【技术实现步骤摘要】
基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置及检测方法
本专利技术涉及光学测量
,特别是涉及基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置及检测方法。
技术介绍
光学自由曲面对像差校正和控制光线方向有着更大的自由度,不仅能够简化光学系统,使其结构更加紧凑,而且具有更高的光学性能。对于光学自由曲面的检测来说,高轴向分辨率固然重要,因为它直接影响检测精度,但是无论是自由曲面,还是球面的测量,测量范围同样重要。目前,对于自由曲面的检测有很多接触式和非接触式的测量方法,对于高精度的光学表面,采用接触式测量容易划伤表面。非接触式测量又分为干涉法和扫描法,干涉法的测量精度高,但是对自由曲面来说,每测试一个曲面,就需要一个CGH或者零透镜,大大增加了检测的造价;扫描法有很多种,有干涉式的,也有彩色共焦法,还有差动共焦法等等。彩色共焦法采用复色光源,通过轴向色散获得波长和位移的映射关系,并结合共聚焦光路获得锐利信号和轴向层析能力,省去了传统激光共聚焦显微镜的轴向扫描过程。目前彩色共焦技术已经实现了商用化,德国PRECITEC公司推出了彩色共焦测量系统,采用卤素光源和多透镜光学系统聚焦,量程达到10mm,轴向分辨率14nm。该方法利用不同波长的光聚焦位置不同来测量表面形状,其优点是量程大,缺点是轴向分辨率不高,无法实现高精度检测。差动共焦法将探测器放在针孔前后距离相等的焦前、焦后两路探测器进行离焦探测,对采集到的光强电压信号进行差动处理,大大地改善了共焦显微技术的轴向分辨能力,其轴向分辨率可以实现纳米量级,但是其量程仅 ...
【技术保护点】
1.基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置,它包括:计算机(18),其特征是,它还包括:彩色光源(1)、A聚焦物镜(2)、照明小孔阵列板(3)、B聚焦物镜(4)、A分光棱镜(5)、彩色物镜(6)、待测曲面(7)、B分光棱镜(8)、C聚焦物镜(9)、A探测小孔阵列板(10)、A面阵彩色光电探测器(11)、D聚焦物镜(12)、B探测小孔阵列板(13)、B面阵彩色光电探测器(14),在所述的A探测小孔阵列板(10)后方设置A面阵彩色光电探测器(11),在所述的B探测小孔阵列板(13)后方设置B面阵彩色光电探测器(14),所述的A面阵彩色光电探测器(11)和B面阵彩色光电探测器(14)分别与计算机(18)电连接;/n所述的彩色光源(1)发出光的传播方向依次为:A聚焦物镜(2)、照明小孔阵列板(3)、B聚焦物镜(4)、A分光棱镜(5)、彩色物镜(6),照射在待测曲面(7)上;/n在所述的待测曲面(7)上反射的光传播方向依次为:彩色物镜(6)、A分光棱镜(5)、经B分光棱镜(8)透射、C聚焦物镜(9)、A探测小孔阵列板(10)、A面阵彩色光电探测器(11);/n在所述的待测曲面(7)上反射的光传播 ...
【技术特征摘要】
1.基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置,它包括:计算机(18),其特征是,它还包括:彩色光源(1)、A聚焦物镜(2)、照明小孔阵列板(3)、B聚焦物镜(4)、A分光棱镜(5)、彩色物镜(6)、待测曲面(7)、B分光棱镜(8)、C聚焦物镜(9)、A探测小孔阵列板(10)、A面阵彩色光电探测器(11)、D聚焦物镜(12)、B探测小孔阵列板(13)、B面阵彩色光电探测器(14),在所述的A探测小孔阵列板(10)后方设置A面阵彩色光电探测器(11),在所述的B探测小孔阵列板(13)后方设置B面阵彩色光电探测器(14),所述的A面阵彩色光电探测器(11)和B面阵彩色光电探测器(14)分别与计算机(18)电连接;
所述的彩色光源(1)发出光的传播方向依次为:A聚焦物镜(2)、照明小孔阵列板(3)、B聚焦物镜(4)、A分光棱镜(5)、彩色物镜(6),照射在待测曲面(7)上;
在所述的待测曲面(7)上反射的光传播方向依次为:彩色物镜(6)、A分光棱镜(5)、经B分光棱镜(8)透射、C聚焦物镜(9)、A探测小孔阵列板(10)、A面阵彩色光电探测器(11);
在所述的待测曲面(7)上反射的光传播方向依次为:彩色物镜(6)、A分光棱镜(5)、经B分光棱镜(8)反射、D聚焦物镜(12)、B探测小孔阵列板(13)、B面阵彩色光电探测器(14)。
2.根据权利要求1所述的基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置,其特征是,它还包括:B压电陶瓷(17),所述的B压电陶瓷(17)与待测曲面(7)固连。
3.基于差动彩色共焦技术的自由曲面检测方法,其特征是,它包括以下步骤:
1)搭建光学测量系统:
所述的彩色光源(1)发出光的传播方向依次为:A聚焦物镜(2)、照明小孔阵列板(3)、B聚焦物镜(4)、A分光棱镜(5)、彩色物镜(6),照射在标准平面(15)上,在所述的标准平面(15)背面固连A压电陶瓷(16);
所述标准平面(15)上反射的光传播方向依次为:彩色物镜(6)、A分光棱镜(5)、经B分光棱镜(8)透射、C聚焦物镜(9)、A探测小孔阵列板(10)、A面阵彩色光电探测器(11);
所述标准平面(15)上反射的光传播方向依次为:彩色物镜(6)、A分光棱镜(5)、经B分光棱镜(8)反射、D聚焦物镜(12)、B探测小孔阵列板(13)、B面阵彩色光电探测器(14);
所述的A面阵彩色光电探测器(11)和B面阵彩色光电探测器(14)分别与计算机(18)电连接;
2)打开所述的彩色光源(1),其发出的光经A聚焦物镜(2)后,照射至照明小孔阵列板(3),所述的照明小孔阵列板(3)将平行光分成若干光束,所述的若干光束经B聚焦物镜(4)、A分光棱镜(5)后,由彩色物镜(6)聚焦到标准平面(15)上;
聚焦在所述标准平面(15)上的光反射后,再次经过彩色物镜(6),经B分光棱镜...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。