本发明专利技术公开了一种基于腔增强技术的气体在线检测装置，包括可调谐半导体激光器、光学腔、光电探测器、数据采集及处理系统、气体压缩腔、压力传感器、TEC半导体制冷器、微处理器以及显示屏等，本发明专利技术能够通过被测气体的体积压缩来增大被测气体的浓度，从而通过增大被测气体浓度的方法来补偿减少的激光吸收光程，当测出被压缩体积后密度增大的被测气体浓度时，通过体积换算，再将该浓度转换为实际密度的被测气体浓度，本发明专利技术相对于现有技术腔增强型TDLAS气体浓度检测装置，其配合腔增强型光学腔的检测精准度更高，且作为测量气室的光学腔不需要为实现更长的吸收光程而制造的更加精密，能够显著的降低气体检测装置的成本。能够显著的降低气体检测装置的成本。能够显著的降低气体检测装置的成本。
【技术实现步骤摘要】
一种基于腔增强技术的气体在线检测装置
[0001]本专利技术属于气体检测领域，具体涉及一种基于腔增强技术的气体在线检测装置。
技术介绍
[0002]可调谐半导体激光吸收光谱技术(简称TDLAS技术)的原理是：物质对不同频率的电磁波有不同的吸收，因此可将吸收谱线作为识别不同气体分子的“指纹”，根据吸收谱线的位置及强度来确定分子的成分及浓度。TDLAS技术以可调谐半导体激光器作为激光光源，有着很高的光谱分辨率和可调谐性，利用这些特点对被测气体分子在该光谱范围内的一条振转线的光谱吸收进行测量，从而实现被测气体浓度的检测。作为测量气体浓度值的一种方法，TDLAS测量法是一种不与被测气体相接触的非接触式测量法。在采用TDLAS测量法测量被测气体的浓度时，将以电流按照一定频率f调制了波长的入射激光导入装有一种或多种待分析的目标气体的测量气室中，并利用气体传感测量装置的光电传感装置检测已通过待测气体并返回的透射激光的光功率。该待测气体的气体成分具有特定波长的吸收特性，因此，在将具有特定频率f的入射激光导入待测气体时，入射激光在该待测气体的目标气体成分的特定频率f附近被强烈吸收，获取入射激光被目标气体成分吸收的强度，并参照入射激光的强度，可以反演计算出待测气体中目标气体成分的浓度。
[0003]现有的腔增强型TDLAS气体检测装置在检测测量气室中的气体密度较低的目标气体浓度时，一般仅单纯的依靠增加激光吸收光程来提高检测精度，为了增加激光吸收光程往往使检测激光在测量气室(光学腔)中进行若干次反射，以尽可能增加气体吸收效果，然而由于气室中的气体密度较低，所测气体对激光的吸收具有较大的偶然性再加之激光的反复反射所造成的光能反射损失，则难以显著减小气体浓度测量的误差。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是克服上述现有技术中存在的问题，提供一种基于腔增强技术的气体在线检测装置，能够通过被测气体的体积压缩来增大被测气体的浓度，从而通过增大被测气体浓度的方法来补偿所减少的激光吸收光程，当测出被压缩体积后密度增大的被测气体浓度时，通过体积换算，再将该浓度转换为实际密度的被测气体浓度，本专利技术相对于现有技术腔增强型TDLAS气体浓度检测装置，其配合腔增强型光学腔的检测精准度更高，且作为测量气室的光学腔不需要为实现更长的吸收光程而制造的更加精密，能够显著的降低气体检测装置的成本。
[0005]本专利技术的技术方案是：一种基于腔增强技术的气体在线检测装置，包括：可调谐半导体激光器、光学腔、光电探测器以及数据采集及处理系统，其中，所述可调谐半导体激光器用于发出气体检测用激光；所述光学腔用于容纳被测气体并使可调谐半导体激光器所发出的激光在光学腔中经过若干次反射被被测气体吸收；所述光电探测器用于接收从光学腔出射的激光，并将光信号转换成电信号；所述数据采集及处理系统用于接收光电探测器所输出的电信号，并进行分析和计算，实时在线得到被测气体的浓度值；还包括：
之间的函数关系，并通过该函数关系得到气体未被压缩时，即气体压缩腔和光学腔的容积V0内充分充满被测气体时的更为准确实际浓度值n0’
。
[0017]本专利技术的有益效果：本专利技术提供了一种基于腔增强技术的气体在线检测装置，能够通过被测气体的体积压缩来增大被测气体的浓度，从而能够在较少的激光反复反射吸收光程下，通过增大被测气体浓度的方法来补偿所减少的激光吸收光程，当测出被压缩体积后密度增大的被测气体浓度时，通过体积换算，再将该浓度转换为实际密度的被测气体浓度，进一步地，本专利技术通过气缸的伸缩能够高效、快速的实现活塞的移动，从而快速的实现被测气体气体体积的压缩，而本专利技术测量方法中将多次不同的被压缩的被测气体体积所得出的实际的被测气体浓度通过最小二乘法拟合得到被压缩的被测气体体积和被测气体浓度之间的函数关系，通过该函数关系能够得出更为精确的未被压缩时的被测气体浓度，非常适合测量精度要求很高的应用场合，本专利技术相对于现有技术腔增强型TDLAS气体浓度检测装置，其配合腔增强型光学腔的检测精准度更高，且作为测量气室的光学腔则不需要为实现更长的吸收光程而制造的更加精密，能够显著的降低气体检测装置的成本并提高测量精度。
附图说明
[0018]图1是本专利技术的整体结构示意图；
[0019]图2是本专利技术的电系统连接框图。
具体实施方式
[0020]下面结合附图，对本专利技术的一个具体实施方式进行详细描述，但应当理解本专利技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0021]参见图1-图2，本实施例提供了一种基于腔增强技术的气体在线检测装置，包括：可调谐半导体激光器1、光学腔2、光电探测器3以及数据采集及处理系统4，其中可调谐半导体激光器1用于发出气体检测用激光；所述光学腔2用于容纳被测气体并使可调谐半导体激光器1所发出的激光在光学腔2中经过若干次反射被被测气体吸收；所述光电探测器3用于接收从光学腔2出射的激光，并将光信号转换成电信号；所述数据采集及处理系统4用于接收光电探测器3所输出的电信号，并进行分析和计算，实时在线得到被测气体的浓度值；本专利技术装置还包括气体压缩腔5、压力传感器20、TEC半导体制冷器19、微处理器6、显示屏7以及无线通信模块17等，其中气体压缩腔5与所述光学腔2连接并与光学腔2的内部空间相连通，所述气体压缩腔5内部滑动密封连接有活塞10，所述活塞10与气缸8连接，气缸8固定于架体9上，所述架体9固定于气体压缩腔5上，所述气缸8推动所述活塞10运动，从而使得填充于气体压缩腔5和光学腔2中的被测气体得到压缩；所述气体压缩腔5的侧壁上设有第一气体接口11，光学腔2侧壁设有第二气体接口12；压力传感器20设于所述活塞10的面向气体压缩腔5内部一侧的面上，用于检测气体压缩腔5内的被测气体的压力值，在被测气体被压缩的过程中其检测到的气体压力值会上升；TEC半导体制冷器19设于光学腔2侧壁上，其冷端面向光学腔2的内部，用于给光学腔2中的被压缩的被测气体降温；微处理器6用于控制所述气缸8按照要求推伸量对所述活塞10进行推进，从而使得气体压缩腔5和光学腔2中的被测气体体积达到设定的体积量V；同时用于接收压力传感器20所检测到的被压缩的被测气体
的压力值，当该压力值高于被测气体未被压缩时的压力值时，所述微处理器6控制所述TEC半导体制冷器19给光学腔2中的被压缩的被测气体降温，直至气体压缩腔5和光学腔2中的被测气体体积达到设定的体积量V、且压力传感器20检测到的被测气体的压力值等于被测气体未被压缩时的压力值时，所述微处理器6控制所述TEC半导体制冷器19停止给光学腔2中的被压缩的被测气体降温，本专利技术之所以要在压缩被测气体的过程中根据压力传感器所检测到的气体压力值来通过TEC半导体制冷器19对被测气体进行降温，从而使得被压缩的被测气体的压力值恢复至未压缩时的压力值，这是因为如果不对被压缩的气体进行降压，则会由于被测气体被压缩后使得被测气体密度升高，导致气体分子的自由程减小，气体分子之间的碰撞率增加，会对测量信号带来噪声，导致测量信号的信噪比降低，故在压缩被测气体的同时必须对被测气体本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于腔增强技术的气体在线检测装置，包括：可调谐半导体激光器(1)、光学腔(2)、光电探测器(3)以及数据采集及处理系统(4)，其中，所述可调谐半导体激光器(1)用于发出气体检测用激光；所述光学腔(2)用于容纳被测气体并使可调谐半导体激光器(1)所发出的激光在光学腔(2)中经过若干次反射被被测气体吸收；所述光电探测器(3)用于接收从光学腔(2)出射的激光，并将光信号转换成电信号；所述数据采集及处理系统(4)用于接收光电探测器(3)所输出的电信号，并进行分析和计算，实时在线得到被测气体的浓度值；其特征在于，还包括：气体压缩腔(5)，与所述光学腔(2)连接并与光学腔(2)的内部空间相连通，所述气体压缩腔(5)内部滑动密封连接有活塞(10)，所述活塞(10)与气缸(8)连接，气缸(8)固定于架体(9)上，所述架体(9)固定于气体压缩腔(5)上，所述气缸(8)推动所述活塞(10)运动，从而使得填充于气体压缩腔(5)和光学腔(2)中的被测气体得到压缩；所述气体压缩腔(5)的侧壁上设有第一气体接口(11)，光学腔(2)侧壁设有第二气体接口(12)；压力传感器(20)，设于所述活塞(10)的面向气体压缩腔(5)内部一侧的面上，用于检测气体压缩腔(5)内的被测气体的压力值；TEC半导体制冷器(19)，设于光学腔(2)侧壁上，其冷端面向光学腔(2)的内部，用于给光学腔(2)中的被压缩的被测气体降温；微处理器(6)，用于控制所述气缸(8)按照要求推伸量对所述活塞(10)进行推进，从而使得气体压缩腔(5)和光学腔(2)中的被测气体体积达到设定的体积量V；同时用于接收压力传感器(20)所检测到的被压缩的被测气体的压力值，当该压力值高于被测气体未被压缩时的压力值时，所述微处理器(6)控制所述TEC半导体制冷器(19)给光学腔(2)中的被压缩的被测气体降温，直至气体压缩腔(5)和光学腔(2)中的被测气体体积达到设定的体积量V、且压力传感器(20)检测到的被测气体的压力值等于被测气体未被压缩时的压力值时，所述微处理器(6)控制所述TEC半导体制冷器(19)停止给光学腔(2)中的被压缩的被测气体降温；微处理器还用于接收所述数据采集及处理系统(4)所得到的对应于所述设定的体积量、压强值与被压缩前的压强值相等时的被测气体的浓度值n，并根据公式n0＝(n*V)/V0，得到被测气体的实际浓度n0，其中V0为气体压缩腔(5)和光学腔(2)的容积之和；显示屏(7)，用于接收并显示所述微处理器(6)所获得的被测气体的实际浓度n0；无线通信模块(17)，用于无线接收所述微处理器(6)所获得的被测气体的实际浓度n0，并将所述实际浓度n0无线...
【专利技术属性】
技术研发人员：任卫卫，王龙，
申请(专利权)人：西安智光物联科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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