微细图案观察装置及使用该装置的微细图案修正装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可获得没有不均的观察图像的微细图案修正装置。在该微细图案修正装置中，将玻璃定板（９）分割成以分别可沿水平方向移动的形态进行设置的两个副玻璃定板（１０、１１）。在观察位置（Ｐ）的下方存在副玻璃定板（１１）的升降销孔（２２）时，使副玻璃定板（１１）移动而使该升降销孔（２２）从观察位置（Ｐ）离开。因此，可消除由升降销孔（２２）等引起的观察图像的不均。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种利用透射光来观察微细图案的微细图案观察装置及使用该装置的微细图案修正装置，尤其涉及用于观察在LCD (液晶显示器)用滤色 片的制造工序中产生的缺陷的微细图案观察装置及使用该装置的微细图案修 正装置。
技术介绍
近年来，随着LCD (液晶显示器)的大型化、高清晰化，像素数目也在增 大，很难没有缺陷地制造LCD，缺陷的发生概率也在增加。在这种状况下，为 了提高成品率，对在LCD的滤色片的制造工序中产生的缺陷进行修正的微细图 案修正装置在生产线中变得不可或缺。图11 (a) 图11 (c)是表示在LCD的滤色片的制造工序中产生的缺陷 的图。在图11 (a) 图11 (c)中，滤色片包括透明基板；在其表面上形 成的称作黑底50的格子状的图案；以及多组R (红色)像素51、 G (绿色)像 素52和B (蓝色)像素53。在滤色片的制造工序中会产生如图11 (a)所示的 像素和黑底50掉色的白缺陷54、图11 (b)所示的颜色与相邻像素相混或黑 底50溢出到像素中的黑缺陷55以及图ll (c)所示的在像素上附着有异物的 异物缺陷56等。作为修正白缺陷54的方法，有一种利用油墨涂敷机构使颜色与存在白缺 陷54的像素相同的油墨附着在涂敷针的前端部、将附着在涂敷针前端部的油 墨涂敷到白缺陷54上来进行修正的方法(例如参照专利文献l)。此外，作为 修正黑缺陷55和异物缺陷56的方法，有一种在对缺陷部分进行激光切割而形 成矩形的白缺陷54后利用油墨涂敷机构将附着在涂敷针前端部的油墨涂敷到 该白缺陷54上来进行修正的方法(例如参照专利文献2)。在对LCD的滤色片的白缺陷54进行修正时，需要观察白缺陷54发生在滤 色片的哪个颜色部分。此外，在白缺陷54上涂敷修正油墨而进行了修正后， 为了确认修正状态，也需要观察该部分。在观察滤色片的颜色时，由于在反射 照明光观察中无法观察滤色片的颜色状态，因此需要进行透射照明光观察。以 往，将形成有滤色片的被修正对象玻璃基板装设在玻璃定板上，从玻璃定板的 下方照射透射照明光，从玻璃定板的上方确认滤色片的颜色状态。另外，最近的液晶基板的大型化很显著，对于制造工序中的玻璃基板尺寸， 目前的制造线中的玻璃基板尺寸(第五代)是1000X1500ram，下一代的第六代 将是1500X1800ram，第七代将是1700X 2000mm。随着这种玻璃基板的大型化， 微细图案修正装置也必须大型化，但由于无尘室内的占有面积的关系而不允许 单纯地加大装置尺寸，因此需要改变装置构成来尽量减小装置尺寸。与此相应， 玻璃基板静止、激光装置和装设有观察光学系统的头部进行移动的龙门方式的 装置成为了主流。在龙门方式中，为了实现透射照明光观察，需要使配置在玻璃定板下方的 透射照明光源与配置在玻璃定板上方的观察光学系统同步移动的机构。因此， 无法在玻璃定板的下方配置支撑部件，只能在周边部支撑玻璃定板，因此导致 玻璃定板的挠曲、玻璃定板的破损的可能性变大。为此，提出了在玻璃定板的背面侧形成反射膜、从玻璃定板的表面侧射出 照明光、用反射膜反射的光来进行透射照明光观察的方法(例如参照专利文献 3)。在该方法中，由于玻璃定板无需使照明光透射，因此可以用金属制支架 来支撑玻璃定板的整个背面，玻璃定板挠曲或破损的可能性变小。专利文献l:日本专利特开平9-236933号公报专利文献2:日本专利特幵平9-262520号公报专利文献3:日本专利特开2006-38825号公报另外，在这种微细图案修正装置中，以节省人员、修正的高效化为目的而 要求修正的自动化，需要识别图像处理引起的缺陷、观察修正后的状态。但是，在以往的透射照明观察方法中，有时在观察图像中会产生不均。艮P， 在玻璃定板上形成有多个升降销孔，该多个升降销孔用于供在修正装置从机械手部接纳被修正对象玻璃基板时使用的多个升降销穿过。此外，还形成有用于 将被修正对象玻璃基板吸入固定在玻璃定板上的多个槽和孔。在这些孔和槽的 影响下，在图像中会因观察位置的不同而产生少许不均。这种不均在操作人员 观看监视器来判断有无缺陷等时为允许的程度，但在利用图像处理来判断时超 出了允许程度，存在会导致误动作的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的主要目的在于提供一种可获得没有不均的观察图像的微细 图案观察装置及使用该装置的微细图案修正装置。本专利技术的微细图案观察装置是对在透明基板上形成的、至少能部分地透射 光的微细图案进行观察的微细图案观察装置，其特征在于，包括用于观察微 细图案的观察光学系统、向透明基板射出照明光的光源、以及水平地支撑透明 基板的透明定板，透明定板被分割成以分别可沿水平方向移动的形态进行设置 的多个副透明定板。最好是在各副透明定板上设置有多个孔，具有使多个副透明定板中被选择 的副透明定板沿水平方向移动、使该副透明定板的孔从观察位置离开的驱动装 置。另外，最好是驱动装置使多个副透明定板中被选择的副透明定板相对其它 副透明定板相对地下降，在该副透明定板与透明基板之间空开间隙。另外，最好是具有通过多个副透明定板中未被选择的至少一个副透明定板 的多个孔来吸附透明基板、将透明基板固定在该副透明定板上的真空吸附装置。另外，最好是具有通过多个副透明定板中被选择的副透明定板的多个孔向 透明基板喷射气体、在该副透明定板与透明基板之间空开间隙的气体喷射装 置。另外，最好是具有设在各副透明定板的背面侧、使从光源射出的照明光反 射而照射到微细图案上的反射部件，光源从副透明定板的表面侧射出照明光， 观察光学系统从副透明定板的表面侧进行微细图案的透射照明光观察。 另外，最好是光源从副透明定板的一侧射出照明光，观察光学系统从副透 明定板的另 一侧进行微细图案的透射照明光观察。另外，本专利技术的微细图案修正装置，其特征在于，包括所述微细图案观察 装置以及在微细图案的缺陷部涂敷修正液的涂敷装置。在本专利技术的微细图案观察装置及微细图案修正装置中，透明定板被分割成 多个副透明定板，各副透明定板设置成可沿水平方向移动。因此，在观察位置 的下方具有副透明定板的升降销孔等时，通过使该副透明定板，可使升降销孔等从观察位置离开。由此，可获得没有不均的观察图像。附图说明图1是表示本专利技术一实施形态的微细图案修正装置的整体构成的立体图。图2是表示对图1所示的被修正对象玻璃基板进行透射照明光观察的方法的图。图3是表示在图2所示的物镜的正下方存在槽和小孔时的图。 图4是表示在图2所示的物镜的正下方存在升降销孔时的图。 图5 (a)、图5 (b)是表示图l所示的副玻璃定板的使用方法的图。 图6 (a) 图6 (e)是例示图5 (a)、图5 (b)所示的副玻璃定板的驱 动方法的图。图7是例示在图6 (a) 图6 (e)所示的副玻璃定板上吸附被修正对象玻璃基板的方法的图。图8是例示使被修正对象玻璃基板从图6 (a) 图6 (e)所示的副玻璃定板浮起的方法的图。图9 (a)、图9 (b)是表示上述实施形态的比较例的图。 图10是表示上述实施形态的变形例的图。图ll (a) 图11 (c)是表示在LCD的滤色片上产生的缺陷的图。 (符号说明) 1激光装置 2观察光学系统3环状照明器 4油墨涂敷机构5 Z轴工作台6 X轴工作台7、 16、 17 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微细图案观察装置，对在透明基板上形成的、至少能部分地透射光的微细图案进行观察，其特征在于，包括：用于观察所述微细图案的观察光学系统、向所述透明基板射出照明光的光源、以及水平地支撑所述透明基板的透明定板，所述透明定板被分割成以分别可沿水平方向移动的形态进行设置的多个副透明定板。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山中昭浩，
申请(专利权)人：NTN株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]