液滴喷出方法和液滴喷出装置制造方法及图纸

一种液滴喷出方法，一边使具有液滴喷出机构的喷出头和基板相对移动，一边由所述喷出头向所述基板喷出液滴，并在该基板上形成图案，其特征在于，所述液滴喷出方法具有：ＣＡＤ数据作成步骤，根据所述图案的形状，作成由多个矢量数据的组合而规定的ＣＡＤ数据；位图作成步骤，基于该ＣＡＤ数据，作成由ＸＹ栅格规定所述液滴的喷出位置的位图数据；液滴喷出数据作成步骤，基于该位图数据，作成喷出所述液滴用的液滴喷出数据；液滴喷出数据传送步骤，将该液滴喷出数据传送到所述液滴喷出机构，对应于所述液滴喷出数据，驱动所述液滴喷出机构，从而形成所述图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液滴喷出方法和液滴喷出装置。
技术介绍
近年来，使用液晶装置、场致发光装置等作为手机、笔记本电脑等电子设备的显示部。例如，在液晶装置中，在由玻璃、塑料等形成的基板表面，将红色、绿色、蓝色的圆点状的各色滤波元件以条纹形排列、三角形排列或马赛克形排列等规定的排列形式排列形成滤色器。作为这种滤色器的形成方法，已知有使喷出红、绿、蓝等各色素液滴的色素滴喷出头进行扫描的同时，对玻璃基板上涂布的丙烯酸树脂进行液滴喷出、使其固定的方法。(例如，参见特开平2-173703号公报)。但是，各液滴必须固定在基板上预先规定的位置，在大面积的基板上形成多个滤色器的情况下，需要精确调整基板位置的机构。尤其在基板上形成的图案为微细的滤色器或具有复杂形状的电路等情况下，必须设置高精度的调整机构。并且，在调整基板位置的机构的驱动需要花费很长时间时，有时会延长每张基板的处理时间。
技术实现思路
本专利技术是针对这样的问题而进行的，目的在于提供一种能够以简单的构成在基板上形成高精度图案的液滴喷出方法和液滴喷出装置。本专利技术的液滴喷出方法，根据从液滴喷出机构向基板上喷出液滴来形成的图案的形状，作成由多个矢量数据的组合规定的CAD(ComputerAided Design)数据，基于该CAD数据，作成由XY栅格规定所述液滴喷出位置的位图数据，基于该位图数据，作成喷出所述液滴用的液滴喷出数据，根据该液滴喷出数据，驱动所述液滴喷出机构来形成所述图案。所述“液滴喷出机构”是具有由压电元件等供给的规定电压波形，使喷出头内的容积发生变化，相应地喷出被按压的液滴的功能的机构。该液滴喷出机构，不只限于使用压电元件等电气/机械转换器，也可使用例如，作为能量产生元件的电/热转换器、带电控制型和加压振动型的连续方式、静电吸引方式等。所述“液滴喷出数据”是用于向液滴喷出机构供给所述电压波形的数据，即，控制液滴喷出机构的液滴喷出的数据。并且，该液滴喷出数据中含有使喷出头和基板相对移动的数据，即，也是决定基板上液滴喷出位置的数据。该液滴喷出数据的数据形式是由“0”和“1”组成的时间序列数据，并被储存在ROM(Read Only Memory)或RAM(Random AccessMemory)中。所述“图案”是指能以液滴形式向基板上喷出的材料被喷出到规定位置所形成的图案，例如具有由R(红)、G(绿)、B(蓝)形成的RGB滤色器的像素图案，例如由带有曲折构造的线圈和天线等电感、电容器等容量元件构成的电容、电阻的电路图案，或带有具有半导体的TFT(ThinFilm Transistor)等的开关元件、与开关元件连接的像素电极等的图案，或需要局部喷出的液晶材料和取向膜材料等。所述开关元件是指由能够作为液体材料喷出的材料形成的元件。所述“基板”是通过喷出所述液滴而形成图案的液滴喷出对象。可采用各种材料作为基板，若需透明性则采用例如玻璃等基板，若不需透明性则采用例如金属基板等。而且，该基板的尺寸不限，本专利技术中，特指超过1米的大型基板。根据本专利技术，利用装备有显示屏等显示部和键盘等输入部的计算机，能将所述液滴喷出而形成的图案预先作成CAD数据。而且，通过转换这样作成的CAD数据能作成位图数据。还有，通过基于该位图数据作成液滴喷出数据后，再根据该液滴喷出数据从喷出头向基板上规定位置喷出，能在基板上形成图案。所述图案是由具有规定功能的多个功能层叠层形成，所述CAD数据具有对应于所述功能层的多个层数据，基于该多个层数据作成多个所述位图数据，基于该多个位图数据作成多个所述液滴喷出数据，对应于该多个液滴喷出数据驱动所述液滴喷出机构，由此形成由所述多个功能层构成的所述图案也可以。所述“功能层”是指构成所述图案的各层，例如指上述电感、电容、电阻、开关元件等各层。即，通过将这样的各功能层进行叠层来形成所述图案。所述“层数据”为形成所述功能层预先通过计算机等作成。在采用所述方法的情况下，能基于多个层数据作成多个位图数据。而且，能基于该多个位图数据作成液滴喷出数据。并且，通过基于该多个液滴喷出数据喷出液滴，能形成多个功能层。因此，能形成多个功能层叠层的图案。也可以具有由多个所述喷出头构成的喷出头组，在所述多个功能层的每个层中，所述喷出头组的所述喷出头分开喷出所述液滴，由此来形成所述图案。在此，以喷出头组具有喷出含有金属材料的液滴的第1喷出头、喷出含有绝缘膜材料的液滴的第2喷出头、和喷出含有透明电极材料的液滴的第3喷出头的情况为例来说明喷出头组。首先，在基板上形成由金属布线构成的功能层的情况下，从形成金属布线的层数据作成位图数据后，作成液滴喷出数据，并基于该液滴喷出数据从第1喷出头喷出含有金属材料的液滴。之后，在形成绝缘膜和透明电极功能层的情况下，从形成绝缘膜和透明电极的层数据，与前面同样地分别作成液滴喷出数据，据此从第2喷出头喷出含有绝缘膜材料的液滴，从第3喷出头喷出含有透明电极材料的液滴。在所述喷出头组具备第1、第2、和第3喷出头，并且用这些喷出头分开喷出液滴的情况下，能形成由多个功能层构成的图案。也可以具有所述喷出头将所述液滴喷出到所述基板上、并在该基板上形成所述功能层的多个液滴喷出单元，所述多个液滴喷出单元分别在所述基板上对所述多个功能层的每个层分开喷出所述液滴，由此而形成由所述多个功能层构成的所述图案。在此，对使用例如喷出含有金属材料的液滴的第1液滴喷出单元、喷出含有绝缘膜材料液滴的第2液滴喷出单元、和喷出含有透明电极材料液滴的第3液滴喷出单元形成图案的情况进行说明。首先，在基板上形成由金属布线构成的功能层的情况下，由形成金属布线用的层数据作成位图数据后，作成液滴喷出数据，并基于该液滴喷出数据，由第1液滴喷出单元将含有金属材料的液滴喷出到基板上。之后，在形成绝缘膜和透明电极的功能层的情况下，由形成绝缘膜和透明电极用的层数据，与上述同样地作成各自的液滴喷出数据，据此而利用第2液滴喷出单元喷出含有绝缘膜材料的液滴，利用第3液滴喷出单元喷出含有透明电极材料的液滴。在所述第1、第2、第3液滴喷出单元相互之间，最好设置输送基板的输送单元。这样，在利用第1、第2、第3液滴喷出单元分开喷出液滴的情况下，能形成由多个功能层组成的图案。所述层数据含有规定所述功能层的膜厚的膜厚数据，也可以基于该膜厚数据，设定从所述喷出头喷出的所述液滴的喷出次数和该液滴的喷出量。所述“膜厚数据”是指构成功能层的材料的膜厚。例如，在形成金属布线等情况下，采用将在挥发性溶剂中分散有金属微粒的液体以液滴形式喷出的方法。在该方法中，考虑到该金属微粒的含量和为析出金属微粒而进行的干燥处理和加热处理导致的材料性质变化和体积变化等，对液滴的喷出次数和喷出量进行设定。在采用所述方法的情况下，可以基于膜厚数据，并且考虑到喷出的液滴中包含的材料含有量等，设定液滴的喷出次数和液滴的喷出量。本专利技术的液滴喷出装置具有，对应于通过从液滴喷出机构向基板上喷出液滴而形成的图案的形状、作成由多个矢量数据的组合来规定的CAD(Computer Aided Design)数据的CAD数据作成机构，和基于所述CAD数据作成由XY栅格规定所述液滴的喷出位置的位图数据的作成机构，而且对应于所述液滴喷出数据并驱动所述液滴喷出机构来形成所述图案。根据本专利技术，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出方法，一边使具有液滴喷出机构的喷出头和基板相对移动，一边由所述喷出头向所述基板喷出液滴，并在该基板上形成图案，其特征在于，所述液滴喷出方法具有：ＣＡＤ数据作成步骤，根据所述图案的形状，作成由多个矢量数据的组合而规定的ＣＡＤ数据；位图作成步骤，基于该ＣＡＤ数据，作成由ＸＹ栅格规定所述液滴的喷出位置的位图数据；液滴喷出数据作成步骤，基于该位图数据，作成喷出所述液滴用的液滴喷出数据；液滴喷出数据传送步骤，将该液滴喷出数据传送到所述液滴喷出机构，对应于所述液滴喷出 数据，驱动所述液滴喷出机构，从而形成所述图案。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：奥山正幸，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]