基板检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的基板检查装置包括：悬浮台，其用于使基板悬浮；观察单元，其用于对在所述悬浮台上进行搬送的所述基板的上表面进行观察；透射照明光源，其用于对所述基板从所述基板的下表面照射照明光；照明光通过部，其形成于所述悬浮台，并由所述照明光可以通过的间隙构成；以及透射部件，其嵌入在所述照明光通过部中，并可以使所述照明光透射。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使用透射照明来进行基板检查的基板检查装置。本申请主张关于2005年5月12日申请的日本专利申请第2005-139515号的优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
在液晶显示器等平板显示器的制造工序中，使用了通过检查玻璃基板上的外观来检查有无缺陷等的基板检查装置。为了不损伤玻璃基板，在基板检查装置中具有悬浮台，该悬浮台用于在通过空气使玻璃基板悬浮的状态下搬送该玻璃基板。为了对基板进行透射照明，在该悬浮台上以与玻璃基板的搬送方向正交的方式设有贯穿上下方向的间隙。基板检查装置通过该间隙从下方向玻璃基板照射照明光，以照明玻璃基板，并使用配置于玻璃基板的上方的显微镜来观察玻璃基板。这里，在玻璃基板通过设于悬浮台的间隙的上方的期间，由于通过空气喷射而形成的浮力降低，因此产生玻璃基板发生挠曲、显微镜的焦点偏移等不良情况。此外，在悬浮台上搬送来的玻璃基板的末端通过间隙的上方时，由于浮力因该间隙而降低，因此玻璃基板的末端被间隙边缘勾住，因此难以进行玻璃基板的搬送。当为了消除这种不良情况而缩小间隙的宽度时，则无法将透射照明光源配置于间隙中，从而导致透射照明光源远离玻璃基板，由于当使间隙的宽度减小时通过间隙的照明光的光量会减少，因此照明光的数值孔径变小，从而导致观察图像变暗。因此，在现有的基板检查装置中，在间隙中配设空气轴承，通过空气轴承对通过间隙上方的玻璃基板同时进行空气的喷射和抽吸，以使在间隙上的玻璃基板高精度地维持在预定的高度(例如，参照日本专利公报特开2002-181714号)。但是，若如现有的基板检查装置那样在间隙中配设空气轴承的话，则喷出空气的压缩机和抽吸空气的真空泵需要与悬浮台分开，因此存在装置的结构变得复杂的问题。即使设置空气轴承，也需要用于使透射照明光通过的间隙，但若增大配置该透射照明光源的间隙的宽度，则产生与上述相同的问题，若减小间隙，则照明光的一部分会被空气轴承阻碍，其结果导致有时光量不足。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而提出的，其主要目的是提供一种基板检查装置，该基板检查装置结构简单，并且可以防止通过悬浮台的间隙上方的基板变形，能够高精度地进行基板的检查。本专利技术的基板检查装置包括悬浮台，其用于使基板悬浮；观察单元，其用于对在所述悬浮台上进行搬送的所述基板的上表面进行观察；透射照明光源，其用于对所述基板从所述基板的下表面照射照明光；照明光通过部，其形成于所述悬浮台，并由所述照明光可以通过的间隙构成；以及透射部件，其嵌入在所述照明光通过部中，并可以使所述照明光透射。本专利技术的基板检查装置通过悬浮台来搬送基板，在对基板照射照明光的同时进行基板的观察。为了使照明光透射，以覆盖形成于悬浮台的间隙的至少一部分的方式插入有透射部件。由此，从悬浮台喷出的空气进入到透射部件和基板之间并形成空气层，通过该空气层在照明光通过部中也可维持使基板悬浮的状态。根据本专利技术的基板检查装置，由于在照明光通过部中插入有透射部件，所以通过从悬浮台喷出的空气在透射部件与基板之间形成空气层，从而，通过该空气层在照明光通过部中也可以使基板悬浮。因此，可以保持基板在照明光通过部中的高度大致恒定，从而能够通过观察单元高精度地进行基板的检查。附图说明图1是表示本专利技术实施方式的基板检查装置的结构的图。图2是放大了悬浮台的照明光通过部的附近的图，是说明通过高度调整小螺钉(ビス)来固定散射板的分解图。图3是从下方观察散射板的立体图。图4是表示在照明光通过部中插入有散射板的状态的图。图5是表示设有鼓风单元的显微镜的图。图6是说明通过垫片固定散射板的分解图。图7是说明通过垫片和真空吸附来固定散射板的分解图。图8是表示透射照明光源与散射板一体地设置于照明光通过部时的图。具体实施例方式参照附图对用于实施本专利技术的最佳方式进行详细说明。(第一实施方式)如图1所示，基板检查装置1具有基座部2，在基座部2的上部配置有悬浮台3、和沿悬浮台3搬送玻璃基板W的搬送部4。在图1中，搬送部4铺设于基座部2的上表面，并且设置成可以沿在X方向上延伸的导轨33移动。在搬送部4上还设置有多个吸附盘35，所述吸附盘35通过从下方与玻璃基板W的外缘部抵接来进行吸附保持。该搬送部4通过吸附盘35来吸附保持悬浮在悬浮台3上的玻璃基板W的外缘部，并沿搬送方向强制搬送该玻璃基板W，所述搬送方向是从悬浮台3的近前侧的一端部朝向另一端部的方向(以下称为X方向)。此外，在基座部2上，在沿X方向从一端部到另一端部之间固定有检查部5。检查部5包括门形框架6，其配设在与X方向正交的Y方向上，并跨过悬浮台3以及搬送部4；显微镜(观察单元)7，其可移动地设置在门形框架6的梁部6A上；透射照明光源8，其设置于显微镜7的下方，并与显微镜7联动地移动。另外，在图1中，透射照明光源8位于悬浮台3的外侧，但在检查时，该透射照明光源8移动到显微镜7的与物镜对置的光轴下方。在悬浮台3上形成有与X方向平行的多个平行的凹部10。在悬浮台3的除凹部10之外的上表面3A上等间隔地贯穿设置有多个用于喷出空气的孔11。在多个孔11的下方，对应于每一条形成有空间，该空间与未图示的空气压缩机连接。并且，在从悬浮台3的一端侧到另一端侧的中途，形成有照明光通过部15，该照明光通过部15是用于使来自透射照明光源8的照明光通过的间隙。该照明光通过部15形成为与Y方向平行，并且沿上下方向贯穿悬浮台3。如图2所示，在夹着照明光通过部15对置的悬浮台3的侧部12上，突出设置有支承部16。在照明光通过部15中，从上方嵌入有作为可使照明光透射的透射部件的散射板20，散射板20通过固定部件21固定在悬浮台3上。散射板20在使来自透射照明光源8的照明光散射的同时使其透射，散射板例如可以由毛玻璃或白色的丙稀板等制成。散射板20在X方向的宽度与形成于悬浮台3的照明光通过部15在X方向的宽度大致相等，散射板20在Y方向的长度与悬浮台3在Y方向的长度大致相等。因此，散射板20与配置于上游侧和下游侧的各悬浮台3的侧部12嵌合，并且散射板20的沿Y方向的边缘部载置在支承部16上，散射板20的上表面与各悬浮台3的上表面大致在同一个面上。散射板20通过固定部件21(固定单元)固定在悬浮台3的预定位置上。此外，如果通过在透射照明光源8上设置使光散射透射的部件来使照明光均匀化，则也可以不设置散射板20，而代替该散射板20使用由玻璃或塑料等透明材料构成的透明部件。如图3所示，为了不遮挡透射照明光，固定部件21通过粘贴在散射板20的下表面的外缘部来与散射板20连接。固定部件21之间的间隔与凹部10之间的间隔一致。固定部件21具有可以沿悬浮台3的凹部10的宽度方向插入到凹部10中的形状，固定部件21的高度形成为从凹部10的底面起低于悬浮台3的上表面3A。如图2所示，在固定部件21上设有用于插入紧固部件22的插入孔23。并且，3个高度调整用螺孔24形成为包围插入孔23。通过这些调整用螺孔24和旋合在调整用螺孔24中的高度调整小螺钉25，构成了用于调整散射板20的高度和水平度的调整单元。如图4所示，在将散射板20固定到悬浮台3时，将散射板20从悬浮台3的上方嵌入到照明光通过部15中，然后将固定部件21嵌入到凹部10中，在该状态下，将由无头螺钉构成的高度调整小螺钉25本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查装置，其包括：悬浮台，其用于使基板悬浮；观察单元，其用于对在所述悬浮台上进行搬送的所述基板的上表面进行观察；透射照明光源，其用于对所述基板从所述基板的下表面照射照明光；照明光通过部，其形成于所述悬 浮台，并由所述照明光可以通过的间隙构成；以及透射部件，其嵌入在所述照明光通过部中，并可以使所述照明光透射。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：城崎修哉，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]