液状体配置方法、器件的制造方法、液状体喷出装置制造方法及图纸

一种液状体喷出装置，包括：喷头，其通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体；喷出量测量部件，其供给与规定条件有关的所述电信号，喷出所述液状体，进行其喷出量的测量；第一温度测量部件，其在测量所述喷出量时，对所述喷头周围的第一温度进行测量；配置控制部件，其通过从所述喷嘴喷出所述液状体，向喷出对象物配置所述液状体；第二温度测量部件，其在配置所述液状体时，对所述喷头周围的第二温度进行测量；和电信号控制部件，其基于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度，对配置所述液状体时供给的所述电信号的条件进行控制。由此，提供一种能维持稳定的喷出量的液状体喷出装置及液状体配置方法、利用了该喷出方法的器件的制造方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液状体喷出装置及其液状体配置方法、利用了该方法的器 件的制造方法。
技术介绍
近年，提出了一种从微小喷嘴向基板喷出包含功能性材料的液状体， 使基板上配置的液状体固化而形成薄膜的方法。作为该薄膜的代表例，可 列举滤色器或发光层、金属布线等。在这种方法中，为了形成优质薄膜，要求稳定地维持所喷出的液状体 的量(以下称为喷出量)。这是由于因喷出历程所引起的硬件要素的劣化、 或液状体的制造偏差等，喷出量会发生变动。因此，提出了一种包括喷出 量的测量部件并基于其测量结果使喷出所涉及的驱动条件适当化的液状 体喷出装置(例如，专利文献l)。但是，为了使喷出量稳定化，喷出所涉及的液状体的温度也成为重要 的影响因素。这是由于液状体的粘度因温度而变动，结果也会对喷出量产 生影响。并且，在测量喷出量时和进行实际描绘时，因与装置内的热源的 位置关系而会对液状体的温度稍微产生偏差，由此，因该影响而难以高精 度进行驱动条件的适当化。专利文献1:特开2004—209429号公报
技术实现思路
本专利技术为解决上述课题而实现，目的在于提供一种能维持稳定的喷出 量的液状体喷出装置及液状体配置方法、利用了该喷出方法的器件的制造 方法。本专利技术的液状体配置方法，利用通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴 喷出液状体的喷头，对喷出对象物进行该液状体的配置，该液状体配置方法包括A步骤，供给与规定条件有关的所述电信号，测量喷出量；B步 骤，对测量所述喷出量时所述喷头的周围的第一温度进行测量；C步骤， 在配置所述液状体时，测量所述喷头的周围的第二温度；和D步骤，以基 于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度而确定的条件生成所述电信 号，供给生成的该电信号，进行所述液状体的配置。在该专利技术的液状体配置方法中，基于预先测量的喷出量，对液状体的 配置所涉及的电信号的条件进行适当化。此时，由于参照测量喷出量时的 第一温度和配置液状体时的第二温度，因此，可适宜地排除测量喷出量时 和配置液状体时的喷头周围的温度差的影响，从而可适宜地使电信号的条 件适当化。还有，在所述液状体配置方法中，优选所述电信号的条件是电压成分。再有，在所述液状体配置方法中，优选在所述喷头的所述喷嘴的形成 面的周围或所述液状体的导入部的周围、或者在所述喷头的所述喷嘴的形 成面的周围以及所述液状体的导入部的周围这两处，进行所述第一温度以 及所述第二温度的测量。而且，在所述液状体配置方法中，优选将所述C步骤以及所述D步 骤对一个所述喷出对象物至少进行一次以上。并且，在所述液状体配置方法中，在利用多个所述喷头的技术方案l 4的任一方案所述的液状体配置方法中，优选对所述多个喷头的一部分或 每一个进行所述第一温度以及所述第二温度的测量。本专利技术的液状体配置方法，利用通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴 喷出液状体的喷头，对喷出对象物进行该液状体的配置，该液状体配置方 法包括G步骤，供给与规定条件有关的所述电信号，在进行^f述液状体 的配置的第一区域测量第一预备喷出量，在与所述第一区域分离的第二区 域测量第二预备喷出量；H步骤，在配置所述液状体时，在第二区域，供 给与规定条件有关的所述电信号来测量喷出量，和I步骤，以基于所述第 一预备喷出量、所述第二预备喷出量、由所述H步骤测量的喷出量而确定 的条件生成所述电信号，供给生成的该电信号，进行所述液状体的配置。本专利技术的器件的制造方法包括利用所述液状体配置方法向基板配置 所述液状体并使所配置的该液状体固化而形成膜的步骤，而且，将该膜作 为构成要素。本专利技术的液状体喷出装置，包括喷头，其通过向驱动部件供给电信 号而从喷嘴喷出液状体；喷出量测量部件，其供给与规定条件有关的所述 电信号，喷出所述液状体，进行其喷出量的测量；第一温度测量部件，其 在测量所述喷出量时，对所述喷头的周围的第一温度进行测量；配置控制 部件，其通过从所述喷嘴喷出所述液状体，向喷出对象物配置所述液状体; 第二温度测量部件，其在配置所述液状体时，对所述喷头的周围的第二温 度进行测量；和电信号控制部件，其基于所述喷出量、所述第一温度、所 述第二温度，对配置所述液状体时供给的所述电信号的条件进行控制。附图说明图1是表示液状体喷出装置的主要部分构成的立体图2是表示喷头单元中的喷头的配置构成的俯视图3是表示液状体喷出装置的电气构成的框图4是表示驱动信号的一例的图5是表示液状体装置的处理流程的流程图6是表示第二实施方式中的液状体配置的处理流程的流程图； 图7是表示液晶显示装置的概略结构的分解立体图。 图中IO —喷头单元；30 —喷头；31 —喷嘴；39 —热敏电阻；42 —压 电元件；200 —液状体喷出装置；207 —维护单元；208 —重量测量装置； 209—台架；210 —描绘区域；211—重量测量区域；219 —扫描机构部；220一控制部；221 —驱动电路基板；222 —驱动信号生成电路；500—液晶显 示装置。具体实施例方式下面，基于附图，对本专利技术的优选的实施方式进行详细说明。 此外，以下描述的实施方式是本专利技术的优选的具体例，因此在技术上 添加了优选的各种限定，但只要在以下的说明中未特别记载限定本专利技术的 意思，则本专利技术的范围并不限定于这些方式。还有，在以下的说明中参照 的中，为了便于图示，有时使部件或部分的纵横的比例尺与实际不同。(液状体喷出装置的机械构成)下面，参照图1、图2，对本专利技术的液状体配置方法中使用的液状体 喷出装置的机械构成进行说明。图1是表示液状体喷出装置的主要部分构成的立体图。图2是表示喷 头单元中的喷头的配置构成的俯视图。图1所示的液状体喷出装置200包括直线式设置的一对导轨201、 通过在导轨201的内部设置的气动滑板(air slider)和线性电动机(未图 示)而沿主扫描方向移动的主扫描移动台203。还包括在导轨201的上 方按照与导轨201垂直的方式直线式设置的一对导轨202、通过在导轨202 的内部设置的气动滑板和线性电动机(未图示)而沿副扫描方向移动的副 扫描移动台204。在主扫描移动台203上，设置有用于载置成为喷出对象物的基板P的 载物台205。载物台205采用可对基板P进行吸附固定的构成，而且，可 通过未图示的旋转机构使基板P内的基准轴在主扫描方向、副扫描方向上 准确对位。副扫描移动台204包括悬挂安装的台架(stage) 209。而且，台架209 包括配置有多个喷头30 (参照图2)的喷头单元IO、向喷头30供给液 状体用的液状体供给机构(未图示)、用于生成向喷头30供给的电信号 (以下称为驱动信号)的驱动电路基板221 (参照图3)。如图2所示，喷头30包括喷出组件32、具有与电缆的连接器33 的电路基板34、具有液状体的导入部35的壳体组件36。喷出组件32的 一面成为配置有多个喷嘴31的喷嘴形成面37，在成为与喷嘴形成面37 垂直的面的侧面部38上安装有热敏电阻39。热敏电阻39构成测量喷嘴形 成面37周围的温度的本专利技术的第一温度测量部件、第二温度测量部件。 此外，热敏电阻39的安装位置可适当变更，例如，可安装在导入部35的 附近。在喷嘴形成面37上，喷嘴31构成两个喷嘴组41A、 41B,各喷嘴组 41A、 41B的喷嘴31分别构成沿规定的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液状体配置方法，利用通过向驱动部件供给电信号而从喷嘴喷出液状体的喷头，对喷出对象物进行该液状体的配置，该液状体配置方法包括：Ａ步骤，供给与规定条件有关的所述电信号，测量喷出量；Ｂ步骤，对测量所述喷出量时所述喷头的 周围的第一温度进行测量；Ｃ步骤，在配置所述液状体时，测量所述喷头周围的第二温度；和Ｄ步骤，以基于所述喷出量、所述第一温度、所述第二温度而确定的条件生成所述电信号，供给生成的该电信号，进行所述液状体的配置。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：蛭间敬，小林博文，伊藤达也，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]