一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构制造技术

技术编号:27070243 阅读:44 留言:0更新日期:2021-01-15 14:52
本实用新型专利技术涉及一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构。该结构整体由“V”型槽结构、连杆结构、压条结构及旋紧螺母结构组成。“V”型槽结构上设置有与螺纹孔,可以将连杆固定在“V”型槽上;连杆结构两端均有螺纹,一端与“V”型槽结构连接,另一端与旋紧螺母连接;压条结构为长条状,两端有可供连杆通过的圆形通孔;旋紧螺母可将压条结构固定在连杆上。本实用新型专利技术工装夹具结构紧固效果好,晶棒固定好后晶向无偏差,方便后续对晶棒加工notch槽。

【技术实现步骤摘要】
一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构
本技术属于蓝宝石晶棒加工领域,具体涉及一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构。
技术介绍
蓝宝石是一种氧化铝的单晶,耐磨且抗风蚀,硬度仅次于金刚石。蓝宝石晶体具有各向异性的特点,在不同的方向上晶体的性质不同,是现代工业重要的基础材料。因蓝宝石独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能,使其成为实际应用的半导体照明、大规模集成电路及超导纳米结构薄膜等理想的衬底材料。截止目前,LED衬底材料仍是蓝宝石重要的应用,据统计,衬底材料应用占蓝宝石需求量的80%以上,非衬底材料应用占20%左右。由于蓝宝石晶体中r面为非极性面,r面的位置不同会影响蓝宝石器件的力学、热学、电学以及光学性能,以及蓝宝石器件后续加工的一致性和成品率。为了保证晶棒在后续加工过程中具有良好的一致性,选择a向作为导向边,通过a向与r向的位置保持一致来保证蓝宝石晶片的一致性。传统蓝宝石晶棒采用平边的方式来确定r向位置,在LED器件制作过程中,notch衬底相比较平边衬底,晶片利用面积可增加0.57%,能够有效提升LED衬底片的出材率。但对比平边衬底,notch衬底在加工中存在许多技术难点,notch晶棒在加工过程中对晶向要求严格,要保证加工一次成功率,因此有必要研究一种蓝宝石晶棒加工notch槽的夹具结构,保证晶棒开槽时的精度。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便于蓝宝石晶棒开槽,将晶棒固定在“V”型槽上,不仅可以避免晶棒在开槽时产生磕崩,同时也可以保证晶棒开槽时晶向无偏差,提高晶棒开槽的质量的加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构。本技术的目的是这样实现的:它包括“V”型槽结构、连杆结构、压条结构及旋紧螺母结构,“V”型槽结构上设置有四个螺纹孔,且螺纹孔与“V”型槽的斜面垂直,将连杆固定在“V”型槽上;连杆结构两端均设置有螺纹,一端交叉固定在“V”型槽上,另一端与旋紧螺母连接;压条结构为长方形条状,两端设置有可供连杆通过的圆形通孔;旋紧螺母将压条结构固定在连杆结构上。本技术还有这样一些特征:1、所述的“V”型槽结构长为150mm~250mm,宽为100mm~150mm,“V”型槽角度为90°~150°,底面做精磨处理,保证底端表面的粗糙度;在“V”型槽的两个斜面处固定有橡胶垫,同时在斜面两端各开两个大小为M8~M16并与斜面垂直的内螺纹孔。2、所述的连杆结构直径为Φ10~Φ18mm,长45~160mm,两端均有螺纹,大小为M8~M16,一端交叉固定在“V”型槽的斜面上,保证连杆与斜面垂直。3、所述的压条结构为长方形条状,长150mm~250mm,宽5~10mm,高4~8mm,两端有Φ8~Φ16mm的通孔,供连杆通过;压条结构单面沾有橡胶垫,以更好的固定晶棒。4、所述的旋紧螺母结构大小为M8~M16,将压条固定在连杆上,确保晶棒稳定的固定在“V”型槽内。5、所述的“V”型槽材质为45#钢,保证夹具的整体强度。6、所述的连杆结构两端的螺纹做淬火处理。本技术夹具使用的过程中橡胶垫可以避免晶棒产生磕碰,造成崩边等不良,提高晶棒的完整性,同时也可以增大夹具与晶棒间的摩擦力,保证晶棒无位移;“V”型槽底面做精处理,可将整个夹具结构利用真空吸附在CNC设备的平台上,保证晶棒开槽的精度。本技术有益效果有:1.本技术一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构中,在“V”型槽斜面和压条上安装橡胶垫,既可以增大晶棒与夹具之间的摩擦,保证晶棒夹持的稳定性,也可以防止晶棒在开槽时产生磕碰,降低蓝宝石晶棒崩边的概率。2.本技术一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构中,“V”型槽底部端面做精处理,便于夹具结构利用真空吸附在CNC设备的平台上,确保整体结构无位移,保证晶棒开槽的精度。本技术一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构中,整体结构简单,安装及拆卸蓝宝石晶棒时方便、易操作,取代传统粘胶过程,降低成本,同时可满足不同尺寸晶棒的开槽需求,提高工作效率。附图说明图1为本技术结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术进行详细说明:结合图1,本实施例结构整体由“V”型槽结构、连杆结构、压条结构及旋紧螺母结构组成。“V”型槽结构上设置有四个螺纹孔,且螺纹孔与“V”型槽的斜面垂直,将连杆固定在“V”型槽上;连杆结构两端均设置有螺纹,一端交叉固定在“V”型槽上,另一端与旋紧螺母连接;压条结构为长方形条状,两端设置有可供连杆通过的圆形通孔;旋紧螺母将压条结构固定在连杆结构上。“V”型槽结构长为200mm,宽为120mm,“V”型槽角度为120°,底面做精磨处理,保证底端表面的粗糙度;在“V”型槽的两个斜面处固定有橡胶垫,同时在斜面两端各开两个大小为M12并与斜面垂直的内螺纹孔。连杆结构直径为Φ14mm,长100mm,两端均有螺纹,大小为M12,一端交叉固定在“V”型槽的斜面上,保证连杆与斜面垂直。压条结构为长方形条状,长200mm,宽8mm,高6mm,两端有Φ12mm的通孔,供连杆通过;压条结构单面沾有橡胶垫,以更好的固定晶棒。旋紧螺母结构大小为M12,将压条固定在连杆上,确保晶棒稳定的固定在“V”型槽内。“V”型槽材质为45#钢,保证夹具的整体强度。连杆结构两端的螺纹做淬火处理。本实施例将连杆结构2旋紧在“V”型槽4两端的螺纹孔9内,并将蓝宝石晶棒3放在“V”型槽内的橡胶垫8上,调整晶棒进行定向,定向完成后,保持晶棒不动,将压条结构7安装在连杆结构上,有橡胶垫的面安装在晶棒一侧,用旋紧螺母6固定。固定完成后,将夹具及晶棒整体安放到CNC设备上,“V”型槽底面5利用真空进行吸附固定,然后进行蓝宝石晶棒开槽,形成晶棒槽1。以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所做的进一步详细说明,不能认定本技术的具体实施只限于这些说明。对于具有本技术所属领域基础知识的人员来讲,可以很容易对本技术进行变更和修改,这些变更和修改都应当视为属于本技术所提交的权利要求书确定的专利保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构,其特征在于它包括“V”型槽结构、连杆结构、压条结构及旋紧螺母结构,“V”型槽结构上设置有四个螺纹孔,且螺纹孔与“V”型槽的斜面垂直,将连杆固定在“V”型槽上;连杆结构两端均设置有螺纹,一端交叉固定在“V”型槽上,另一端与旋紧螺母连接;压条结构为长方形条状,两端设置有可供连杆通过的圆形通孔;旋紧螺母将压条结构固定在连杆结构上。/n

【技术特征摘要】
1.一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构,其特征在于它包括“V”型槽结构、连杆结构、压条结构及旋紧螺母结构,“V”型槽结构上设置有四个螺纹孔,且螺纹孔与“V”型槽的斜面垂直,将连杆固定在“V”型槽上;连杆结构两端均设置有螺纹,一端交叉固定在“V”型槽上,另一端与旋紧螺母连接;压条结构为长方形条状,两端设置有可供连杆通过的圆形通孔;旋紧螺母将压条结构固定在连杆结构上。


2.根据权利要求1所述的一种加工蓝宝石晶棒notch槽的工装夹具结构,其特征在于所述的“V”型槽结构长为150mm~250mm,宽为100mm~150mm,“V”型槽角度为90°~150°;在“V”型槽的两个斜面处固定有橡胶垫,同时在斜面两端各开两个大小为M8~M16并与...

【专利技术属性】
技术研发人员:左洪波杨鑫宏李铁周德印丰向伟
申请(专利权)人:哈尔滨秋冠光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:黑龙江;23

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