一种等离子体蒸发镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种等离子体蒸发镀膜机，镀膜箱设置在冷却输送机构的路径上，冷却输送机构包括沿输送路径布置的输送槽、配套安装在输送槽中并沿输送槽延伸布置的行进机构，输送座配套设置在行进机构的上方并由行进机构带动沿输送槽行进，升降机构配套安装在镀膜箱的下方侧并与输送座嵌套卡接，升降机构带动输送座向上运动与镀膜箱的进出料口嵌套密封吻合；镀膜装置配套安装在镀膜箱的顶部，其中，镀膜伞固定安装在镀膜箱顶部并竖直向下布置，等离子蒸发镀膜机与放电箱连接，放电箱、蒸发箱均与混合箱相连通且混合箱通过连接管连通至镀膜箱。本发明专利技术适合于大规模批量加工镀件，其自动化程度高，能够有效避免带电粒子外排污染周围环境。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体蒸发镀膜机
本专利技术涉及物理气相沉积
，具体的说是一种等离子体蒸发镀膜机。
技术介绍
离子镀是一种在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离，并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法，其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀和多弧离子镀等。但是传统的等离子体蒸发镀膜机往往仅能满足单一镀件的镀膜处理，面对大批量镀件时往往显得捉襟见肘，难以满足大规模批量化的镀膜处理工作，且其自动化程度低，需要工作人员时刻监控或操作。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述不足之处，本专利技术目的是提供一种适合于大规模批量生产、自动化程度高且能够有效避免带电粒子外排污染周围环境的等离子体蒸发镀膜机。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是：一种等离子体蒸发镀膜机，包括镀膜箱、输送座、冷却输送机构、升降机构、镀膜装置、废气处理机构，所述镀膜箱设置在冷却输送机构的路径上，所述镀膜箱设置在冷却输送机构正上方，且镀膜箱底部开设有与冷却输送机构竖直相对的进出料口，所述冷却输送机构包括沿输送路径布置的输送槽、配套安装在输送槽中并沿输送槽延伸布置的行进机构，所述输送座配套设置在行进机构的上方并由行进机构带动沿输送槽行进，所述升降机构配套安装在镀膜箱的下方侧并与所述输送座嵌套卡接，所述升降机构带动输送座向上运动与所述进出料口嵌套密封吻合；所述镀膜装置配套安装在镀膜箱的顶部位置，且所述镀膜装置包括等离子蒸发镀膜机、放电箱、蒸发箱、混合箱、连接管、镀膜伞，所述镀膜伞固定安装在镀膜箱顶部并竖直向下布置，所述等离子蒸发镀膜机与放电箱连接，所述放电箱、蒸发箱均与混合箱相连通且所述混合箱通过连接管连通至镀膜箱；所述镀膜箱配套连接有废气处理机构，且废气处理机构对镀膜箱中镀膜完成后的废气进行处理。所述输送槽固定安装在水平地面上，所述镀膜箱固定安装在水平布置的安装板上，安装板通过支撑柱固定安装在所述输送槽的正上方，且支撑柱竖直向上固定安装在水平地面上。所述行进机构包括：以相对转动的方式嵌套安装在输送槽两侧壁并沿输送槽延伸方向均匀分布的安装轴，固结在安装轴两端位置处并位于输送槽中的传动齿轮，固结在安装轴上的驱动链轮，与其中一组安装轴动力连接并带动其转动的驱动电机；各组驱动链轮均通过链条动力连接。所述输送座的下表面均匀布置有与所述传动齿轮啮合连接的轮齿，所述输送座的外侧壁与输送槽内侧壁以相对滑动的方式嵌套组合，所述输送座下表面均匀固结有多组与输送槽延伸方向相同的冷却片。所述输送座上表面向下开设有安装槽，安装槽中设置有固定托盘，且固定托盘上固定安装有用于镀膜的镀件，所述输送槽中填充有冷却液，且冷却液的液位高于固定托盘、镀件的设置高度。所述输送座的两侧水平固结有通出所述输送槽侧壁的第一卡接板，且第一卡接板的下方设置有与第一卡接板嵌套卡接的第二卡接板，所述安装板的下表面与第二卡接板相对位置处安装有竖直向下布置的液压伸缩杆，且液压伸缩杆的活动端与第二卡接板固结。所述输送座上表面位于所述安装槽的外围设置有首尾连接的密封垫圈，所述镀膜箱底部的进出料口处开设有与密封垫圈嵌套吻合的密封槽。所述镀膜箱顶布呈开口状设置且开口位置处配套安装有密封安装盖，密封安装盖通过固定螺栓固定安装在镀膜箱的顶端，所述镀膜伞固定安装在密封安装盖的下表面，且所述连接管由密封安装盖通入并沿所述镀膜伞中心位置竖直向下布置，所述等离子蒸发镀膜机、放电箱、蒸发箱、混合箱均固定安装在所述安装板上。所述废气处理机构包括：固定安装在所述安装板上处理箱，一端与处理箱上游端连通且另一端连通至所述镀膜箱中的进气管，一端与处理箱下游端连通的排气管，配套安装在进气管上的单向阀，配套安装在排气管上的加压泵，沿处理箱左右内侧壁布置且磁极方向朝向相同的两组永磁体，沿处理箱上下内侧壁布置的两组离子吸收机构，设置在两组永磁体内侧面并将对应永磁体与处理箱内侧废气分割的隔热板。所述离子吸收机构包括设置在处理箱上游端、下游端处的转动辊，绕制在两组转动辊上的并与处理箱上下侧壁平行的铝箔板，且铝箔板靠近外侧板面处配套设置有冷却装置。所述废气处理机构还包括有：固定安装在所述安装板上的多组气筒用于连通气筒与镀膜箱的导气管，以相对滑动的方式嵌套安装在气筒中并保持密封接触的活塞，以相对转动的方式贯穿气筒安装并与活塞旋接的螺杆，设置在气筒外侧端并与螺杆动力连接的发条机构，固结在螺杆外侧端的棘轮，固定安装在所述第二卡接板上表面并竖直向上布置的动力板，以相对转动的方式嵌套安装在密封安装盖下方侧并竖直布置的转轴，均匀布置在转轴上的扇叶；动力板上沿竖直方向均匀布置有棘爪且棘爪与棘轮嵌套啮合，转轴与通入镀膜箱的导气管相对布置本专利技术的有益效果：通过冷却输送机构、升降机构将位于输送槽中装有镀件的输送座抬升至镀膜箱进行镀膜处理，经过镀膜后的镀件以及对应输送座重新回落至冷却输送机构上，并在通过冷却液进行冷却降温，由此往复能够满足大规模批量化处理的生产需求；镀膜过程中产生带电性的废气在由加压泵加压作用下通过进气管、处理箱向排气管流动，带电粒子在处理箱中运动时，由于永磁体产生磁场的作用，会向铝箔板一侧偏移进而在铝箔板上生成电镀膜，避免带电粒子外排污染周围环境。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为所述图1中沿线A-A的竖剖结构示意图；图3为以图1为基础所述液压伸缩杆带动输送座与镀膜箱底端密封嵌套的结构示意图；图4为所述图1中B部分的放大细节示意图；图5为所述图1中沿线C-C的竖剖结构示意图；图6为所述图2中D部分的放大细节示意图。图中：1镀膜箱、2输送座、3进出料口、4输送槽、5等离子蒸发镀膜机、6放电箱、7蒸发箱、8混合箱、9连接管、10镀膜伞、11安装板、12支撑柱、13安装轴、14传动齿轮、15驱动链轮、16轮齿、17冷却片、18安装槽、19固定托盘、20第一卡接板、21第二卡接板、22液压伸缩杆、23密封垫圈、24密封槽、25密封安装盖、26处理箱、27进气管、28排气管、29永磁体、30隔热板、31转动辊、32铝箔板、33冷却装置、34气筒、35导气管、36活塞、37螺杆、38发条机构、39棘轮、40动力板、41转轴、42扇叶、43棘爪。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-6，一种等离子体蒸发镀膜机，包括镀膜箱1、输送座2、冷却输送机构、升降机构、镀膜装置、废气处理机构，镀膜箱1设置在冷却输送机构的路径上，镀膜箱1设置在冷却输送机构正上方，且镀膜箱1底部开设有与冷却输送机构竖直相对的进出料口3，冷却输送机构包括沿输送路径布置的输送槽4、配套安装在输送本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于：包括镀膜箱（1）、输送座（2）、冷却输送机构、升降机构、镀膜装置、废气处理机构，/n所述镀膜箱（1）设置在冷却输送机构的路径上，所述镀膜箱（1）设置在冷却输送机构正上方，且镀膜箱（1）底部开设有与冷却输送机构竖直相对的进出料口（3），所述冷却输送机构包括沿输送路径布置的输送槽（4）、配套安装在输送槽（4）中并沿输送槽（4）延伸布置的行进机构，所述输送座（2）配套设置在行进机构的上方并由行进机构带动沿输送槽（4）行进，所述升降机构配套安装在镀膜箱（1）的下方侧并与所述输送座（2）嵌套卡接，所述升降机构带动输送座（2）向上运动与所述进出料口（3）嵌套密封吻合；/n所述镀膜装置配套安装在镀膜箱（1）的顶部位置，且所述镀膜装置包括等离子蒸发镀膜机（5）、放电箱（6）、蒸发箱（7）、混合箱（8）、连接管（9）、镀膜伞（10），所述镀膜伞（10）固定安装在镀膜箱（1）顶部并竖直向下布置，所述等离子蒸发镀膜机（5）与放电箱（6）连接，所述放电箱（6）、蒸发箱（7）均与混合箱（8）相连通且所述混合箱（8）通过连接管（9）连通至镀膜箱（1）；/n所述镀膜箱（1）配套连接有废气处理机构，且废气处理机构对镀膜箱（1）中镀膜完成后的废气进行处理。/n...

【技术特征摘要】
1.一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于：包括镀膜箱（1）、输送座（2）、冷却输送机构、升降机构、镀膜装置、废气处理机构，
所述镀膜箱（1）设置在冷却输送机构的路径上，所述镀膜箱（1）设置在冷却输送机构正上方，且镀膜箱（1）底部开设有与冷却输送机构竖直相对的进出料口（3），所述冷却输送机构包括沿输送路径布置的输送槽（4）、配套安装在输送槽（4）中并沿输送槽（4）延伸布置的行进机构，所述输送座（2）配套设置在行进机构的上方并由行进机构带动沿输送槽（4）行进，所述升降机构配套安装在镀膜箱（1）的下方侧并与所述输送座（2）嵌套卡接，所述升降机构带动输送座（2）向上运动与所述进出料口（3）嵌套密封吻合；
所述镀膜装置配套安装在镀膜箱（1）的顶部位置，且所述镀膜装置包括等离子蒸发镀膜机（5）、放电箱（6）、蒸发箱（7）、混合箱（8）、连接管（9）、镀膜伞（10），所述镀膜伞（10）固定安装在镀膜箱（1）顶部并竖直向下布置，所述等离子蒸发镀膜机（5）与放电箱（6）连接，所述放电箱（6）、蒸发箱（7）均与混合箱（8）相连通且所述混合箱（8）通过连接管（9）连通至镀膜箱（1）；
所述镀膜箱（1）配套连接有废气处理机构，且废气处理机构对镀膜箱（1）中镀膜完成后的废气进行处理。


2.根据权利要求1所述的一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于：所述输送槽（4）固定安装在水平地面上，所述镀膜箱（1）固定安装在水平布置的安装板（11）上，安装板（11）通过支撑柱（12）固定安装在所述输送槽（4）的正上方，且支撑柱（12）竖直向上固定安装在水平地面上。


3.根据权利要求2所述的一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于：所述行进机构包括：以相对转动的方式嵌套安装在输送槽（4）两侧壁并沿输送槽（4）延伸方向均匀分布的安装轴（13），固结在安装轴（13）两端位置处并位于输送槽（4）中的传动齿轮（14），固结在安装轴（13）上的驱动链轮（15），与其中一组安装轴（13）动力连接并带动其转动的驱动电机；各组驱动链轮（15）均通过链条动力连接，所述输送座（2）的下表面均匀布置有与传动齿轮（14）啮合连接的轮齿（16），所述输送座（2）的外侧壁与输送槽（4）内侧壁以相对滑动的方式嵌套组合，所述输送座（2）下表面均匀固结有多组与输送槽（4）延伸方向相同的冷却片（17）。


4.根据权利要求3所述的一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于：所述输送座（2）上表面向下开设有安装槽（18），安装槽（18）中设置有固定托盘（19），且固定托盘（19）上固定安装有用于镀膜的镀件，所述输送槽（4）中填充有冷却液，且冷却液的液位高于固定托盘（19）、镀件的设置高度。


5.根据权利要求4所述的一种等离子体蒸发镀膜机，其特征在于：所述输送座（2）的两侧水平固结有通出所述输送槽（4）侧壁的第一卡接板（20），且第一卡接板（20）的下方设置有与第一卡接板（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘慧，
申请(专利权)人：刘慧，
类型：发明
国别省市：浙江;33