喷墨印刷设备、检查滤色器的方法及滤色器面板制造方法技术

本发明专利技术公开了一种喷墨印刷设备、一种用于检查滤色器的方法和一种利用该喷墨印刷设备制造滤色器面板的方法。该喷墨印刷设备包括：台，其上安装有基底；喷墨头，用于将滤色器墨水喷射到基底上；色坐标测量单元，与喷墨头间隔开，用于测量滤色器的色坐标。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种喷墨印刷设备、 一种用于检查滤色器的方法和一种利用 该喷墨印刷设备制造滤色器面板的方法。
技术介绍
LCD是最常用的平板显示器中的一种，它包括两个显示面板，具有形 成在其中的电场产生电极；液晶层，置于这两个显示面板之间。在LCD中， 对电场产生电极施加电压，以使液晶层的液晶分子重新取向，从而控制透射 的光的量，以显示图像。在LCD中，两个显示面板中的一个包括用于实现颜色的滤色器。 滤色器包括用于显示红色、绿色和蓝色的精细的图案，所述精细的图案 可通过包括涂覆、曝光、显影和蚀刻工艺的光刻工艺来形成。随着基底尺寸 的增大，更多的滤色器被涂覆在基底上，这需要大的曝光掩模和制造设备。 对于大型的LCD,存在着与通过光刻工艺形成滤色器有关的限制。 因此，近来已经引入了一种通过喷墨印刷工艺形成滤色器的方法。喷墨 印刷工艺是一种向由分隔件(partition)划分的特定区域喷射墨水溶液来产生墨 着色(ink-colored)图像的方法。因为包括红色、绿色和蓝色滤色器的多个滤色 器可同时被着色，所以这种技术使制造时间大大减少，并使制造成本大大降 低。然而，当通过喷墨印刷工艺形成滤色器时，从每个喷嘴喷射的墨水溶液 的量会不均勾，这会导致基底上的条紋形式的显示瑕疯(stain)。为了解决喷射的墨水溶液的量不均匀的问题，可测量从每个喷嘴喷射的 每个墨滴的直径，如果有大的偏差，则可通过调整喷射的墨水溶液比其它喷嘴喷射的墨水溶液多或者少的喷嘴的驱动电压，将从每个喷嘴喷射的墨水溶 液的量改变为平均值。然而，虽然均匀地控制了喷射的墨水溶液的量，但是由于分隔件的位置 引起的分隔件表面特性的不同以及喷墨位置的不同，所以每个像素的颜色特 性会表现出不同。颜色特性的这些不同会表现为条紋瑕疵
技术实现思路
本专利技术提供了 一种喷墨印刷设备。 本专利技术还提供了 一种用于检查滤色器的方法。本专利技术还提供了 一种利用所述喷墨印刷设备制造滤色器面板的方法。 将在下面的描述中阐述本专利技术另外的特征，本专利技术另外的特征从描述中 部分地将是清楚的，或者可通过实践本专利技术而获知。本专利技术公开了一种喷墨印刷设备，该喷墨印刷设备包括台，基底安装 在台上；喷墨头，将用于滤色器的墨水溶液喷射到基底上；色坐标测量单元， 与喷墨头间隔开，用于测量滤色器的色坐标。本专利技术还公开了一种用于检查滤色器的方法，该方法包括将基底设置 在具有喷墨头和色坐标测量单元的喷墨印刷设备上，将墨水溶液喷射到基底 上；干燥墨水溶液，以形成滤色器；利用色坐标测量单元测量滤色器的色坐 标；基于色坐标信息控制喷射的墨水溶液的量。本专利技术还提供了一种用于制造滤色器面板的方法，该方法包括在基底 上形成具有多个开口的绝缘层；将喷墨头设置在开口的上方，并喷射墨水溶 液；干燥墨水溶液，以形成滤色器；测量滤色器的色坐标；在滤色器上形成 电极。将要理解的是，前面的大体描述和后面的详细描述都是示例性的和示出 性的，且意图在于提供对要求保护的本专利技术的进一步解释。附图说明附图示出了本专利技术的实施例，并与描述一起用于解释本专利技术的原理，包 括附图以提供对本专利技术的进一步理解，且附图包含在本说明书中并构成本说 明书的一部分。图1是示出根据本专利技术一个示例性实施例的喷墨印刷设备的示意性透视图。图2和图3是示出图1的喷墨印刷设备的喷墨头的示意图。图4A是示出图1的喷墨印刷设备的光谱仪(spectrometer)的示意图。 图4B是示出根据本专利技术一个示例性实施例的用于检查滤色器的方法的 步骤的流程图。图5是示出根据本专利技术另一示例性实施例的喷墨印刷设备的示意性透视图。图6是示出根据本专利技术 一个示例性实施例的滤色器面板的剖视图。图7、图8、图9、图10和图ll是示出根据本专利技术一个示例性实施例的用于制造图6的滤色器面板的方法的顺序步骤的剖^L图。 图12是示出包括图6的滤色器面板的LCD的剖视图。 图13是示出利用根据本专利技术一个示例性实施例的喷墨印刷设备测量的色坐标值的曲线图。具体实施例方式在下文中，将参照附图更加详细地描述本专利技术，本专利技术的示例性实施例 示出在附图中。然而，本专利技术可以以许多不同的形式实施，不应被解释为局 限于在此提出的实施例。相反，提供这些实施例，使得本公开是彻底的，并 将向本领域技术人员充分传达本专利技术的范围。在附图中，为了清晰起见，会 夸大层和区域的尺寸。附图中相同的标号表示相同的元件。将要理解的是，当元件或层被称作在另一元件或层"上"或者"连接到" 另一元件或层时，该元件或层可以直接在另一元件或层上或者直接连接到另 一元件或层，或者可存在中间元件或层。相反，当元件或层被称作"直接在" 另一元件或层"上"或者"直接连接到"另一元件或层时，不存在中间元件 或层。现在将参照图1、图2、图3和图4A描述根据本专利技术一个示例性实施例 的喷墨印刷设备。图1是示出根据本专利技术一个示例性实施例的喷墨印刷设备的示意性透视 图，图2和图3是示出图1的喷墨印刷设备的喷墨头的示意图，图4A是示 出图1的喷墨印刷设备的光谱仪的示意图。首先，如图1、图2和图3所示，根据本专利技术一个示例性实施例的喷墨印刷设备包括台150，其上安装有基底210;头单元700,设置在台150的 上侧；光谱仪800，与头单元700间隔开；传送单元300，用于移动头单元 700和光谱仪800。台150位于支撑板130上，并通过台传动轴160被固定在适当的位置。 台150可由可透射光的透明的或半透明的材料或者可反射光的不透明材料制 成，台传动轴160可使台150沿着水平方向或者垂直方向在预定范围内移动。如图2和图3所示，头单元700包括多个头400以及形成在头400的下 表面上的多个喷嘴410R、 410G和410B。头400包括红色头400R、绿色头400G和蓝色头400B。参照图2和图3， 三个头400R、 400G和400B以相等的间隔平4亍分隔开。红色头400R的端部 和绿色头400G的端部之间的距离dl与绿色头400G的端部和蓝色头400B的 端部之间的距离d2可以相等。三个头400R、 400G和400B相对于"y"方向 以预定的角度e倾斜，因此，喷嘴节距(nozzle pitch) "D"可以变为与像素节 距(pixel pitch) "P"相同的长度(D.cos0)。头400R、400G和400B分别包括多个红色喷嘴410R、多个绿色喷嘴410G 和多个蓝色喷嘴410B,且喷嘴以基本上相等的间隔布置。在这种情况下，红 色喷嘴410R和绿色喷嘴410G之间的间隔Yl与绿色喷嘴410G和蓝色喷嘴 41OB之间的间隔Y2可以相等。头单元700在利用传送单元300沿着"x"方向和"y"方向移动的同时 通过喷嘴410R、 410G和410B喷射墨水溶液5。在这种情况下，因为头单元 700的尺寸与喷嘴410R、410G和410B的数量受到限制，所以每个滤色器230 不是通过单次的扫描来形成。因此，可通过重复地传送头单元700在基底210 的整个区域上形成滤色器230。光i普4义800可测量滤色器230的色坐标。现在将参照图1和图4A描述光谱仪800。如图4A所示，光谱仪800包括光谱测量部分500和电路部分550。 光谱测量部分500包括传感部分510;光源部分520本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨印刷设备，包括：台，用于容纳基底；喷墨头，将用于滤色器的墨水溶液喷射到所述基底上；色坐标测量单元，与所述喷墨头间隔开，用于测量所述滤色器的色坐标。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜仑昊，金炳住，沈怡燮，李侊昊，柳在俊，金璋燮，权成圭，郭昌训，金时经，尚泉源，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，应用材料有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]