液滴喷出头的驱动装置及驱动方法和制膜装置及制膜方法制造方法及图纸

一种液滴喷出头的驱动装置，是具有压电振动子、并在所述压电振动子上施加规定驱动波形时从喷出部喷出液滴的液滴喷出头的驱动装置，其特征是，具有通过由曲线形状构成的所述驱动波形驱动所述压电振动子的驱动控制装置。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使压电振动子伸缩而从喷出部喷出液滴的振动子驱动型的液滴喷出头的驱动装置、制膜装置、液滴喷出头的驱动方法、制膜方法以及电子机器和器件的制造方法。本申请，以特願2002-223153号以及特願2003-072336号为基础，从中取出其内容构成。
技术介绍
在液晶显示屏的制造装置和计算机终端的打印装置中利用的、被称为喷墨打印机的液滴喷出装置中，采用通过压电振动子的伸缩动作、喷吐液滴的振动子驱动型的液滴喷出头。压电振动子，由例如压电元件等构成，根据所输入的驱动波形(例如电压波形)进行伸长、收缩。在这样构成的液滴喷出头的驱动装置中，采用由图15所示那样的梯形波所构成的电压波形来驱动压电振动子。例如，该图15中的电位Vcom表示压电振动子的规定施加电压值，电位VH表示相对于液滴喷出方向而使压电振动子最大收缩的电压值，另一方面，电位VL表示相对于液滴喷出方向使压电振动子最大伸长的电压值。在积层型的压电元件中，当施加电压为电位VH时，相对于液滴喷出方向，其压电元件进行最大收缩，通过将施加电位设成电位VL，从其收缩状态释放并伸长，超过所谓静止状态的变位0，在惯性作用下向液滴喷出方向变位。通过这样的压电振动子的伸缩动作，使液滴喷出装置喷出液滴。在此，分别对与图15所示电压波形的各期间T1～T5所对应的压电振动子的动作进行说明。在期间T1，向压电振动子施加的电压从电位Vcom向电位VH增加。因此，在期间T1压电振动子的伸长量以及压缩量增加。在期间T2，由于在压电振动子上施加恒定的电位VH，所以压电振动子成为恒定(最大值)的伸长量以及压缩量。在期间T3，由于施加电压从电位VH向电位VL减少，所以压电振动子的伸长量以及压缩量减少。在期间T4，由于施加恒定的电位VL，所以压电振动子成为恒定(最小值)的伸长量以及压缩量。在期间T5，由于施加电压从电位VL向电位Vcom增加，所以压电振动子的伸长量以及压缩量增加。通过重复这样的期间T1～T5，压电振动子作伸缩动作，从液滴喷出装置的液滴喷出头喷出液滴。然而，压电振动子由于要反复进行伸长以及收缩的机械性动作，元件本身会疲劳而劣化，而急剧的伸缩动作造成热负载增大，从急剧伸缩状态向停止状态移动时造成机械负载的增大，这样加速了元件的劣化，缩短了其寿命。但是，在依据上述现有技术的液滴喷出头的驱动装置中，如图15所示，由于采用梯形波的电压波形驱动压电振动子，所以在波形的各变化点A0～A5，压电振动子的动作状态急剧变化。因此，如上所述，对压电振动子的机械、热负载增大，而加速了元件的劣化，因而存在不能长期稳定从液滴喷出头喷出液滴的问题。本专利技术正是针对上述问题的专利技术，其目的在于提供一种抑制压电振动子的劣化而可以长期稳定进行液滴的喷出动作的液滴喷出头的驱动装置、制膜装置、液滴喷出头的驱动方法、制膜方法以及电子机器和器件的制造方法
技术实现思路
为了达到上述目的的液滴喷出头的驱动装置，是在具有压电振动子、并在上述压电振动子上施加规定的驱动波形后从喷出部喷出液滴的液滴喷出头的驱动装置中，包括由曲线波形构成的驱动波形驱动上述压电振动子的驱动控制装置。依据该液滴喷出头的驱动装置，由于驱动控制装置采用由曲线波形构成的驱动波形驱动压电振动子，所以压电振动子，根据曲线的驱动波形进行的伸缩动作变得平缓，可以抑制机械负载、热负载的增大。因此，依据该液滴喷出头的驱动装置，由于驱动控制装置采用由曲线波形构成的驱动波形驱动压电振动子，所以在压电振动子中，根据曲线的驱动波形进行的伸缩动作变得平缓，可以抑制机械负载、热负载的增大。这样，可以减轻压电振动子的劣化，实现长寿命化。这样，可以长期稳定地从液滴喷出头喷出液滴。优选上述驱动波形是没有尖锐边缘的波形。依据该液滴喷出头的驱动装置，由于压电振动子由没有尖锐边缘形成的急剧变化点的驱动波形所驱动，所以压电振动子的动作状态的变化变得平缓，可以抑制机械负载、热负载的增大。此外，尖锐边缘是指例如图2的电压波形中的变位点A0～A5，向压电振动子施加的电压急剧变化的点。这样，如果驱动波形采用没有尖锐边缘的波形，则压电振动子由没有急剧变化点的驱动波形所驱动，因此压电振动子的动作状态的变化变得平缓，可以更有效的抑制机械负载、热负载的增大。因此，可以长期稳定地从液滴喷出头喷出液滴。优选上述驱动波形是由波形变换装置对矩形或者梯形的方波进行变换所生成的波形。依据该液滴喷出头的驱动装置，由于驱动波形根据矩形或者梯形的方波生成，因此可以利用现有的驱动装置生成的方波，廉价生成由曲线波形构成的驱动波形。这样，如果驱动波形根据矩形或者梯形的方波生成，则可以利用现有的驱动装置生成的方波，廉价生成由曲线波形构成的驱动波形。因此，利用现有的驱动装置，可以提供能长期稳定地从液滴喷出头喷出液滴的廉价的液滴喷出头的驱动装置。另外，优选上述驱动波形包括用于喷出上述液滴的喷出波形、和在不喷出上述液滴的程度使上述压电振动子微振动的微振动波形。依据该液滴喷出头的驱动装置，不仅对喷出液滴时的喷出波形，而且也可以把用于防止功能性液体的干燥所引起的喷出不稳定以及喷嘴孔的堵塞而使压电振动子微振动的微振动波形变成曲线波形。这样，可以减轻机械负载和由此产生的热负载，抑制压电振动子的劣化，延长其寿命。另外，用于达到上述目的的制膜装置，包括上述液滴喷出头的驱动装置，从上述液滴喷出头喷出功能型液体，对被处理物的规定部位进行制膜处理。依据该制膜装置，由于在制膜装置中包括采用机械负载、热负载小的压电振动子构成液滴喷出头，可以长期稳定地喷出液滴。优选该制膜装置是制造彩色滤光片的装置。依据该制膜装置，由于在彩色滤光片的制造中使用可以长期稳定地喷出液滴的制膜装置，所以和现有技术相比，可以廉价制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所构成的高质量的彩色滤光片。优选该制膜装置是制造成为有机电荧光元件的构成要素的膜的装置。依据该制膜装置，由于在有机电荧光(EL)元件的制造中使用可以长期稳定地喷出液滴的制膜装置，所以和现有技术相比，可以廉价制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所构成的高质量的有机EL元件(装置)。优选该制膜装置是从上述液滴喷出头喷出包含金属微粒子的液状体的装置，是通过在所希望的面上喷出该液状体而制造成为金属布线的膜的装置。依据该制膜装置，由于在成为金属布线的膜的制造中使用可以长期稳定地喷出液滴的制膜装置，所以和现有技术相比，可以廉价制造由高精度控制其膜厚、平坦度、形成位置等的膜所构成的金属布线，即断线概率低而可以高密度配置的金属布线。另外，用于达到上述目的的液滴喷出头的驱动方法，是由规定驱动波形使压电振动子伸缩从而从喷出部喷出液滴的液滴喷出头的驱动方法，包括采用由曲线波形构成的驱动波形驱动上述压电振动子的处理。依据该液滴喷出头的驱动方法，由于压电振动子采用由曲线波形构成的驱动波形所驱动，所以压电振动子，根据曲线的驱动波形进行的伸缩动作变得平缓，可以抑制机械负载、热负载的增大。因此，依据该液滴喷出头的驱动方法，由于压电振动子采用由曲线波形构成的驱动波形所驱动，在压电振动子，根据曲线的驱动波形进行的伸缩动作变得平缓，可以抑制机械负载、热负载的增大。这样，可以减轻压电振动子的劣化，实现长寿命化。因此，通过采用该液滴喷出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：臼田秀范，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：