曝光机除尘装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种曝光机除尘装置，包括除尘辊、粘附带支架和粘附带剥离机构，粘附带支架可回转地支承粘附带卷筒，粘附带支架与除尘辊之间可相对移动使得粘附带卷筒最外层的粘附带能够与除尘辊接触，粘附带卷筒与除尘辊之间能够相对滚动，粘附带剥离机构包括粘附带卷取机构、剥离胶带支承部件和推压机构，剥离胶带支承部件可回转地支承剥离胶带卷筒且剥离胶带通过粘附带卷取机构牵引卷绕，推压机构能够将剥离胶带支承部件与粘附带卷取机构之间的剥离胶带推压至与最外层粘附有尘埃的粘附带接触粘结并将其从粘附带卷筒上剥离拉出。本发明专利技术能够实现粘附带的自动剥离换新，能够防止运行时灰尘进入到曝光机内部，提升曝光机工作时内部温度和压力的稳定性。内部温度和压力的稳定性。内部温度和压力的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
曝光机除尘装置


[0001]本专利技术属于曝光机中对感光工件表面进行除尘的
，特别是涉及一种曝光机除尘装置。

技术介绍

[0002]在印刷基板及半导体基板等各种基板的制造过程中，曝光机的使用已经应用相当普遍。上述曝光机针采用光刻法的手段，对已涂布光刻胶(感光材料)的工件进行电路图形等的曝光。然而在工件上附着了尘埃的状态下，使用曝光机进行曝光会产生制造方面的缺陷，因此在实施曝光前需要首先除去工件上的尘埃。
[0003]日本“特开2014-59494号公告”公开了一种符合上述描述的除尘装置(以下称“专利文献1”)。除尘装置中设有第一除尘辊、第二除尘辊等除尘辊以及裹覆了粘附带的转移辊，它可以通过转动除尘辊而将吸附在工件表面上的灰尘除去，然后通过使裹覆在滚移辊上的粘附带推压除尘辊的方法，将灰尘从除尘辊转移到粘附带上。此外，在灰尘被转移后，只需将一圈已被弄脏的粘附带剥离即可露出新的粘附面，从而方便的完成粘附带的更换。此外，被剥离(已被弄脏)的粘附带将被丢弃。
[0004]而在专利文献1所示的结构中，对于在更换新的粘附带时如何刚好剥离一圈粘附带以便露出新的粘附面，则并未作出具体的说明。然而，目前更换粘附带的常规手段是，在实施粘附带更换作业时，需要打开曝光机的门，然后由操作员手工剥离已被弄脏的粘附带来完成更换工序。在实施上述作业时，操作员可能会将灰尘带入曝光机内部。
[0005]为了实施更换胶带的作业，当打开和关闭曝光机的门时，存在着曝光机内部温度发生波动的可能性，同时曝光机内部的压力也有可能产生波动，影响曝光机连续工作的稳定性。
[0006]另外，在用卷取套筒来卷取已使用过的粘附带时，由于卷紧动作所产生的作用力，很难将已经卷取了粘附带的卷取套筒拆下。在目前情况下，由于用于卷取粘附带的卷取套筒大都是金属制的，在需要丢弃上述卷取了粘附带的卷取套筒时，还会产生需要将金属制的卷取套筒与树脂制的粘附带加以区分的麻烦。

技术实现思路

[0007]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种曝光机除尘装置，实现粘附带的自动剥离换新，能够防止运行时灰尘进入到曝光机内部，提升曝光机工作时内部温度和压力的稳定性。
[0008]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种曝光机除尘装置，包括用于对工件表面附着的尘埃进行吸附的除尘辊，还包括粘附带支架和粘附带剥离机构，所述粘附带支架上可回转地支承有粘附带卷筒，所述粘附带支架与除尘辊之间可相对移动使得所述粘附带卷筒最外层的粘附带能够与除尘辊接触，所述粘附带卷筒与除尘辊之间通过相对滚动将除尘辊上附着的尘埃转移到最外层的粘附带表面，所述粘附带剥离机构包括粘附带
卷取机构、剥离胶带支承部件和推压机构，所述剥离胶带支承部件上可回转地支承有剥离胶带卷筒且剥离胶带通过粘附带卷取机构牵引卷绕，所述推压机构能够可控地将剥离胶带支承部件与粘附带卷取机构之间的剥离胶带推压至与最外层粘附有尘埃的粘附带接触粘结并将其从粘附带卷筒上剥离拉出传送至粘附带卷取机构进行卷绕。
[0009]该除尘装置为曝光机的曝光单元的上游工位，所述除尘辊可升降地设置与工件表面相对应，所述工件受牵引进行传动时与除尘辊接触，所述除尘辊相对工件滚动对工件表面附着的尘埃进行吸附。
[0010]该除尘装置设置于曝光机的曝光单元内部，所述除尘辊可回转地安装在辊移动推送机构上，所述辊移动推送机构能够可控地将除尘辊移动至与放置于曝光台上的工件的表面接触并推送除尘辊沿工件表面滚动进行尘埃吸附。
[0011]所述粘附带卷筒支承在粘附带支架上并通过回转驱动源驱动进行回转与除尘辊之间产生相对滚动。
[0012]所述粘附带支架安装在粘附带移动机构上并通过粘附带移动机构驱动使得粘附带卷筒在与除尘辊相接触和脱离的方向进行移动。
[0013]所述粘附带沿长度方向均匀间隔设置有断开线，所述断开线之间的间距大于等于除尘辊的外圆周面周长。
[0014]所述粘附带卷取机构包括直径可缩胀的卷取套筒，所述卷取套筒的周向侧壁沿轴向设有穿孔，所述穿孔中插入拉出膜且拉出膜与所述剥离胶带的头端粘接用于牵引剥离胶带，所述卷取套筒内部沿周向设有均匀间隔分布的凸轮状部件，所述凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒周向侧壁的内表面形成支撑且能够相对卷取套筒回转，通过所述凸轮状部件相对卷取套筒回转将拉出膜夹持在凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒周向侧壁的内表面之间或者解除夹持，同时调整卷取套筒的直径。
[0015]所述粘附带卷取机构还包括驱动装置、驱动轴、主轴支承板、传动齿轮、从动齿轮、不少于三根的从动轴、凸轮状的回转支承圆筒、凸轮构件和制动机构，所述卷取套筒的两端分别设有主轴支承板，所述驱动轴沿卷取套筒的中心轴可转动地支承在主轴支承板上且端部与驱动装置连接，所述从动轴沿驱动轴的周向均匀分布且可转动地支承在主轴支承板上，所述驱动轴与从动轴之间通过相互啮合的传动齿轮与从动齿轮进行传动，所述回转支承圆筒和凸轮构件分别设置于从动轴上与卷取套筒周向侧壁的内表面形成支撑，所述凸轮构件的外圈设有凹槽，所述拉出膜插入到凹槽内部，所述制动机构能够可控地对卷取套筒的旋转进行制动，通过所述凸轮构件相对卷取套筒回转将拉出膜夹持在凸轮构件的外圈表面与卷取套筒周向侧壁的内表面之间或者解除夹持。
[0016]所述粘附带卷取机构还包括分别对穿孔和凹槽的位置进行检测的第一检出传感器，在对所述穿孔和凹槽实施对准定位时所述第一检出传感器的检测信号传输至控制器并通过控制器对驱动装置和制动机构的运行进行控制。
[0017]所述剥离胶带的头端也可以直接通过穿孔插入到卷取套筒内部并夹持在凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒周向侧壁的内表面之间。
[0018]所述推压机构包括推压辊和辊推压移动机构，所述推压辊通过辊推压移动机构驱动沿与粘附带卷筒相接触和脱离的方向移动。
[0019]对应所述粘附带卷筒设有对粘附带头端位置进行检测的第二检出传感器，所述第
二检出传感器的检测信号传输至控制器并通过控制器对推压机构的运行进行控制，使得所述剥离胶带被推压至与粘附带的头端部位接触粘结并从头端部位对粘附带进行剥离拉出。
[0020]对应所述粘附带卷筒设有对粘附带头端位置进行检测的第二检出传感器，所述第二检出传感器的检测信号传输至控制器并通过控制器对粘附带卷取机构的启动进行控制。
[0021]还包括对被剥离的粘附带的后端位置进行检测的第一检出传感器，所述第一检出传感器的检测信号传输至控制器并通过控制器对粘附带卷取机构的停止进行控制。
[0022]有益效果
[0023]第一，在本专利技术中，工件表面附着的尘埃通过除尘辊除尘后，能够通过粘附带对除尘辊表面粘附的尘埃进行转移，实现除尘辊对工件进行反复的除尘工作。而且，本专利技术通过粘附带剥离机构能够实现粘附带的自动剥离换新，无需通过人工操作，避免在每次执行剥离更新粘附带的作业时需要打开曝光机的机门，能够防止曝光机在运行时灰尘进入到曝光机内部的现象发生，同时能够防止因机门开启导致的曝光机内部温度和压力波动，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光机除尘装置，包括用于对工件表面附着的尘埃进行吸附的除尘辊(71)，其特征在于：还包括粘附带支架(72)和粘附带剥离机构(80)，所述粘附带支架(72)上可回转地支承有粘附带卷筒(T1R)，所述粘附带支架(72)与除尘辊(71)之间可相对移动使得所述粘附带卷筒(T1R)最外层的粘附带(T1)能够与除尘辊(71)接触，所述粘附带卷筒(T1R)与除尘辊(71)之间通过相对滚动将除尘辊(71)上附着的尘埃转移到最外层的粘附带(T1)表面，所述粘附带剥离机构(80)包括粘附带卷取机构(90)、剥离胶带支承部件(120)和推压机构(130)，所述剥离胶带支承部件(120)上可回转地支承有剥离胶带卷筒(T2R)且剥离胶带(T2)通过粘附带卷取机构(90)牵引卷绕，所述推压机构(130)能够可控地将剥离胶带支承部件(120)与粘附带卷取机构(90)之间的剥离胶带(T2)推压至与最外层粘附有尘埃的粘附带(T1)接触粘结并将其从粘附带卷筒(T1R)上剥离拉出传送至粘附带卷取机构(90)进行卷绕。2.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：该除尘装置(70)为曝光机(10)的曝光单元(60)的上游工位，所述除尘辊(71)可升降地设置与工件表面相对应，所述工件受牵引进行传动时与除尘辊(71)接触，所述除尘辊(71)相对工件滚动对工件表面附着的尘埃进行吸附。3.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：该除尘装置(70)设置于曝光机(10)的曝光单元内部，所述除尘辊(71)可回转地安装在辊移动推送机构(250)上，所述辊移动推送机构(250)能够可控地将除尘辊(71)移动至与放置于曝光台(260)上的工件的表面接触并推送除尘辊(71)沿工件表面滚动进行尘埃吸附。4.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述粘附带卷筒(T1R)支承在粘附带支架(72)上并通过回转驱动源驱动进行回转与除尘辊(71)之间产生相对滚动。5.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述粘附带支架(72)安装在粘附带移动机构(75)上并通过粘附带移动机构(75)驱动使得粘附带卷筒(T1R)在与除尘辊(71)相接触和脱离的方向进行移动。6.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述粘附带(T1)沿长度方向均匀间隔设置有断开线，所述断开线之间的间距大于等于除尘辊(71)的外圆周面周长。7.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述粘附带卷取机构(90)包括直径可缩胀的卷取套筒(91)，所述卷取套筒(91)的周向侧壁沿轴向设有穿孔(91b)，所述穿孔(91b)中插入拉出膜(F1)且拉出膜(F1)与所述剥离胶带(T2)的头端粘接用于牵引剥离胶带(T2)，所述卷取套筒(91)内部沿周向设有均匀间隔分布的凸轮状部件，所述凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒(91)周向侧壁的内表面形成支撑且能够相对卷取套筒(91)回转，通过所述凸轮状部件相对卷取套筒(91)回转将拉出膜(F1)夹持在凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒(91)周向侧壁的内表面之间或者解除夹持，同时调整卷取套筒(91)的直径。8.根据权利要求7所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述粘附带...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田政昭，星一成，
申请(专利权)人：上海光起电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：