一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，包括防护箱，所述防护箱的顶部开设有两个放置腔体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有驱动器本体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有安装机构，所述安装机构包括开设在放置腔体底部且与驱动器本体底部相适配的限位凹槽，所述驱动器本体两侧的顶部均固定连接有固定块，所述放置腔体内腔两侧的顶部均开设有与固定块相适配的矩形凹槽。本实用新型专利技术通过安装机构的设置，对驱动器本体进行安装固定，随后通过防护箱和顶盖的配合使用，对驱动器本体进行存放保护，同时通过散热机构的设置，对驱动器本体产生的热量进行散发，即可达到可防护和散热效果好的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器
本技术涉及晶圆薄膜检测
，具体为一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。晶圆薄膜检测的过程中，需要使用到多个电机驱动配合完成检测工作，此时需要电机驱动器对电动机进行控制驱动，现有的电动机驱动器大多直接安装在检测设备的表面，裸露的驱动器容易受到灰尘和其他物质的侵蚀，导致驱动器的损坏，且驱动器在使用的过程中，会产生一定的高温，若不及时对驱动器进行散热，可能导致驱动器烧坏，基于此，本技术提供了一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，用以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，具备可防护和散热效果好的优点，解决了现有的电动机驱动器大多直接安装在检测设备的表面，裸露的驱动器容易受到灰尘和其他物质的侵蚀，导致驱动器的损坏，且驱动器在使用的过程中，会产生一定的高温，若不及时对驱动器进行散热，可能导致驱动器烧坏的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，包括防护箱，所述防护箱的顶部开设有两个放置腔体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有驱动器本体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有安装机构，所述安装机构包括开设在放置腔体底部且与驱动器本体底部相适配的限位凹槽，所述固定块的顶部贯穿设置有螺栓，所述螺栓贯穿至矩形凹槽内腔的底部并与矩形凹槽螺纹连接，所述驱动器本体两侧的顶部均固定连接有固定块，所述放置腔体内腔两侧的顶部均开设有与固定块相适配的矩形凹槽，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有散热机构，所述散热机构包括开设在防护箱正表面和背表面的两个楔形出风口，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均嵌入设置有散热扇，所述防护箱的顶部设置有顶盖，所述顶盖的顶部设置有限位机构。优选的，所述限位机构包括固定连接在防护箱顶部中心处的十字限位块，所述顶盖顶部的中心处开设有与十字限位块相适配的十字限位孔，所述顶盖的顶部贯穿设置有螺纹转把，所述螺纹转把的底端与十字限位块的内腔螺纹连接。优选的，所述防护箱的两侧均开设有进风口，所述进风口的内腔固定连接有防尘网。优选的，所述驱动器本体的顶部设置有接线端子板，所述顶盖底部的前侧和后侧均开设有两个走线凹槽。优选的，所述防护箱两侧的底部均固定连接有安装板，所述安装板顶部的前侧和后侧均开设有螺纹通孔。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术通过安装机构的设置，对驱动器本体进行安装固定，随后通过防护箱和顶盖的配合使用，对驱动器本体进行存放保护，同时通过散热机构的设置，对驱动器本体产生的热量进行散发，即可达到可防护和散热效果好的目的，该用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，解决了现有的电动机驱动器大多直接安装在检测设备的表面，裸露的驱动器容易受到灰尘和其他物质的侵蚀，导致驱动器的损坏，且驱动器在使用的过程中，会产生一定的高温，若不及时对驱动器进行散热，可能导致驱动器烧坏的问题。2、本技术通过限位机构的设置，十字限位块和十字限位孔的配合使用，使得顶盖能够稳定的卡合在防护箱的顶部，避免了顶盖在防护箱的顶部发生偏移，通过进风口和防尘网的配合使用，避免防护箱内腔产生负压，且防尘网的设置，避免了空气中的灰尘进入防护箱的内腔，通过走线凹槽的设置，便于使用者通过外接线路与接线端子板电性连接。附图说明图1为本技术结构的立体示意图；图2为本技术防护箱的立体剖视图；图3为本技术驱动器本体和安装机构的立体示意图；图4为本技术顶盖和限位机构的立体示意图。图中：1、防护箱；2、放置腔体；3、驱动器本体；4、安装机构；41、限位凹槽；42、固定块；43、矩形凹槽；44、螺栓；5、散热机构；51、楔形出风口；52、散热扇；6、顶盖；7、限位机构；71、十字限位块；72、十字限位孔；73、螺纹转把；8、进风口；9、防尘网；10、接线端子板；11、走线凹槽；12、安装板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，包括防护箱1，防护箱1的两侧均开设有进风口8，进风口8的内腔固定连接有防尘网9，通过进风口8和防尘网9的配合使用，避免防护箱1内腔产生负压，且防尘网9的设置，避免了空气中的灰尘进入防护箱1的内腔，防护箱1两侧的底部均固定连接有安装板12，安装板12顶部的前侧和后侧均开设有螺纹通孔，防护箱1的顶部开设有两个放置腔体2，放置腔体2内腔的前侧和后侧均设置有驱动器本体3，驱动器本体3的顶部设置有接线端子板10，顶盖6底部的前侧和后侧均开设有两个走线凹槽11，通过走线凹槽11的设置，便于使用者通过外接线路与接线端子板10电性连接，放置腔体2内腔的前侧和后侧均设置有安装机构4，安装机构4包括开设在放置腔体2底部且与驱动器本体3底部相适配的限位凹槽41，驱动器本体3两侧的顶部均固定连接有固定块42，放置腔体2内腔两侧的顶部均开设有与固定块42相适配的矩形凹槽43，固定块42的顶部贯穿设置有螺栓44，螺栓44贯穿至矩形凹槽43内腔的底部并与矩形凹槽43螺纹连接，放置腔体2内腔的前侧和后侧均设置有散热机构5，散热机构5包括开设在防护箱1正表面和背表面的两个楔形出风口51，放置腔体2内腔的前侧和后侧均嵌入设置有散热扇52，防护箱1的顶部设置有顶盖6，顶盖6的顶部设置有限位机构7，限位机构7包括固定连接在防护箱1顶部中心处的十字限位块71，顶盖6顶部的中心处开设有与十字限位块71相适配的十字限位孔72，顶盖6的顶部贯穿设置有螺纹转把73，螺纹转把73的底端与十字限位块71的内腔螺纹连接，通过限位机构7的设置，十字限位块71和十字限位孔72的配合使用，使得顶盖6能够稳定的卡合在防护箱1的顶部，避免了顶盖6在防护箱1的顶部发生偏移。工作原理：本技术使用时，使用者通过将驱动器本体3放置在放置腔体2的内腔，将驱动器本体3的底部放置在限位凹槽41的内腔，随后通过螺栓44将固定块42和矩形凹槽43内腔的底部螺纹连接，使得驱动器本体3得以限位固定，随后将顶盖6卡合在防护箱1的顶部，使得十字限位块71位于十字限位孔72的内腔，通过螺纹转把73将顶盖6进行固定；在使用时，散热扇52对放置腔体2内腔中的热量进行抽取，使得放置腔体2内腔中的热量散出放置腔体2的内腔，由于放置腔体2内腔中的热量被抽动，外界空气同时自进风口8本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，包括防护箱，其特征在于：所述防护箱的顶部开设有两个放置腔体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有驱动器本体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有安装机构，所述安装机构包括开设在放置腔体底部且与驱动器本体底部相适配的限位凹槽，所述驱动器本体两侧的顶部均固定连接有固定块，所述放置腔体内腔两侧的顶部均开设有与固定块相适配的矩形凹槽，所述固定块的顶部贯穿设置有螺栓，所述螺栓贯穿至矩形凹槽内腔的底部并与矩形凹槽螺纹连接，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有散热机构，所述散热机构包括开设在防护箱正表面和背表面的两个楔形出风口，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均嵌入设置有散热扇，所述防护箱的顶部设置有顶盖，所述顶盖的顶部设置有限位机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆薄膜检测设备的电动机驱动器，包括防护箱，其特征在于：所述防护箱的顶部开设有两个放置腔体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有驱动器本体，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有安装机构，所述安装机构包括开设在放置腔体底部且与驱动器本体底部相适配的限位凹槽，所述驱动器本体两侧的顶部均固定连接有固定块，所述放置腔体内腔两侧的顶部均开设有与固定块相适配的矩形凹槽，所述固定块的顶部贯穿设置有螺栓，所述螺栓贯穿至矩形凹槽内腔的底部并与矩形凹槽螺纹连接，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均设置有散热机构，所述散热机构包括开设在防护箱正表面和背表面的两个楔形出风口，所述放置腔体内腔的前侧和后侧均嵌入设置有散热扇，所述防护箱的顶部设置有顶盖，所述顶盖的顶部设置有限位机构。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆薄膜检测设备的电动...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴严淼，
申请(专利权)人：深圳精技工业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44