电布线结构、电光装置用基板、电光装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等时，可同时形成的、且可获得良好的低电阻性及耐腐蚀性的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。因此，在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线具有除去该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，通孔及跨非耐腐蚀性金属布线、露出部之上地形成的导电性无机氧化膜等电连接辅助部件可电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于电连接耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。特别涉及在形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等时，可同时形成的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。
技术介绍
以前，液晶显示装置是将液晶材料注入包含对向的第一电光装置用基板与第二电光装置用基板在内的一对电光装置用基板之间而构成的。作为这种液晶显示装置，特开2001-75118号公报中公开了一种有源型液晶显示装置，如图24所示，该装置具有作为非线性元件(开关元件)的薄膜二极管元件。更具体地说，在第一电光装置用基板上设有对向电极，同时在第二电光装置用基板上矩阵状地排列有多个像素电极，像素电极分别与薄膜二极管元件电连接。由此，该液晶显示装置中设有构成位于密封材料外侧的驱动用驱动器IC安装端子部的外部布线、位于密封材料内侧的内部布线、及用于电连接该外部布线及内部布线的引绕部，由钽及ITO等耐腐蚀材料构成该引绕部。但是，特开2001-75118号公报中公开的液晶显示装置设有由耐腐蚀材料制成的引绕部，如果简单地电连接外部布线及内部布线，会出现连接电阻增大、连接电阻的偏差增大、消耗功率增大、或者图像显示不匀增大等问题。
技术实现思路
本专利技术就是为了解决上述问题而作出的，本专利技术的目的在于提供一种电布线结构，即使利用形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等的工艺，电连接外部布线及内部布线时，也能获得优良的低电阻性和耐腐蚀性等。另外，本专利技术的另一个目的在于分别提供上述电布线结构的制造方法、具有电布线结构的电光装置用基板、及电光装置以及电光装置的制造方法。采用本专利技术可解决下述问题本专利技术提供的电布线结构是用于电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线的电布线结构，在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线具有除去耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，由电连接辅助部件电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。即，利用形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等的工序，通过设置在耐腐蚀性金属布线的露出部处的电连接辅助部件，可确实地电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。从而，可容易地形成低电阻性和耐腐蚀性良好的电布线结构。在本专利技术的电布线结构、或后述的电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置以及电光装置的制造方法中，作为电连接辅助部件，最好是例如，贯穿耐腐蚀性金属的氧化层的通孔，或跨非耐腐蚀性金属布线及露出部之上地形成的导电性无机氧化膜。本专利技术另一种形态的电布线结构的制造方法是用于电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线的电布线结构的制造方法，该方法包含下述工序在电绝缘基材上形成耐腐蚀性金属布线后，在其表面上形成该耐腐蚀性金属的氧化层的工序、通过除去耐腐蚀性金属的氧化层，形成耐腐蚀性金属布线的露出部的工序、在形成非耐腐蚀性金属布线的同时，通过设置在露出部上的电连接辅助部件电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线的工序。即，通过实施上述方法，利用电连接辅助部件可有效地形成低电阻性和耐腐蚀性良好的电布线结构。而且，采用上述制造方法，利用形成包含耐腐蚀性金属布线及非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等的工序，可同时形成预定的电布线结构。本专利技术另一种形态的电光装置用基板是在电光装置中对向使用，同时由第一电光装置用基板和第二电光装置用基板构成的一对电光装置用基板，第一电光装置用基板具有作为基板的第一玻璃基板、和设在其上的电布线，第二电光装置用基板具有作为对向基板的第二玻璃基板、和构成二端子型非线性元件的元件第一电极、绝缘膜及元件第二电极，并且，第二电光装置用基板是具有用于电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线的电布线结构的电光装置用基板，其中前述耐腐蚀性金属布线形成在第二玻璃基板上，前述非耐腐蚀性金属布线与元件第一电极及元件第二电极电连接。电光装置用基板具有下述电布线结构在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线具有除去耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，由电连接辅助部件电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。即，采用上述构成，可容易地提供具有低电阻性和耐腐蚀性良好的电布线结构的电光装置用基板。而且，采用该电光装置用基板，利用形成包含耐腐蚀性金属布线及非耐腐蚀性金属布线在内的特定结构的二端子型非线性元件的工序，可同时在电光装置用基板上形成预定的电布线结构。本专利技术另一种电光装置是包含对向的第一电光装置用基板与第二电光装置用基板、及在它们之间的电光物质的电光装置，第一电光装置用基板具有作为基板的第一玻璃基板、和设在其上的电布线，第二电光装置用基板具有作为对向基板的第二玻璃基板、和构成二端子型非线性元件的元件第一电极、绝缘膜及元件第二电极，并且，第二电光装置用基板具有用于电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线的电布线结构，其中前述耐腐蚀性金属布线形成在第二玻璃基板上，前述非耐腐蚀性金属布线与元件第一电极及元件第二电极电连接。电光装置具有下述电布线结构在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线具有除去耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，由电连接辅助部件电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。即，采用上述构成，利用电连接辅助部件可容易地提供采用包含低电阻性和耐腐蚀性良好的电布线结构的电光装置用基板的电光装置。而且，采用该电光装置，利用形成包含耐腐蚀性金属布线及非耐腐蚀性金属布线在内的特定结构的二端子型非线性元件的工序，可同时在电光装置用基板上形成预定结构的电布线结构。本专利技术另一种电光装置的制造方法是包括包含对向的第一电光装置用基板与第二电光装置用基板在内的一对电光装置用基板、及在它们之间的电光物质的电光装置的制造方法，第一电光装置用基板具有作为基板的第一玻璃基板、着色层、作为遮光层的黑色矩阵、设在其上的电布线，第二电光装置用基板具有作为对向基板的第二玻璃基板、和构成二端子型非线性元件的元件第一电极、绝缘膜及元件第二电极，并且，第二电光装置用基板具有用于电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线的电布线结构，其中前述耐腐蚀性金属布线形成在第二玻璃基板上，前述非耐腐蚀性金属布线与元件第一电极及元件第二电极电连接。是具有下述电布线结构电光装置的制造方法在形成在第二玻璃基板上的耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时耐腐蚀性金属布线上形成除去耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，由电连接辅助部件电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。即，通过实施上述方法，利用电连接辅助部件可形成具有低电阻性和耐腐蚀性良好的电布线结构的电光装置用基板，可有效地提供采用该基板的电光装置。而且，采用该电光装置的制造方法，利用形成包含耐腐蚀性金属布线及非耐腐蚀性金属布线在内的特定结构的二端子型非本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电布线结构，是用于电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线的电布线结构，其特征在于，在前述耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线，同时前述耐腐蚀性金属布线具有去除了该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部，通过该露出部，由电连接辅助部件电连接前述耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：田口聪志，大池一夫，上原秀树，今井克浩，田中千浩，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]