用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺制造方法及图纸

本发明专利技术属于LCD干刻反应腔部件领域，提供了一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺，其中装置包括：烘干室，其具有多个用于容纳所述下部电极的烘干腔，所述烘干腔的前端敞口设置；炉门，其可开闭地设置在所述烘干腔的前端敞口处；加热装置，其设置在所述烘干腔的腔壁上；滚动支撑装置，其设置在所述烘干腔内，其用于支撑所述下部电极；温度传感器，其设置在所述烘干腔内，其用于检测所述烘干腔内的温度；以及控制器，其与所述加热装置和所述温度传感器电连接。本发明专利技术能够使密封液的固化更加均匀，从而避免了电极层上方的绝缘涂层内部发生未完全固化现象发生。

【技术实现步骤摘要】
用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺
本专利技术涉及LCD干刻反应腔部件领域，具体涉及一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺。
技术介绍
下部电极被广泛应用于诸如平板显示器件、集成电路的干法刻蚀工艺中，其主要包括母材、母材表面的氧化铝涂层、钨涂层和安装在母材上的电极棒，使用过程中主要通过电极棒引入高电压，下部电极的涂层结构为上下两个绝缘层(氧化铝)中间夹着一层电极层(钨层)，导电棒给电极层(钨层)供电并在上部绝缘层表面形成静电，通过产生的静电吸附、固定需要被加工的玻璃面板。下部电极的位于电极层上方的绝缘涂层内有许多孔隙，这些孔隙使得电极层和铝基材之间的绝缘性降低，导致高漏电流现象和耐电压的降低。因此，在下部电极的再生工艺中，都需要在电极层上方的绝缘涂层表面涂上诸如环氧树脂和硅之类的树脂类型的密封液。目前，涂完密封液的下部电极，都是直接转运至大型干燥室中进行60℃烘烤，随着时间增加，室内的温度在各空间的温度存在一定的温差，在这种情况下，会发生密封液的固化状态不同，导致涂层的内部发生未完全固化现象，严重影响密封效果。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺，以使密封液的固化更加均匀，避免电极层上方的绝缘涂层内部发生未完全固化现象。第一方面，本专利技术提供一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置，包括：烘干室，其具有多个用于容纳所述下部电极的烘干腔，所述烘干腔的前端敞口设置；炉门，其可开闭地设置在所述烘干腔的前端敞口处；加热装置，其设置在所述烘干腔的腔壁上；滚动支撑装置，其设置在所述烘干腔内，其用于支撑所述下部电极；温度传感器，其设置在所述烘干腔内，其用于检测所述烘干腔内的温度；以及控制器，其与所述加热装置和所述温度传感器电连接。进一步地，还包括输送装置，所述输送装置包括设置在所述烘干室前端的底座和两个设置在所述底座上的转移机构，所述转移机构包括：行走机构，其可移动地设置在所述底座上；立柱，其沿纵向固定设置在所述行走机构上；升降装置，其设置在所述立柱上；横梁，其沿横向设置在所述升降装置上；输送辊，其沿所述横梁的延伸方向间隔设置有多个，所述输送辊与所述横梁转动连接；传动辊，其在每个所述输送辊上分别设置有一个，所述传动辊与所述输送辊同轴连接，所述传动辊上开设有两个绳槽；第一绳索，其套设在两个相邻的所述传动辊上的所述绳槽，其用于使两个相邻的所述传动辊同步转动；以及第一电机，其设置在所述横梁上，其用于驱动任意一个所述传动辊转动，其与所述控制器电连接。进一步地，所述烘干室上设置有2—3排所述烘干腔，每排所述烘干腔的数量为2个。进一步地，所述滚动支撑装置包括多个沿横向设置在所述烘干腔的腔壁两侧的支撑辊，所述支撑辊转动设置在所述烘干腔的腔壁上。进一步地，所述升降装置包括：螺杆，其沿纵向可转动地设置在所述立柱上；滑块，其在所述立柱上沿纵向滑动，其与所述螺杆螺纹连接，其与所述横梁的一端连接；以及第二电机，其设置在所述立柱上，其用于驱动所述螺杆转动，其与所述控制器电连接。进一步地，所述横梁的所述一端设置铰接部和抵接部，所述铰接部用于与所述滑块铰接，当所述抵接部与所述滑块抵接时，所述横梁保持在横向方向上不动，所述横梁的另一端由收展机构驱动，所述收展机构包括：第三电机，其设置在所述立柱的顶部，其与所述控制器电连接；绳轮，其套设在所述第三电机的输出轴上；以及第二绳索，其一端与所述横梁的另一端连接，其另一端与所述绳轮连接。进一步地，所述行走机构包括：轮座；行走轮，其沿横向设置在所述轮座上，其与所述轮座转动连接；导向轮，其在所述轮座上沿纵向设置有多个，其与所述轮座转动连接，多个所述导向轮分布在所述行走轮的前后两端；以及第四电机，其设置在所述轮座上，其用于驱动所述行走轮转动，其与所述控制器电连接。第二方面，本专利技术还提供一种用于使下部电极表面的密封液固化的工艺，包括如下步骤：S1、行走在所述底座上进行第一次移动，使得位于某一列上的炉门可以向外打开；S2、行走机构在所述底座上进行第二次移动，并移动到已经打开的所述炉门的正前方；S3、收展机构将所述横梁展开，使所述横梁保持在横向方向上不动；S4、升降装置将所述横梁上升或下降至某一个位置，在这个过程中，收展机构保持工作，使得横梁始终保持在横向方向上，在所述某一个位置处，下部电极被放置到两个所述转移机构的输送辊上；S5、升降装置将下部电极上升或下降至预设的与烘干腔相对应的高度上，使两个所述转移机构中的输送辊同步工作，以将下部电极送入到相应的烘干腔中；S6、重复步骤S4和S5，直到某一列烘干腔中都放入了下部电极；S7、行走机构在所述底座上进行第三次移动，使得所述某一列上的炉门可以被关上；S8、行走机构在所述底座上进行第四次移动，使得位于另一列上的炉门可以被打开；S9、重复步骤S4—S6，直到另一列烘干腔中都放入了下部电极；S10、行走机构在所述底座上进行第四次移动，使得位于所述另一列上的炉门可以被关上；S11、收展机构将所述横梁收起，使得横梁保持在纵向方向上不动；S12、加热装置启动，对烘干腔内进行加热，当温度传感器检测到烘干腔中温度超过65℃时，加热装置暂停工作，当温度传感器检测到烘干腔中温度低于55℃时，加热装置再次进行加热；S13、下部电极在烘干腔内被烘干的时间达到预设的值时，加热装置停止工作。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺，通过在烘干室内设置多个独立的烘干腔，将1—3块下部电极放入单独的烘干腔中进行烘干，使得下部电极表面的密封液固化，这样密封液的固化更加均匀，能够避免电极层上方的绝缘涂层内部发生未完全固化现象发生。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。图1为本专利技术一实施例提供的用于使下部电极表面的密封液固化的装置的立体图；图2为图1中的烘干室的一个结构示意图；图3为图1中的部分结构示意图；图4为图3中的一部分结构在另一个视角下的结构示意图；图5为图3中的另一部分结构在另一个视角下的结构示意图。附图标记：10-烘干室、11-烘干腔、12-加热装置、13-温度传感器、14-滚动支撑装置、15-炉门、20-底座、30-转移机构、40-行走机构、41-轮座、42-行走轮、43-导向轮、44-第四电机、50-立柱、60-升降装置、61-螺杆、62-滑块、63-第二电机、70-横本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：包括：/n烘干室，其具有多个用于容纳所述下部电极的烘干腔，所述烘干腔的前端敞口设置；/n炉门，其可开闭地设置在所述烘干腔的前端敞口处；/n加热装置，其设置在所述烘干腔的腔壁上；/n滚动支撑装置，其设置在所述烘干腔内，其用于支撑所述下部电极；/n温度传感器，其设置在所述烘干腔内，其用于检测所述烘干腔内的温度；以及/n控制器，其与所述加热装置和所述温度传感器电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：包括：
烘干室，其具有多个用于容纳所述下部电极的烘干腔，所述烘干腔的前端敞口设置；
炉门，其可开闭地设置在所述烘干腔的前端敞口处；
加热装置，其设置在所述烘干腔的腔壁上；
滚动支撑装置，其设置在所述烘干腔内，其用于支撑所述下部电极；
温度传感器，其设置在所述烘干腔内，其用于检测所述烘干腔内的温度；以及
控制器，其与所述加热装置和所述温度传感器电连接。


2.根据权利要求1所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：还包括输送装置，所述输送装置包括设置在所述烘干室前端的底座和两个设置在所述底座上的转移机构，所述转移机构包括：
行走机构，其可移动地设置在所述底座上；
立柱，其沿纵向固定设置在所述行走机构上；
升降装置，其设置在所述立柱上；
横梁，其沿横向设置在所述升降装置上；
输送辊，其沿所述横梁的延伸方向间隔设置有多个，所述输送辊与所述横梁转动连接；
传动辊，其在每个所述输送辊上分别设置有一个，所述传动辊与所述输送辊同轴连接，所述传动辊上开设有两个绳槽；
第一绳索，其套设在两个相邻的所述传动辊上的所述绳槽，其用于使两个相邻的所述传动辊同步转动；以及
第一电机，其设置在所述横梁上，其用于驱动任意一个所述传动辊转动，其与所述控制器电连接。


3.根据权利要求2所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述烘干室上设置有2—3排所述烘干腔，每排所述烘干腔的数量为2个。


4.根据权利要求3所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述滚动支撑装置包括多个沿横向设置在所述烘干腔的腔壁两侧的支撑辊，所述支撑辊转动设置在所述烘干腔的腔壁上。


5.根据权利要求4所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述升降装置包括：
螺杆，其沿纵向可转动地设置在所述立柱上；
滑块，其在所述立柱上沿纵向滑动，其与所述螺杆螺纹连接，其与所述横梁的一端连接；以及
第二电机，其设置在所述立柱上，其用于驱动所述螺杆转动，其与所述控制器电连接。


6.根据权利要求5所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述横梁的所述一端设置铰接部和抵接部，所述铰接部用于与所述滑块铰接，当所述抵接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东一，
申请(专利权)人：重庆臻宝实业有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50