感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法技术

一种感光性转印材料以及使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法，上述感光性转印材料具有临时支承体及感光性树脂层，上述感光性树脂层包含满足下述a1及a2中的至少一个的聚合物成分以及光产酸剂，上述聚合物成分的玻璃化转变温度为90℃以下。a1：包含聚合物的聚合物成分，该聚合物具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元及包含pKaH为3以上的基团的结构单元；a2：聚合物成分，其包含：具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元的聚合物以及具有包含pKaH为3以上的基团的结构单元的聚合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法
本专利技术涉及一种感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法。
技术介绍
在静电电容型输入装置等具备触摸面板的显示装置(有机电致发光(EL)显示装置及液晶显示装置等)中，在触摸面板内部设置有相当于视认部的传感器的电极图案、周边布线部分以及引出布线部分的布线等的导电层图案。通常在已图案化的层的形成中，用于得到所需的图案形状的工序数量少，因此广泛使用对使用感光性转印材料在任意基板上设置的感光性树脂组合物的层，经由具有所期望的图案的掩模进行曝光后显影的方法。并且，作为以往的感光性树脂组合物，已知有专利文献1或2中所记载的感光性树脂组合物。作为以往的方法，例如在专利文献1中公开有一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物含有：(A)包含满足下述(1)及(2)中的至少一个的聚合物的聚合物成分，其中，(1)具有(a-1)包含酸基被酸分解性基团保护的基团的结构单元及(a-2)包含交联性基的结构单元的聚合物，(2)具有(a-1)包含酸基被酸分解性基团保护的基团的结构单元的聚合物及具有(a-2)包含交联性基的结构单元的聚合物；(B)光产酸剂；(C)溶剂以及(S)具有由通式(1)表示的结构单元及由通式(2)表示的结构单元的聚合物，上述聚合物(S)中，上述聚合物(S)的总重复单元中的由通式(2)表示的结构单元的摩尔比例为上述聚合物(S)的总重复单元中的由通式(1)表示的结构单元的摩尔比例的0.3～5倍。[化学式1]式(1)及(2)中，R10及R11分别独立地表示氢原子或甲基，L1及L2分别独立地表示单键或2价的连接基团，R1～R4分别独立地表示碳原子数1～12的烷基或碳原子数1～12的烷氧基，R5表示氢原子、碳原子数1～12的烷基或碳原子数1～12的烷氧基。并且，在专利文献2中公开有一种抗蚀剂材料，其特征为至少包含由下述通式(1)表示的高分子化合物，该高分子化合物具有包含被酸不稳定基团取代的羧基的重复单元a、包含锍盐的重复单元b1及b2中的任一个以上、包含氨基的重复单元c。[化学式2](式中，R1、R3、R8、R12分别独立地表示氢原子、甲基、氟原子或三氟甲基。R2表示酸不稳定基团。X为单键、亚苯基或亚萘基或酯基、具有内酯环的碳原子数1～12的连接基团。R4为碳原子数1～10的亚烷基或碳原子数6～10的亚芳基，也可以具有氟原子、三氟甲基、酯基、醚基、内酯环。R5、R6、R7、R9、R10、R11为相同或不同的碳原子数1～12的直链状、支链状或环状的烷基，可以包含羰基、酯基或醚基或表示碳原子数6～12的芳基、碳原子数7～20的芳烷基或噻吩基，作为取代基也可以具有碳原子数1～10的烷基、烷氧基、烷氧羰基、碳酸酯基及卤素原子、氰基、羟基、羧基。Y为单键、亚甲基、氟原子或被三氟甲基取代的亚芳基或-C(＝O)-O-R17-。R17为氟原子或被三氟甲基取代的亚芳基。R13为单键或碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的亚烷基，R14、R15分别独立地为氢原子、碳原子数1～20直链状、支链状或环状的烷基、叔丁氧基羰基或叔烯丙氧基羰基，也可以具有醚键、硫醚键、羟基、甲酰基、乙酰氧基、氰基、芳香族基，R13与R14、R13与R15、R14与R15分别可以键合而形成环。R16也可以与氢原子或R15键合而形成环。Z为单键、亚甲基、亚芳基、-O-、-C(＝O)-O-或-C(＝O)-O-R18-C(＝O)-O-。R18为单键或碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的亚烷基。0＜a＜1.0、0≤b1≤0.3、0≤b2≤0.3、0＜b1+b2≤0.3、0＜c≤0.5的范围。)另外，作为以往的感光性转印材料，已知有在专利文献3中所记载的感光性转印材料。专利文献3中公开有一种感光性转印材料，该感光性转印材料具有：临时支承体；正型感光性树脂层，包括包含由下述通式A表示的结构单元及具有酸基的结构单元，并且玻璃化转变温度为90℃以下的聚合物；以及光产酸剂。[化学式3]通式A中，R31及R32分别独立地表示氢原子、烷基或芳基，至少R31及R32中的任一个为烷基或芳基，R33表示烷基或芳基，R31或R32可以与R33连接而形成环状醚。R34表示氢原子或甲基，X0表示单键或亚芳基。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-187634号公报专利文献2：日本特开2011-039266号公报专利文献3：日本特开2017-156735号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题本专利技术的一实施方式欲要解决的课题在于提供一种层叠适应性及解析性优异的感光性转印材料。并且，本专利技术的另一实施方式欲要解决的课题在于提供一种使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法。用于解决技术课题的手段用于解决上述课题的方法中包含以下的方式。＜1＞一种感光性转印材料，其具有临时支承体及感光性树脂层，上述感光性树脂层包含满足下述a1及a2中的至少一个的聚合物成分以及光产酸剂，上述聚合物成分的玻璃化转变温度为90℃以下。a1：包含聚合物的聚合物成分，该聚合物具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元及包含pKaH为3以上的基团的结构单元；a2：聚合物成分，其包含：具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元的聚合物以及具有包含pKaH为3以上的基团的结构单元的聚合物。＜2＞根据＜1＞所述的感光性转印材料，其中，上述感光性树脂层中所包含的所有的pKaH为3以上的基团中，上述聚合物成分中所包含的pKaH为3以上的基团的比例为30摩尔％以上。＜3＞根据＜1＞或＜2＞所述的感光性转印材料，其中，上述感光性树脂层中所包含的所有的pKaH为3以上的基团中，上述聚合物成分中所包含的pKaH为3以上的基团的比例为50摩尔％以上。＜4＞根据＜1＞至＜3＞中任一项所述的感光性转印材料，其中，上述聚合物成分中的聚合物还具有除了包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元以及包含pKaH为3以上的基团的结构单元以外的结构单元。＜5＞根据＜1＞至＜4＞中任一项所述的感光性转印材料，其中，上述包含pKaH为3以上的基团的结构单元为由下述式I或式II表示的结构单元。[化学式4]式I及式II中，R1表示氢原子或甲基，Z表示单键、亚甲基、亚芳基、-O-、-C(＝O)-NH-或-C(＝O)-O-，R2表示单键或任选地具有选自由醚键、氨基甲酸酯键、脲键、酰胺键、酯键及碳酸酯键组成的组中的至少一种基团的碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的亚烷基，R3及R4分别独立地表示氢原子或任选地具有选自由醚键、硫醚键、羟基、甲酰基、乙酰氧基、氰基、氨基甲酸酯键、脲键、酰胺键、酯键、碳酸酯键及芳香族基组成的组中的至少一种基团的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状的烷基，任选本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性转印材料，其具有：/n临时支承体；及/n感光性树脂层，/n所述感光性树脂层包含满足下述a1及a2中的至少一个的聚合物成分以及光产酸剂，/n所述聚合物成分的玻璃化转变温度为90℃以下，/na1：包含聚合物的聚合物成分，该聚合物具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元及包含pKaH为3以上的基团的结构单元；/na2：聚合物成分，其包含：具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元的聚合物以及具有包含pKaH为3以上的基团的结构单元的聚合物。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180522 JP 2018-0983311.一种感光性转印材料，其具有：
临时支承体；及
感光性树脂层，
所述感光性树脂层包含满足下述a1及a2中的至少一个的聚合物成分以及光产酸剂，
所述聚合物成分的玻璃化转变温度为90℃以下，
a1：包含聚合物的聚合物成分，该聚合物具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元及包含pKaH为3以上的基团的结构单元；
a2：聚合物成分，其包含：具有包含被酸分解性基团保护的酸基的结构单元的聚合物以及具有包含pKaH为3以上的基团的结构单元的聚合物。


2.根据权利要求1所述的感光性转印材料，
所述感光性树脂层中所包含的所有pKaH为3以上的基团中，所述聚合物成分所包含的pKaH为3以上的基团的比例为30摩尔％以上。


3.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料，其中，
所述感光性树脂层中所包含的所有pKaH为3以上的基团中，所述聚合物成分所包含的pKaH为3以上的基团的比例为50摩尔％以上。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性转印材料，其中，
所述聚合物成分中的聚合物还具有除了包含被酸分解性基保护的酸基的结构单元以及包含pKaH为3以上的基团的结构单元以外的结构单元。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性转印材料，其中，
所述包含pKaH为3以上的基团的结构单元是由下述式I或式II表示的结构单元，



式I及式II中，R1表示氢原子或甲基，Z表示单键、亚甲基、亚芳基、-O-、-C(＝O)-NH-或-C(＝O)-O-，R2表示单键或任选地具有选自由醚键、氨基甲酸酯键、脲键、酰胺键、酯键及碳酸酯键组成的组中的至少一种基团的碳原子数1～10的直链状、支链状或环状的亚烷基，R3及R4分别独立地表示氢原子或任选地具有选自由醚键、硫醚键、羟基、甲酰基、乙酰氧基、氰基、氨基甲酸酯键、脲键、酰胺键、酯键、碳酸酯键及芳香族基...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田知树，两角一真，山田悟，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP