本发明专利技术提供一种研磨装置，包含基座、二承载组、第一砂轮组及第二砂轮组。二承载组分别设置于基座上并包含下主轴及载盘。载盘设置于下主轴上以承载待磨组件。第一砂轮组及第二砂轮组分别可位移地设置于基座上。第一砂轮组包含第一Z轴滑台及第一砂轮轴。第二砂轮组包含第二Z轴滑台及第二砂轮轴。第一砂轮轴可位移地设置于第一Z轴滑台上，并受第一Z轴滑台带动于二载盘上方位移。第二砂轮轴可位移地设置于第二Z轴滑台上，并受第二Z轴滑台带动于二载盘上方位移。借此，可提升研磨装置的作业速度及加工精度，并提升产品良率。并提升产品良率。并提升产品良率。
【技术实现步骤摘要】
研磨装置
[0001]本专利技术涉及一种研磨装置，且尤其涉及一种具有稳固的承载组及可多方向位移的砂轮组研磨装置。
技术介绍
[0002]在半导体产业中，为了有效率的对产品(如晶片或玻璃基板)进行加工，工艺设备上会将多个下主轴及工件承载平台设置于大回转盘上。借由大回转盘的公转将下主轴及工件承载平台调整至加工装置下方，以对待作业组件进行加工，然而将下主轴设置于大回转盘上的结构，由于该下主轴亦有自转功能，且需配置相关的水、气、电等必要的管线，致使容易因下主轴与大回转盘的连接结构导致大回转盘于公转时，影响下主轴及工件承载平台的稳定性，进而使产品的良率降低，且无法进行高精密度的加工。再者，若前述待加工的产品尺寸增大则其对应的工件承载平台、大回转盘等诸多构件也将随之而变大，且不利于其制造的精度及组配，如此除有前述的缺点，尚会造成工作空间变大，而降低其厂房利用率。
[0003]有鉴于此，一种可同时有效率地且稳定地对于多个产品进行加工的半导体工艺设备为业界目前亟需研究开发的目标。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种研磨装置，通过将下主轴稳固地设置于基座上及可多方向位移的砂轮组的配置以提升研磨装置的加工精度，进而提升产品的良率。
[0005]依据本专利技术的一实施方式提供一种研磨装置，其特征在于，包含基座、二承载组、第一砂轮组及第二砂轮组。承载组设置于基座上，其中各承载组包含下主轴及载盘。载盘设置于下主轴上以承载待磨组件。第一砂轮组设置于基座上，且位于各承载组的一侧，并可相对该基座位移。第一砂轮组包含第一Z轴滑台及第一砂轮轴。第一砂轮轴可位移地设置于第一Z轴滑台上，并受第一Z轴滑台带动以于二载盘上方位移。第二砂轮组设置于基座上，且位于各承载组的另一侧，并可相对该基座位移。第二砂轮组包含第二Z轴滑台及第二砂轮轴。第二砂轮轴可位移地设置于第二Z轴滑台上，并受第二Z轴滑台带动于二载盘上方位移。借此，研磨装置的下主轴可稳固地设置于基座上以提升研磨装置的加工精度，进而提升产品良率。
[0006]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中各承载组分别沿承载枢转轴心进行枢转，且各载盘为吸附平台。
[0007]根据前段所述实施方式的研磨装置，还包含机架。机架设置于基座上并与第一砂轮组连接。
[0008]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中第一Z轴滑台包含第一Z轴滑台马达、第一Z轴滑台螺杆及第一Z轴滑台线轨。第一Z轴滑台螺杆与第一砂轮轴连接，并受第一Z轴滑台马达带动，进而带动第一砂轮轴，以调整第一砂轮轴于Z轴方向的位置。第一Z轴滑台线轨与第一砂轮轴连接。第二Z轴滑台包含第二Z轴滑台马达、第二Z轴滑台螺杆及第二Z轴滑台
线轨。第二Z轴滑台螺杆与第二砂轮轴连接，并受第二Z轴滑台马达带动，进而带动第二砂轮轴，以调整第二砂轮轴于Z轴方向的位置。第二Z轴滑台线轨与第二砂轮轴连接。
[0009]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中基座包含X轴滑台及Y轴滑台。X轴滑台设置于基座上。Y轴滑台可位移地设置于X轴滑台上以承载第二砂轮组。
[0010]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中X轴滑台包含X轴滑台马达、X轴滑台螺杆及X轴滑台线轨。X轴滑台马达设置于基座上。X轴滑台螺杆与Y轴滑台连接并受X轴滑台马达带动，以调整Y轴滑台于X轴方向的位置。X轴滑台线轨设置于X轴滑台上并配合X轴滑台螺杆而与Y轴滑台连接。
[0011]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中Y轴滑台包含Y轴滑台马达、Y轴滑台螺杆及Y轴滑台线轨。Y轴滑台马达设置于基座上。Y轴滑台螺杆与第二Z轴滑台连接并受Y轴滑台马达带动，以调整第二Z轴滑台于Y轴方向的位置。Y轴滑台线轨设置于Y轴滑台上并配合Y轴滑台螺杆而与第二Z轴滑台连接。
[0012]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中机架包含X轴机架马达、X轴机架螺杆及X轴机架线轨。X轴机架马达设置于机架上。X轴机架螺杆与第一Z轴滑台连接并受X轴机架马达带动，以调整第一Z轴滑台于X轴方向的位置。X轴机架线轨设置于机架上并配合X轴机架螺杆而与第一Z轴滑台连接。
[0013]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中基座还包含第一X轴滑台、第一Y轴滑台、第二X轴滑台及第二Y轴滑台。第一X轴滑台设置于基座上，且位于各承载组的一侧。第一Y轴滑台可位移地设置于第一X轴滑台上，且第一砂轮组设置于第一Y轴滑台。第二X轴滑台设置于基座上，且位于各承载组的另一侧。第二Y轴滑台可位移地设置于第二X轴滑台上，且第二砂轮组设置于第二Y轴滑台。
[0014]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中第一X轴滑台包含第一X轴滑台马达、第一X轴滑台螺杆及第一X轴滑台线轨。第一X轴滑台马达设置于基座上。第一X轴滑台螺杆与第一Y轴滑台连接并受第一X轴滑台马达带动，以调整第一Y轴滑台于X轴方向的位置。第一X轴滑台线轨设置于第一X轴滑台上并配合第一X轴滑台螺杆而与第一Y轴滑台连接。第二X轴滑台包含第二X轴滑台马达、第二X轴滑台螺杆及第二X轴滑台线轨。第二X轴滑台马达设置于基座上。第二X轴滑台螺杆与第二Y轴滑台连接，并受第二X轴滑台马达带动，以调整第二Y轴滑台于X轴方向的位置。第二X轴滑台线轨设置于第二X轴滑台上并配合第二X轴滑台螺杆而与第二Y轴滑台连接。
[0015]根据前段所述实施方式的研磨装置，其中第一Y轴滑台包含第一Y轴滑台马达、第一Y轴滑台螺杆及第一Y轴滑台线轨。第一Y轴滑台马达设置于第一Y轴滑台上。第一Y轴滑台螺杆与第一Z轴滑台连接并受第一Y轴滑台马达带动，以调整第一Z轴滑台于Y轴方向的位置。第一Y轴滑台线轨设置于第一Y轴滑台上并配合第一Y轴滑台螺杆而与第一Z轴滑台连接。第二Y轴滑台包含第二Y轴滑台马达、第二Y轴滑台螺杆及第二Y轴滑台线轨。第二Y轴滑台马达设置于第二Y轴滑台上。第二Y轴滑台螺杆与第二Z轴滑台连接并受第二Y轴滑台马达带动，以调整第二Z轴滑台于Y轴方向的位置。第二Y轴滑台线轨设置于第二Y轴滑台上并配合第二Y轴滑台螺杆而与第二Z轴滑台连接。
[0016]根据前段所述实施方式的研磨装置，还包含第一砂轮枢转台及第二砂轮枢转台。第一砂轮枢转台设置于基座，其中第一砂轮组设置于第一砂轮枢转台。第二砂轮枢转台设
置于基座，其中第二砂轮组设置于第二砂轮枢转台。
附图说明
[0017]图1A绘示依照本专利技术一实施方式的研磨装置的上视图；
[0018]图1B绘示依照图1A实施方式的研磨装置的立体图；
[0019]图1C绘示依照图1A实施方式的研磨装置的侧视图；
[0020]图1D绘示依照图1A实施方式的研磨装置另一状态的侧视图；
[0021]图2A绘示依照本专利技术另一实施方式的研磨装置的上视图；
[0022]图2B绘示依照图2A实施方式的研磨装置的侧视图；
[0023]图3A绘示依照本专利技术又一实施方式的研磨装置的上视图；
[0024]图3B绘示依照图3A实施方式的研磨装置的立体图；以及
[0025]图3C绘示依照图3A实施方式的研磨装置的侧本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种研磨装置，其特征在于，包含：一基座；二承载组，设置于该基座上，其中各该承载组包含：一下主轴；及一载盘，设置于该下主轴上，以承载一待磨组件；一第一砂轮组，设置于该基座上，且位于各该承载组的一侧，并可相对该基座位移，其包含：一第一Z轴滑台；及一第一砂轮轴，可位移地设置于该第一Z轴滑台上，并受该第一Z轴滑台带动于二该载盘上方位移；以及一第二砂轮组，设置于该基座上，且位于各该承载组的另一侧，并可相对该基座位移，其包含：一第二Z轴滑台；及一第二砂轮轴，可位移地设置于该第二Z轴滑台上，并受该第二Z轴滑台带动于二该载盘上方位移。2.如权利要求1所述的研磨装置，其中各该承载组分别沿一承载枢转轴心进行枢转，且各该载盘为一吸附平台。3.如权利要求1所述的研磨装置，还包含：一机架，其设置于该基座上，并与该第一砂轮组连接。4.如权利要求3所述的研磨装置，其中，该第一Z轴滑台包含：一第一Z轴滑台马达；一第一Z轴滑台螺杆，与该第一砂轮轴连接，并受该第一Z轴滑台马达带动，进而带动该第一砂轮轴，以调整该第一砂轮轴于一Z轴方向的位置；及一第一Z轴滑台线轨，其与该第一砂轮轴连接；该第二Z轴滑台包含：一第二Z轴滑台马达；一第二Z轴滑台螺杆，与该第二砂轮轴连接，并受该第二Z轴滑台马达带动，进而带动该第二砂轮轴，以调整该第二砂轮轴于该Z轴方向的位置；及一第二Z轴滑台线轨，其与该第二砂轮轴连接。5.如权利要求3所述的研磨装置，其中该基座包含：一X轴滑台，设置于该基座上；一Y轴滑台，可位移地设置于该X轴滑台上，以承载该第二砂轮组。6.如权利要求5所述的研磨装置，其中该X轴滑台包含：一X轴滑台马达，设置于该基座上；一X轴滑台螺杆，与该Y轴滑台连接，并受该X轴滑台马达带动，以调整该Y轴滑台于一X轴方向的位置；及一X轴滑台线轨，设置于该X轴滑台上并配合该X轴滑台螺杆而与该Y轴滑台连接。7.如权利要求5所述的研磨装置，其中该Y轴滑台包含：
一Y轴滑台马达，设置于该基座上；一Y轴滑台螺杆，与该第二Z轴滑台连接，并受该Y轴滑台马达带动，以调整该第二Z轴滑台于一Y轴方向的位置；及一Y轴滑台线轨，设置于该Y轴滑台上，并配合该Y轴滑台螺杆而与该第二Z轴滑台连接。8.如权利要求3所述的研磨装置，其中该机架包含...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄宝锋，林君安，侯柏均，杨宗霖，
申请(专利权)人：均豪精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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