为材料放气。在太空中，周围结构材料的放气可能对气象观测卫星的镜头等关键部件造成污染，大幅减低其使用寿命和性能；在其他超高真空应用中，材料放气也会对极限真空的获得和维持造成障碍。为了保障航天装备、基础电子产业、核工业、高能物理、先进医疗器械等产业的真空条件下应用的组件能够正常使用，需要对真空中应用的材料放气率进行精确测量。在材料放气测量方面，当前国际上常用的方法有累积法和动态流量法，以及由动态流量法延伸出来的流导调制法、转换气路法等。文献“Measurement system for low outgassing materials by switching between two pumping paths”，《Vacuum》1996年第6-8期、第749～752页，提出基于转换气路法的测试装置；文献“小孔流导法测...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种材料放气率测试系统，其特征在于：包含第一真空室(VC1)、第二真空室(VC2)、第三真空室(VC3)、第一小孔元件(C1)、第二小孔元件(C2)、第一真空计(G1)、第二真空计(G2)、第三真空计(G3)、机械泵(RP1)、第一分子泵(TMP1)、第二分子泵(TMP2)、第一真空阀门(V1)、第二真空阀门(V2)、第三真空阀门(V3)、第四真空阀门(V4)、第五真空阀门(V5)、第六真空阀门(V6)，第七真空阀门(V7)、第八真空阀门(V8)、第九真空阀门(V9)、第十真空阀门(V10)、第十一真空阀门(V11)、一个气体流量控制器(MFM)、一个减压阀门(V12)、离子泵(SIP1)、一个标准气瓶和一个恒温箱(CTB)。其中，机械泵(RP1)分别与第一真空阀门(V1)的一端和第二真空阀门(V2)的一端连接，第一真空阀门(V1)的另一端与第一分子泵(TMP1)的抽气出口连接，第一分子泵(TMP1)的抽气入口与第二分子泵(TMP2)的抽气出口连接，第二分子泵(TMP2)的抽气入口与第四真空阀门(V4)的一端连接，第四真空阀门(V4)的另一端与第三真空室(VC3)的一端连接，第二真空阀门(V2)的另一端分别与第一真空计(G1)、第三真空阀门(V3)的一端、第一真空室(VC1)连接，第三真空阀门(V3)的另一端分别和第六真空阀门(V6)的一端、第一小孔元件(C1)的一端、第一真空室(VC1)的一端连接，小孔元件(C1)的另一端通过第五真空阀门(V5)与第三真空室(VC3)连接，第六真空阀门(V6)的另一端分别与第二真空计(G2)、第七真空阀门(V7)的一端连接，第七真空阀门(V7)的另一端分别与第二小孔元件(C2)的一端、第二真空室(VC2)的一端连接，第二小孔元件(C2)的另一端通过第八真空阀门(V8)与第三真空室(VC3)连接，第三真空计(G3)、第九真空阀门(V9)与第三真空室(VC3)连接，第九真空阀门(V9)的另一端与第一离子泵(SIP1)连接，流量控制器(MFM)的一端分别通过第十真空阀门(V10)、第十一真空阀门(V11)与第一真空室(VC1)、第二真空室(VC2)连接，流量控制器(MFM)的另一端通过减压阀门(V12)与标准气瓶连接。2.根据权利要求1所述的一种材料放气率测试系统，其特征在于：所述第一真空室和第二真空室为高纯石英制成的圆管，内表面积均小于150cm2，身放气率小于1
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Pam3/(scm2)。3.根据权利要求1所述的一种材料放气率测试系统，其特征在于：所述第一真空室(VC1)和第二真空室(VC2)，以及与其连接的法兰接头均采用高精度机床加工，保证、结构和尺寸均相同，加工过程采用超高真空处理，包括清洗、高温退火、镀膜，使用期间定期进行整体烘烤除气处理，烘烤温度设为150℃。样品测量时，恒温箱CTB温度设定为23
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【专利技术属性】
技术研发人员：卢耀文，杨传森，闫睿，余荣，王汐月，董云宁，徐宇杰，方昭阳，
申请(专利权)人：北京东方计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：
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