一种可切换方向的真空加热探针台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可切换方向的真空加热探针台装置，包括真空腔室、位于真空腔室内部的样品台、位于真空腔室上的管道以及第一通孔和第三通孔；所述样品台为可旋转样品台，用于固定样品；所述管道为真空管道，用于抽出真空腔室空气；所述第一通孔和第三通孔位于真空腔室任意位置，第一通孔用于激光通过，第三通孔用于连接电线通过；本实用新型专利技术通过真空腔体和真空管道的配合，能够实现在真空环境下测试场效应晶体管的性能；通过气泵，能够使样品在测试过程中能水平垂直翻转；通过若干第一通孔，可以使激光进入真空腔室，能够使样品在多种光路下进行测试；通过加热盘，可以使样品在不同的温度下进行测试，使测试结果更加丰富与精准。

【技术实现步骤摘要】
一种可切换方向的真空加热探针台装置
本技术涉及探针台领域，尤其是一种可切换方向的真空加热探针台装置。
技术介绍
随着信息时代的来临，半导体材料使用的也是越来越普遍了，半导体芯片的研发生产中需要对芯片的参数进行各种测量，其中核心测试设备之一就是探针台；探针台能够测试样品的电压、电阻、载流子迁移率。在现有的探针台中，大部分探针台不能对产品进行加热，无法测试产品在高温状态下的情况，部分探针台没有箱体结构，不能在真空环境下对产品进行监测，容易产生误差，还有部分探针台不能进行旋转，不能同时在多种类型的光源下进行测试。
技术实现思路
本技术的目的在于：针对上述存在的问题，提供一种可切换方向的真空加热探针台装置；本技术解决了探针台不能在真空环境下测试的问题；解决了探针台不能加热的问题；还解决了探针台不能旋转并在多种光源下测试的问题。本技术采用的技术方案如下：一种可切换方向的真空加热探针台装置，包括真空腔室、位于真空腔室内部的样品台、位于真空腔室上的管道以及第一通孔和第三通孔；所述样品台为可旋转样品台，用于固定样品；所述管道为真本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，包括真空腔室(1)、位于真空腔室(1)内部的样品台(2)、位于真空腔室(1)上的管道以及第一通孔(4)和第三通孔(7)；所述样品台(2)为可旋转样品台(2)，用于固定样品；所述管道为真空管道(3)，用于抽出真空腔室(1)空气；所述第一通孔(4)和第三通孔(7)位于真空腔室(1)任意位置，第一通孔(4)用于激光通过，第三通孔(7)用于连接电线通过。/n

【技术特征摘要】
1.一种可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，包括真空腔室(1)、位于真空腔室(1)内部的样品台(2)、位于真空腔室(1)上的管道以及第一通孔(4)和第三通孔(7)；所述样品台(2)为可旋转样品台(2)，用于固定样品；所述管道为真空管道(3)，用于抽出真空腔室(1)空气；所述第一通孔(4)和第三通孔(7)位于真空腔室(1)任意位置，第一通孔(4)用于激光通过，第三通孔(7)用于连接电线通过。


2.如权利要求1所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述样品台(2)包括气泵(21)和加热盘(22)；所述加热盘(22)为真空吸盘，加热盘(22)与外界气泵固定连接。


3.如权利要求2所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述气泵包括旋转盘(211)和气缸(212)，旋转盘(211)分别与气缸(212)和加热盘固定连接；所述气缸(212)上还设置有气孔(213)，用于控制旋转盘(211)运动。


4.如权利要求2所述的可切换方向的真空加热探针台装置，其特征在于，所述加热盘(22)为圆形，加热盘(22)中心处设有第二通孔(5)，用于真空导管通过。

<...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱锋，黄涛，吕文霞，褚景豫，张婉，刘子睿，田一，胡涛，丁家芬，
申请(专利权)人：云南大学，
类型：新型
国别省市：云南;53