基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置，包括：激光调制模块、微波提取模块；激光调制模块包括宽禁带光导半导体器件、超高重频激光驱动源；微波提取模块包括高压充电电源、微波射频传输结构和超高重频微波辐射输出组件；宽禁带光导半导体器件分别与超高重频激光驱动源、高压充电电源、微波射频传输结构连接，超高重频微波辐射输出组件与微波射频传输结构连接。本实用新型专利技术能够实现频率可调的MHz超高重频电磁脉冲输出，输出的微波信号既可以是宽谱信号，也可以是窄谱信号，同时，提高了光电转换效率，实现了可调谐超高重频电磁脉冲的高效提取，为超高重复频率大功率微波集成系统的研制提供了技术支撑。

【技术实现步骤摘要】
基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置
本技术涉及高功率微波
，特别是涉及基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置。
技术介绍
参数灵活可调的电磁脉冲产生系统，在军事和民用领域有重要的应用价值。近年来，高功率、高重复频率和更宽参数调谐是高功率电磁脉冲发展的重要方向。其中，主频可调的超高重复频率的大功率射频微波产生系统，在干扰、压制甚至损伤雷达系统、电子战系统、信息数据链路等方面有潜在的应用。目前，基于固态快速开关产生时域冲激窄脉冲，是实现超高重复频率电磁脉冲的一种主要形式。要求开关具有几十ps到几百ps的导通或关断时间。近年来，随着半导体技术和激光技术的发展，利用固态光导器件产生超高重频(重复频率大于100kHz)电磁脉冲获得了更为广泛的关注。光导半导体器件是脉冲功率
的关键部件之一，用于产生高功率超短ps脉冲。光导器件不仅具有固体器件结构紧凑的优点外，还有其自身独特的优点，如极快的导通时间、极小的时间抖动、极好的同步精度、低导通电感、光电隔离等，尤其是在重复频率方面，光导器件具有很大的发展前景。这些独特的优点使得光导半导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置，其特征在于，包括：激光调制模块、微波提取模块；所述激光调制模块包括宽禁带光导半导体器件、超高重频激光驱动源；所述微波提取模块包括高压充电电源、微波射频传输结构和超高重频微波辐射输出组件；所述宽禁带光导半导体器件分别与所述超高重频激光驱动源、高压充电电源、微波射频传输结构连接，所述超高重频微波辐射输出组件与所述微波射频传输结构连接。/n

【技术特征摘要】
1.基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置，其特征在于，包括：激光调制模块、微波提取模块；所述激光调制模块包括宽禁带光导半导体器件、超高重频激光驱动源；所述微波提取模块包括高压充电电源、微波射频传输结构和超高重频微波辐射输出组件；所述宽禁带光导半导体器件分别与所述超高重频激光驱动源、高压充电电源、微波射频传输结构连接，所述超高重频微波辐射输出组件与所述微波射频传输结构连接。


2.根据权利要求1所述的基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置，其特征在于，所述超高重频激光驱动源采用连续啁啾脉冲放大的激光驱动源系统，所述超高重频激光驱动源包含依次连接的高重频种子源、大展宽量脉冲展宽器、多级啁啾脉冲放大器和高功率脉冲压缩器。


3.根据权利要求1所述的基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置，其特征在于，所述宽禁带光导半导体器件包括衬底，在所述衬底上表面由下到上依次设有透明导电层、耐高压钝化层；所述透明导电层、耐高压钝化层上套接有金属环，所述金属环下端面与所述衬底连接，所述金属环的上端面连接有中空金属电极；所述衬底下表面设有镀银层，所述镀银层连接有实心金属电极。


4.根据权利要求3所述的基于光导器件的可调谐超高重频微波产生装置，其特征在于，所述衬底采用高电阻半导体材料，所述高电阻半导体采用厚度为0.01mm～10mm的薄片，所述薄片为方形或圆形，所述方形的边长为1m...

【专利技术属性】
技术研发人员：王朗宁，楚旭，荀涛，杨汉武，刘金亮，贺军涛，张军，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：新型
国别省市：湖南;43