低沸点电子气体密闭取样系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种低沸点电子气体密闭取样系统，涉及低沸点气体取样技术领域。低沸点电子气体密闭取样系统，包括取样瓶、吹扫置换系统和冷却系统；冷却系统包括冷却筒，冷却筒筒壁设有与外部管线连通的夹层，夹层中装有冷媒，外部管线上装有循环泵，冷却筒中装有取样瓶；取样瓶两侧分别设有进气管和出气管，进气管和出气管分别通过三通阀门与吹扫置换系统连接，吹扫置换系统包括高纯气体吹扫系统、样品气引入系统、吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统。本实用新型专利技术提出的取样系统实现不同种类低沸点电子气体的密闭取样，有效防止空气对产品造成污染。取样系统采用冷却筒对低沸点电子气体进行冷却液化富集，增大取样量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
低沸点电子气体密闭取样系统


[0001]本技术涉及低沸点电子气体取样
，尤其涉及一种低沸点电子气体密闭取样系统。

技术介绍

[0002]电子气体指半导体延伸、离子注进、掺杂、腐蚀、洗涤等过程中使用到的一些化学气体。电子气体中有一些具有低沸点，高腐蚀性，有毒，与空气中的某些成分发生发应等。在取样过程中发生化学反应，极易被污染，泄漏对环境造成污染，影响人员健康。低沸点的电子气体在常温下是气态，必须进行密闭取样。由于极微量的污染对电子级的物料影响很大，因此取样系统必须保证洁净无污染。
[0003]密闭采样适用于石油化工装置中各种有毒、有害、易燃、易爆等危险性的中、低压气、液介质的取样。样品采集的真实性强，无残液、残气排放，有效地防止有毒有害介质对使用者的损伤，同时也避免造成环境污染，以及易燃易爆介质在采样时可能造成的危险事故。一般气体密闭采样采集样品为气态，由于需要大量的样品进行检测，气体样品一般通过加压进行液化，压力过高安全隐患较大，对样品瓶强度要求较高。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种低沸点电子气体密闭取样系统，采用简单的冷却系统在常温常压条件下将样品液化，对气体样品进行富集，装置安全性强。
[0005]为实现此技术目的，本技术采用如下方案：一种低沸点电子气体密闭取样系统，包括取样瓶、吹扫置换系统和冷却系统；冷却系统包括冷却筒，冷却筒筒壁设有与外部管线连通的夹层，夹层中装有冷媒，外部管线上装有循环泵，冷却筒中装有取样瓶；取样瓶包括瓶盖和瓶体，瓶盖两侧分别设有进气管和出气管，进气管和出气管上分别装有气管开关阀，进气管和出气管分别通过三通阀门与吹扫置换系统的主管路连接，两个三通阀门间通过管道连接；取样瓶进气管的三通阀门外侧设有质量流量计；吹扫置换系统的主管路上装有气动阀和压力传感器，气动阀与压力传感器间的主管路上设有吹扫气检测系统，气动阀与质量流量计间的主管路上设有样品气引入系统和高纯气体吹扫系统，压力传感器右侧设有废气排出系统和真空系统；高纯气体吹扫系统、样品气引入系统、吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统分别设有气动阀，高纯气体吹扫系统在气动阀前设有气体过滤器和气动微漏阀。
[0006]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：本技术提出的取样系统实现不同种类低沸点电子气体的密闭取样，有效防止空气对产品造成污染。取样系统采用冷却筒对低沸点电子气体进行冷却液化富集，增大取样量；同时吹扫置换系统设有质量流量计，保证取样精准度；安装有压力传感器，实时监控系统压力，防止压力过大对系统造成伤害；采用气动阀门，便于实现取样过程的远程控制，增加操作安全性。
[0007]本技术的优选方案为：
[0008]取样瓶内设有与进气管连通的进气支管，进气支管出口位于瓶体下部。
[0009]取样瓶瓶体为全氟烷氧基树脂材质，瓶体耐腐蚀，外渗量少不易污染取样液体，同时瓶体透明，便于观察取样液体的情况。
[0010]冷媒为乙二醇冷冻液或液氮，根据取样气体的沸点不同配置不同温度的冷媒。
[0011]吹扫置换系统入口设有气体纯化器，确保进入系统吹扫气体的纯度，防止管路污染。
[0012]冷却筒为不锈钢材质，冷却筒一侧下部设有与夹层连通的进液管线，冷却筒另一侧上部设有与夹层连通的出液管线，进液管线上装有循环泵和进口阀，循环泵位于进口阀外侧，出液管线上装有出口阀。不锈钢材质使用寿命长，不易损坏。
[0013]高纯气体吹扫系统和样品气引入系统的进口端，吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统的出口端分别设有手动阀，在气动阀出现故障时应急使用手动阀，增加系统安全性。
[0014]废气排出系统的手动隔膜阀出口端管道上装有单向阀。
[0015]气动阀和手动阀分别采用隔膜阀，隔膜阀关键部件不与取样气体接触，不易腐蚀。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例提供的低沸点电子气体密闭取样系统的示意图；
[0017]图2为本技术实施例提供的冷却系统的示意图；
[0018]图3为本技术实施例提供的冷却系统和取样瓶的结构示意图；
[0019]图4为本技术实施例提供的取样瓶的结构示意图；
[0020]图5为本技术实施例提供的吹扫置换系统的示意图；
[0021]图中标记为：1-取样瓶，11-瓶盖，111-进口三通阀，112-进口开关阀，113-出口三通阀，114-出口开关阀，115-进气支管，12-瓶体，2-吹扫置换系统，21-高纯气体吹扫系统，211-手动隔膜阀一，212-气体过滤器，213-气体微漏阀，214-气动隔膜阀一，22-样品气引入系统，221-手动隔膜阀二，222-气动隔膜阀二，23-吹扫气检测系统，231-手动隔膜阀三，232-气动隔膜阀三，24-废气排出系统，241-单向阀，242-手动隔膜阀四，243-气动隔膜阀四，25-抽真空系统，251-手动隔膜阀五，252-气动隔膜阀五，26-气动隔膜阀六，27-压力传感器，28-质量流量计，3-冷却系统，31-冷却筒，32-循环泵，33-冷媒，311-进口阀，312-出口阀。
具体实施方式
[0022]为充分了解本技术之目的、特征及功效，借由下述具体的实施方式，对本技术做详细说明，但本技术并不仅仅限于此。
[0023]请参阅图1和图2，本技术提供的一种低沸点电子气体密闭取样系统，由取样瓶1、吹扫置换系统2和冷却系统3等组成；冷却系统3由冷却筒31和循环泵32等组成，冷却筒31内设有与外部管线连通的夹层，夹层中装有冷媒33，外部管线上装有循环泵32。优选地，冷却筒31为不锈钢夹套，不锈钢夹套一侧下部设有与夹层连通的进液管线，不锈钢夹套另一侧上部设有与夹层连通的出液管线，进液管线上装有循环泵32和进口阀311，循环泵32位于进口阀311外侧，出液管线上装有出口阀312。冷媒33根据样品沸点选择，优选乙二醇与水
混合配置成不同冰点的乙二醇冷冻液。待取样电子气体的沸点更低时，选用液氮作为冷媒33。本技术测试了一种沸点10℃气体，在冷媒33温度-5℃能够很好地进行样品采集作业。
[0024]请参阅图3和图4，取样瓶1放置在冷却筒31中，取样瓶1由瓶盖11和瓶体12等组成，瓶盖11两侧分别装有进气管和出气管，进气管上装有进口开关阀112，出气管上装有出口开关阀114，进气管和出气管分别通过三通阀门与吹扫置换系统2的主管路连接，进气管上的三通阀门为进口三通阀111，出气管上的三通阀门为出口三通阀113，两个三通阀门间通过管道连接；出口三通阀111外侧设有质量流量计28，实现样品精确计量，防止由于取样量波动对最后的实验产生影响。取样瓶瓶盖11内部设有与进气管连通的进气支管115，进气支管115出口位于取样瓶1下部。优选地，取样瓶瓶体12为全氟烷氧基树脂，瓶体12耐腐蚀，外渗量少不易污染取样液体，同时瓶体12透明，便于观察取样液体的情况。
[0025]请参本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低沸点电子气体密闭取样系统，包括取样瓶、吹扫置换系统和冷却系统；其特征在于，冷却系统包括冷却筒，冷却筒筒壁设有与外部管线连通的夹层，夹层中装有冷媒，外部管线上装有循环泵，冷却筒中装有取样瓶；取样瓶包括瓶盖和瓶体，瓶盖两侧分别设有进气管和出气管，进气管和出气管上分别装有气管开关阀，进气管和出气管分别通过三通阀门与吹扫置换系统的主管路连接，两个三通阀门间通过管道连接；取样瓶进气管的三通阀门外侧设有质量流量计；吹扫置换系统的主管路上装有气动阀和压力传感器，气动阀与压力传感器间的主管路上设有吹扫气检测系统，气动阀与质量流量计间的主管路上设有样品气引入系统和高纯气体吹扫系统，压力传感器右侧设有废气排出系统和真空系统；高纯气体吹扫系统、样品气引入系统、吹扫气检测系统、废气排出系统和真空系统分别设有气动阀，高纯气体吹扫系统在气动阀前设有气体过滤器和气动微漏阀。2.根据权利要求1所述的低沸点电子气体密闭取样系统，其特征在于，取样瓶内设有与进气管连通的进气支管，进气支管出口位于瓶体下部。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：周晓咪，王春英，
申请(专利权)人：唐山三孚电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：