一种门阀组件、半导体设备及门阀组件的控制方法技术

本发明专利技术提供一种门阀组件，包括阀板、阀板控制机构、调节控制模块和调节执行机构，阀板控制机构用于控制阀板的位置，以使得阀板在封闭出气口的位置、开启出气口的位置或者部分封闭出气口的位置之间切换，阀板控制机构包括用于调节阀板在部分封闭出气口时位置的中位调节件，调节控制模块用于在接收到外部指令后，向调节执行机构发送控制信号，以使调节执行机构根据控制信号调节中位调节件。在本发明专利技术提供的门阀组件控制方法和半导体设备中，调节控制模块能够根据外部指令驱动该调节执行机构自动在线控制门阀组件的中位调节件，提高了控制门阀组件的操作效率。本发明专利技术还提供一种半导体设备和一种门阀组件的控制方法。设备和一种门阀组件的控制方法。设备和一种门阀组件的控制方法。

【技术实现步骤摘要】
一种门阀组件、半导体设备及门阀组件的控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体工艺领域，具体地，涉及一种半导体设备的门阀组件、一种半导体设备和一种门阀组件的控制方法。

技术介绍

[0002]高真空门阀(Gate Valve)被广泛使用在物理气相沉积(PVD，Physical Vapor Deposition)设备中，用于实现物理气相沉积设备中工艺腔的高真空隔离和小范围压力控制。
[0003]典型的门阀结构通常包括阀板和阀板控制机构，其中阀板用于与工艺腔的出气口匹配设置，该阀板控制机构用于控制阀板的位置，以使得阀板开启该出气口(即开位，Open Position)封闭该出气口(即关位，Closed Position)或者部分封闭该出气口(即中位，IntermediatePosition)。该阀板控制机构还包括中位调节件，该中位调节件用于调节该阀板位于中位时的位置。在门阀结构进入关位时，工艺腔为封闭状态，气压不变，在门阀结构进入开位时，可以对工艺腔进行全速抽气，只有在门阀结构进入中位时，可以通过中位调节件调节出气口的开口大小，实现微调工艺腔的出气速率，进而改变工艺腔进气速率与工艺腔出气速率之间的差值，以改变工艺腔中的气压。
[0004]在现有的半导体生产工艺中，中位调节件需要操作人员行动至门阀结构附近并手动调节，调节中位调节件后再返回用于反映腔室内部气压等信息的仪表处观察工艺腔内的气压变化情况，之后根据观察到的气压情况再次行动至门阀结构手动调节中位调节件，如此往返多次，从而将工艺腔内的气压调节至所需压强范围。该调节过程操作繁琐且耗时较长，导致半导体工艺整体效率低下。
[0005]因此，如何提供一种可实现高效、便捷地调节控制半导体设备中工艺腔的气压的门阀组件，成为本领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术旨在提供一种半导体设备的门阀组件、半导体设备，采用本专利技术的门阀组件，能够高效、便捷地控制半导体设备中工艺腔的气压。
[0007]为实现上述目的，作为本专利技术的一个方面，提供一种半导体设备的门阀组件，用于与半导体设备中工艺腔的出气口匹配设置，所述门阀组件包括阀板和阀板控制机构，所述阀板控制机构用于控制所述阀板的位置，以使得所述阀板在封闭所述出气口的位置、开启所述出气口的位置或者部分封闭所述出气口的位置之间切换，所述阀板控制机构包括中位调节件，所述中位调节件用于调节所述阀板在部分封闭所述出气口时的位置，所述门阀组件还包括调节控制模块和调节执行机构，所述调节控制模块用于在接收到外部指令后形成控制信号，并向所述调节执行机构发送所述控制信号，所述调节执行机构用于根据接收到的所述控制信号调节所述中位调节件。
[0008]可选地，所述外部指令包括开环外部指令，所述调节控制模块用于在接收到所述
开环外部指令后，根据所述开环外部指令确定开环调整量，并将所述开环调整量发送至所述调节执行机构，以使所述调节执行机构根据所述开环调整量调节所述中位调节件。
[0009]可选地，所述门阀组件还包括腔室压力检测组件，用于检测所述工艺腔内部的气压，所述外部指令包括闭环外部指令，所述闭环外部指令包括所述工艺腔的目标气压值；
[0010]所述调节控制模块用于在接收到所述闭环外部指令后，循环地接收所述腔室压力检测组件的检测气压值，根据所述腔室压力检测组件的检测气压值与所述目标气压值之间的差值确定闭环调整量，并将所述闭环调整量发送至所述调节执行机构，以使所述调节执行机构根据所述闭环调整量调节所述中位调节件，直至所述腔室压力检测组件检测到的检测气压值与所述目标气压值之间的差值小于预定差值。
[0011]可选地，所述闭环调整量与所述检测气压值和所述目标气压值之间的差值正相关。
[0012]可选地，所述阀板控制机构还包括阀板位置检测单元，所述阀板位置检测单元用于检测所述阀板的位置，所述调节控制模块还用于在接收到所述外部指令后，接收所述阀板位置检测单元的检测信号，根据所述检测信号确定所述阀板的位置，并在所述阀板封闭所述出气口或者开启所述出气口时，发出异常信号。
[0013]可选地，所述调节执行机构包括调节量反馈单元，用于检测所述调节执行机构的实际调节量，所述调节控制模块还用于在每次向所述调节执行机构发送控制信号后接收所述调节量反馈单元检测到的实际调节量，并在所述实际调节量与所述控制信号对应的目标调节量相同时，进行下一个步骤。
[0014]可选地，所述中位调节件为调节螺栓，所述调节执行机构包括电机，所述电机的输出轴与所述调节螺栓的一端连接，所述控制信号包括所述调节螺栓的旋转角度。
[0015]可选地，所述实际调节量包括所述电机的输出轴的旋转角度，所述调节量反馈单元包括编码器，所述编码器设置在所述电机上，所述编码器用于记录所述电机的输出轴的旋转角度，并将所述旋转角度发送至所述电机控制模块。
[0016]作为本专利技术的第二个方面，提供一种半导体设备，包括工艺腔和门阀组件，所述门阀组件用于封闭、开启或者部分封闭所述工艺腔的出气口，所述门阀组件为前面所述的门阀组件，所述半导体设备还包括上位机，所述上位机用于接收人工输入信息，根据所述人工输入信息生成外部指令，并将所述外部指令发送至所述门阀组件中的调节控制模块。
[0017]作为本专利技术的第三个方面，提供一种门阀组件的控制方法，，应用于本专利技术提出的门阀组件，所述控制方法包括：步骤S1，所述调节控制模块接收所述外部指令并根据所述外部指令形成控制信号；步骤S2，所述调节控制模块向所述外部指令该调节执行机构发送所述控制信号，以使所述调节执行机构根据该控制信号调节所述中位调节件。
[0018]在本专利技术提供的门阀组件、半导体设备以及门阀组件控制方法中，调节控制模块能够根据操作人员的外部指令驱动该调节执行机构自动在线控制门阀组件的中位调节件，免去了操作人员多次往返于阀板控制机构与工艺腔的仪表处手动调节中位调节件的过程，从而节省了控制门阀组件的操作时间，提高了控制门阀组件的操作效率，进而提高了半导体设备的生产效率。
附图说明
[0019]附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0020]图1是本专利技术提供的半导体设备的结构示意图；
[0021]图2是图1所示半导体设备中门阀组件与调节控制模块、调节执行机构之间的连接关系示意图；
[0022]图3是本专利技术实施例提供的门阀组件控制方法的流程图；
[0023]图4是本专利技术提供的半导体设备中各模块之间的连接关系示意图。
具体实施方式
[0024]以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。
[0025]为解决上述技术问题，作为本专利技术的一个方面，提供一种半导体设备的门阀组件。如图1、图2所示，该半导体设备包括工艺腔9，该门阀组件4用于与工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备的门阀组件，用于与半导体设备中工艺腔的出气口匹配设置，所述门阀组件包括阀板和阀板控制机构，所述阀板控制机构用于控制所述阀板的位置，以使得所述阀板在封闭所述出气口的位置、开启所述出气口的位置或者部分封闭所述出气口的位置之间切换，所述阀板控制机构包括中位调节件，所述中位调节件用于调节所述阀板在部分封闭所述出气口时的位置，其特征在于，所述门阀组件还包括调节控制模块和调节执行机构，所述调节控制模块用于在接收到外部指令后形成控制信号，并向所述调节执行机构发送所述控制信号，所述调节执行机构用于根据接收到的所述控制信号调节所述中位调节件。2.根据权利要求1所述的门阀组件，其特征在于，所述外部指令包括开环外部指令，所述调节控制模块用于在接收到所述开环外部指令后，根据所述开环外部指令确定开环调整量，并将所述开环调整量发送至所述调节执行机构，以使所述调节执行机构根据所述开环调整量调节所述中位调节件。3.根据权利要求1所述的门阀组件，其特征在于，所述门阀组件还包括腔室压力检测组件，用于检测所述工艺腔内部的气压，所述外部指令包括闭环外部指令，所述闭环外部指令包括所述工艺腔的目标气压值；所述调节控制模块用于在接收到所述闭环外部指令后，循环地接收所述腔室压力检测组件的检测气压值，根据所述腔室压力检测组件的检测气压值与所述目标气压值之间的差值确定闭环调整量，并将所述闭环调整量发送至所述调节执行机构，以使所述调节执行机构根据所述闭环调整量调节所述中位调节件，直至所述腔室压力检测组件检测到的检测气压值与所述目标气压值之间的差值小于预定差值。4.根据权利要求3所述的门阀组件，其特征在于，所述闭环调整量与所述检测气压值和所述目标气压值之间的差值正相关。5.根据权利要求3所述的门阀组件，其特征在于，所述阀板控制机构还包括阀板位置检测单元，所述阀板位置检测单元用于检...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏延宝，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：