一种微焦斑光源参数测量透镜及测量系统技术方案

本公开披露一种微焦斑光源参数测量透镜及测量系统，该系统包括：X射线聚焦镜，设置于待测量的X射线光源之后，并使所述X射线在其中进行单次全反射；X射线探测器，设置于所述X射线聚焦镜之后，配置有用于调节器件同轴的多维度调节架；所述X射线探测器用于探测经所述X射线聚焦镜全反射的X射线的能量；光束阻挡器，设置于所述X射线探测器之前，用于阻挡通过所述X射线聚焦镜的直通光；数据处理器，与所述X射线探测器连接，用于获取所述X射线探测器的测量数据，并结合测量系统的基础参数数据，调用预设的参数计算公式，计算得到微焦斑光源参数。通过实施本公开的技术方案，能够同时、并且准确地测量及计算得到光源焦斑和焦深。确地测量及计算得到光源焦斑和焦深。确地测量及计算得到光源焦斑和焦深。

【技术实现步骤摘要】
一种微焦斑光源参数测量透镜及测量系统


[0001]本公开涉及X射线
，特别涉及一种微焦斑光源参数测量透镜及测量系统。

技术介绍

[0002]X射线光源在X射线科学和技术应用的诸多领域有着广泛的应用，有效表征X射线光源的特征参数对X射线光源的设计、生产和发展，起着至关重要的作用。本申请的专利技术人经过大量调研，发现业内较为常用的测量X射线光源的焦斑大小的方法主要有这样几种，分别说明如下：
[0003]1、小孔成像方法
[0004]小孔成像方法是目前测量焦斑大小的常用方法，但是，由于这种方法要求小孔尺寸小于焦斑尺寸，因此在测量微米或亚微米级别的微焦斑光源尺寸时，对小孔直径尺寸有极高的要求，因而很难通过小孔成像方法，对微焦斑光源的焦斑尺寸进行准确的测量。
[0005]2、多毛细管准直器测量法
[0006]利用多毛细管准直器的方法，可以有效地对微焦斑X射线光源的焦斑尺寸测量。但是，多毛细管准直器的制作工艺比较复杂，且成本较高。此外，这种方法只能测量焦斑尺寸，不能测量焦深。
[0007]3、椭球单玻璃毛细管X本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微焦斑光源参数测量系统，其特征在于，包括：X射线聚焦镜，设置于待测量的X射线光源之后，并使所述X射线在其中进行单次全反射；X射线探测器，设置于所述X射线聚焦镜之后，配置有用于调节器件同轴的多维度调节架；所述X射线探测器用于探测经所述X射线聚焦镜全反射的X射线的能量；光束阻挡器，设置于所述X射线探测器之前，用于阻挡通过所述X射线聚焦镜的直通光；数据处理器，与所述X射线探测器连接，用于获取所述X射线探测器的测量数据，并结合测量系统的基础参数数据，调用预设的参数计算公式，计算得到微焦斑光源参数。2.根据权利要求1所述的微焦斑光源参数测量系统，其中：所述光束阻挡器，设置于所述X射线聚焦镜之后，所述X射线探测器之前；或者，所述光束阻挡器，设置于所述X射线聚焦镜之前，所述X射线光源之后。3.根据权利要求2所述的微焦斑光源参数测量系统，其特征在于，该系统还包括：存储器，与所述处理器连接，用于存储测量数据、以及所述微焦斑光源的参数；显示器，与所述处理器和存储器连接，用于显示数据和人机交互操作。4.根据权利要求1至3任一项所述的微焦斑光源参数测量系统，其特征在于，该系统为便携式设备，该设备还包括外壳，该外壳开设有：接收端开口，开设于所述外壳前端，用于嵌接所述X射线聚焦镜，所述X射线聚焦镜的入口端紧贴所述外壳前端外壁；探测器卡槽，开设于所述外壳后端，用于卡接所述X射线探测器；阻挡器卡槽，开设于所述外壳底部，靠近所述X射线探测器，用于卡接所述光束阻挡器；其中，所述接收端开口至所述探测器卡槽之间形成射线接收室；所述X射线聚焦镜的出口紧贴所述射线接收室的前端。5.根据权利要求4所述的微焦斑光源参数测量系统，其中：所述外壳由可阻挡X射线辐射的铅制材料制成；和/或，所述射线接收室的长度设置可使反射线与直通射线在光路上分开；和/或，所述光束阻挡器卡槽设置于所述射线接...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亚冰，孙天希，邵尚坤，孙学鹏，
申请(专利权)人：北京师范大学，
类型：新型
国别省市：