外观检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能抑制晕光产生且检查处理速度优异的外观检查装置。所述外观检查装置包括：搬送受检物的搬送部；相机，拍摄由上述搬送部搬送的上述受检物的表面中的、每个局部的拍摄区域；朝向上述区域照射照明光的多个照明器；配置在上述照明器的照射方向上的一个或多个扩散板；以及对上述相机取得的图像数据进行处理的图像处理部，上述一个或多个扩散板与上述多个照明器各自的照射方向分别垂直。

【技术实现步骤摘要】
外观检查装置
本专利技术涉及外观检查装置。
技术介绍
在生产现场等采用外观检查装置来确认电路基板的焊锡的状态和玻璃表面有无瑕疵等。作为外观检查装置，例如向基板等受检物照射光、用相机拍摄受检物表面取得图像，通过确认该图像来判断受检物的表面状态的好坏，这样的装置已被公众所知。当受检物表面的反射率较大等时，相机取得的图像会产生晕光，从而使外观检查变得困难。作为抑制晕光的检查装置，日本专利公开公报特开2001-208702号公开有一种缺陷检查装置，其包括：光源，针对检查对象物的表面上的规定的区域，以规定的角度照射检查光；光接收单元，设置在偏离来自所述区域的正反射光的光轴的位置；以及遮光单元，设置在连接所述光源的虚像与所述光接收单元的线段上且处于所述检查对象物与光接收单元之间，遮蔽从光源照射到光接收单元而导致晕光的光。按照上述缺陷检查装置，由于光接收单元不接收被搬送的检查对象物的表面正反射的检查光，而仅接收散射和衍射的扩散反射光，因此能够抑制晕光的产生。可是，当为了提高检查处理速度而加大检查对象物的搬送速度时，或者因检查反射率不固定的检查对象物的表面等理由而加大检查光的照度时，则有可能不能够抑制晕光的产生。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供在抑制产生晕光的同时、检查处理速度优异的外观检查装置。为解决上述问题，本专利技术的外观检查装置包括：搬送受检物的搬送部；相机，拍摄由所述搬送部搬送的所述受检物的表面中的、每个局部的拍摄区域；多个照明器，朝向所述拍摄区域照射照明光；一个或多个扩散板，配置在所述照明器的照射方向上；以及图像处理部，处理所述相机取得的图像数据，所述一个或多个扩散板与所述多个照明器各自的照射方向分别垂直。按照上述外观检查装置，由于在取得上述搬送部搬送的受检物的图像数据的同时，图像处理部对上述图像进行处理、生成受检物的表面整体的图像，并且进行该整体图像有无异常部位的判断，所以检查处理速度优异，可以高效进行外观检查。由于上述图像数据是由相机拍摄上述受检物的表面的每个局部的拍摄区域所得，所以和一次拍摄上述表面的整体相比，加大搬送速度，提高检查处理速度能够比较容易。由于该外观检查装置具有多个照明器，因此即使加大受检物的搬送速度，也能够提供用于使相机取得图像数据的足够照度，从而可以进一步提高检查处理速度。而且，由于扩散板与上述多个照明器各自的照射方向分别垂直，所以能够使照明光高效扩散，抑制晕光，从而可以进行高精度的外观检查。另外，上述扩散板与上述照明器的照射方向“垂直”是指，位于上述照明器的照射方向上的、上述扩散板的局部的法线方向和上述照明方向一致，这里“上述法线方向和上述照射方向一致”不仅是完全一致的情况，在能够抑制照明光晕光的扩散条件下、也包含上述法线方向和上述照射方向不完全一致的情况，例如，也包含相对于上述法线方向、上述照射方向具有5°以内的倾斜的情况。在所述外观检查装置中，也能针对多个照明器分别配置扩散板，优选上述一个扩散板与上述多个照明器各自的照射方向分别垂直。这样，能够通过上述一个扩散板使上述多个照明器的照明光均匀扩散，和针对多个照明器分别配置扩散板相比，可以利用简易的结构实现装置的小型化等。优选上述一个扩散板为部分圆筒状，所述扩散板的横截面为圆弧状。这样，可以通过简易的结构使上述一个扩散板中的照明光的入射面和上述多个照明器各自的照射方向分别垂直。优选上述相机的拍摄方向和上述拍摄区域垂直，上述多个照明器以上述相机的拍摄方向为基准对称配置。这样，能够使相机从垂直方向上大致俯视准确地拍摄上述拍摄区域，并且可以由以上述相机的拍摄方向为基准对称配置的、上述多个照明器对拍摄区域进行准确地照明。另外，上述相机的拍摄方向和上述拍摄区域“垂直”是指，上述拍摄区域的法线方向与上述拍摄方向一致，这里“上述法线方向和上述拍摄方向一致”不仅是完全一致的情况，在能够大致俯视拍摄的条件下、也包含上述法线方向与上述拍摄方向不完全一致的情况，例如，包含相对于上述法线方向、上述拍摄方向具有5°以内的倾斜的情况。优选上述多个照明器各自的照射方向在上述拍摄区域上分别交叉。这样，可以在上述拍摄区域中容易地得到均质且足够的照度。另外，“交叉”不仅是多个照明器各自的照明方向分别和上述拍摄区域中的受检物的表面交叉，在能得到均质且足够的照度的条件下、也包含在表面附近交叉的情况，根据不同的检查对象，例如也包含照射方向的交叉位置和拍摄区域中的受检物的表面分开1mm以内的情况。优选上述搬送部的搬送速度在70mm/秒以上。这样，外观检查的处理速提高，可成为处理能力优异的外观检查装置。优选上述相机的像素数在8000以上，分辨率在7.00μm/像素以下。这样，能够清晰地拍摄搬送速度相对较快的受检物的表面，从而可以容易地进行准确的外观检查。优选从取得上述受检物的表面的图像开始、至上述图像处理部对上述受检物的表面的全部区域处理检查结束，在8秒以下。这样，可成为外观检查的检查效率优异的外观检查装置。上述外观检查装置在抑制产生晕光、检查精度高的同时，检查处理速度优异。附图说明图1是表示本专利技术一个实施方式的外观检查装置的侧面示意图。图2是表示图1的外观检查装置所具备的扩散板的放大示意图。图3是图2的扩散板的立体示意图。图4是将受检物表面的整体图像的局部放大的放大图像。图5是将和图4不同的受检物表面的整体图像的局部放大的放大图像。附图标记说明1外观检查装置2受检物3相机4照明器5扩散板51通孔C拍摄方向(相机摄像面的中心轴)P照射方向(照明光的光束的中心轴)R半径X搬送方向W扩散板的长边的长度θ角度具体实施方式以下，根据附图具体说明本专利技术一个实施方式的外观检查装置。(外观检查装置)如图1所示，本专利技术一个方式的外观检查装置1主要包括：搬送受检物2的搬送部(未图示)；相机3，拍摄由上述搬送部搬送的、受检物2的表面中的每个局部拍摄区域；朝向上述区域照射照明光的多个照明器4；配置在照明器4的照射方向上的一或多个扩散板5；以及对相机3取得的图像数据进行处理的图像处理部(未图示)。受检物2没有特别限定，例如可以列举形成有多个芯片(电子元件)的图案的基板，在所述基板的表面丝网印刷Ag(银)、Ru(钌)或玻璃等糊剂的糊剂涂布基板、玻璃板、晶片、金属板等板状且表面为大体平面的受检物。另外，“受检物的表面”是受检物被相机拍摄的一侧的面，且不和搬送部接触一侧的面。(搬送部)搬送部搬送受检物2。图1中受检物2从纸面的左向右、沿箭头方向X搬送。搬送方法没有特别限定，可以采用带式输送机搬送、将受检物2放置在载物台上并利用线性电机等搬运所述载物台的方法等。搬送部搬送受检物2的速度没有特别限定，可以根据搬送方法、大小和重量等受检物2的特性来适当选择。作为上述搬送速度的下限值，例如为70mm/秒，优选140mm本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种外观检查装置，其特征在于包括：/n搬送受检物的搬送部；/n相机，拍摄由所述搬送部搬送的所述受检物的表面中的、每个局部的拍摄区域；/n多个照明器，朝向所述拍摄区域照射照明光；/n一个或多个扩散板，配置在所述照明器的照射方向上；以及/n图像处理部，处理所述相机取得的图像数据，/n所述一个或多个扩散板与所述多个照明器各自的照射方向分别垂直。/n

【技术特征摘要】
20190708 JP 2019-1269701.一种外观检查装置，其特征在于包括：
搬送受检物的搬送部；
相机，拍摄由所述搬送部搬送的所述受检物的表面中的、每个局部的拍摄区域；
多个照明器，朝向所述拍摄区域照射照明光；
一个或多个扩散板，配置在所述照明器的照射方向上；以及
图像处理部，处理所述相机取得的图像数据，
所述一个或多个扩散板与所述多个照明器各自的照射方向分别垂直。


2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于，所述一个扩散板与所述多个照明器各自的照射方向分别垂直。


3.根据权利要求2所述的外观检查装置，其特征在于，所述一个扩散板为部分圆筒状，所述扩散板的横截面为圆弧状。


4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛丰治，市村和宽，为则通洋，
申请(专利权)人：西进商事株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP