【技术实现步骤摘要】
电源供应装置及其操作方法
本公开关于一种电源供应装置，特别涉及一种具有抑制突波产生的可调电压电源供应装置。
技术介绍
在目前半导体制程领域的等离子体系统中(如溅镀、蚀刻等)，现行技术使用负压电源及与其电压等比例、相依式的正压电源搭配作脉冲电源输出，以周期性抑制于靶材表面产生的电弧。然而，对于需调整正压电源的电压电平以符合不同制程与溅镀材料的应用，现有固定电压比例、脉冲频率输出的正压无法有效率抑制电弧的产生，造成溅镀速率慢及薄膜品质不佳等问题。此外，在利用脉冲信号切换开关时，需要有合适的缓冲电路吸收切换时产生的突波能量。
技术实现思路
本公开的一实施例涉及一种电源供应装置，包含一电感器、一开关、一供应电源以及一缓冲电路。该开关的一第一端点耦接于该电感器的一第一端点。该供应电源的一第一端点与该开关的一第二端点耦接。该缓冲电路的一第一端点与该开关的该第一端点耦接于一第一电压输出端点，该缓冲电路的一第二端点与该供应电源的一第二端点电性耦接于一第二电压输出端点，其中该电感器、该开关、该供应电源和该缓冲电路用以协同操作而于该...
【技术保护点】
1.一种电源供应装置，包含：/n一电感器；/n一开关，该开关的一第一端点耦接于该电感器的一第一端点；/n一供应电源，该供应电源的一第一端点与该开关的一第二端点耦接；以及/n一缓冲电路，该缓冲电路的一第一端点与该开关的该第一端点耦接于一第一电压输出端点，该缓冲电路的一第二端点与该供应电源的一第二端点电性耦接于一第二电压输出端点，/n其中，该电感器、该开关、该供应电源和该缓冲电路用以协同操作而于该第一电压输出端点与该第二电压输出端点产生一输出电压。/n
【技术特征摘要】
1.一种电源供应装置，包含：
一电感器；
一开关，该开关的一第一端点耦接于该电感器的一第一端点；
一供应电源，该供应电源的一第一端点与该开关的一第二端点耦接；以及
一缓冲电路，该缓冲电路的一第一端点与该开关的该第一端点耦接于一第一电压输出端点，该缓冲电路的一第二端点与该供应电源的一第二端点电性耦接于一第二电压输出端点，
其中，该电感器、该开关、该供应电源和该缓冲电路用以协同操作而于该第一电压输出端点与该第二电压输出端点产生一输出电压。
2.如权利要求1所述的电源供应装置，还包含：
一电压信号转换器，包含一第一转换器输出端点以及一第二转换器输出端点，其中，该电感器的一第二端点耦接该第一转换器输出端点，该供应电源的该第二端点耦接该第二转换器输出端点。
3.如权利要求1所述的电源供应装置，其中该缓冲电路还包含：
一储能元件；
一释能元件，该释能元件的一第一端点和一第二端点分别与该储能元件的一第一端点和一第二端点耦接；
一反向突波抑制器，该反向突波抑制器的一第一端点与该储能元件的该第二端点及该释能元件的该第二端点耦接；以及
一正向突波抑制器，该正向突波抑制器的一第一端点耦接于该反向突波抑制器的该第一端点，该正向突波抑制器的一第二端点耦接于该反向突波抑制器的一第二端点。
4.如权利要求3所述的电源供应装置，其中，
该储能元件的该第一端点及该正向突波抑制器的一第三端点分别与该第一电压输出端点与该第二电压输出端点耦接。
5.如权利要求3所述的电源供应装置，其中，
当该开关导通以自该供应电源输出一电压作该输出电压时，该反向突波抑制器导通，以及该储能元件通过导通的该反向突波抑制器吸收电能。
6.如权利要求3所述的电源供应装置，其中，
当该开关关断时，一电压从该电感器被输出做该输出电压，以及该正向突波抑制器导通以缓冲该开关切换时产生的突波。
7.如权利要求6所述的电源供应装置，其中，
该储能元件用以与该释能元件形成一放电路径，以消耗该储能元件所吸收的电能。
8.如权利要求3所述的电源供应装置，其中，
该反向突波抑制器包含一二极管，该正向突波抑制器包含至少一二极管。
9.如权利要求8所述的电源供应装置，其中，
该储能元件包含一电容器以及该释能元件包含一电阻器。
10.一种电源供应装置，包含：
一开关；
一第一电感器，与该开关耦接，用以接收来自一电压信号转换器的输出电压并产生一储能电压；
一供应电源，与该开关耦接，用以提供一供应电压；
一储能元件，与该开关耦接于一第一电压输出端点；
一第一突波抑制器，与该储能元件耦接于一节点；以及
一第二突波抑制器，该第二突波抑制器的一第一端点与该储能元件耦接于该节点；
其中，该第一突波抑制器通过该第二突波抑制器的一第二端点与该供应电源电性耦接于一第二电压输出端点；
其中，当该开关切换至导通时，该供应电源、该储能元件、该开关与该第一突波抑制器形成一第一回路，...
【专利技术属性】
技术研发人员：赖威勋，林韦丞，邱柏晟，王健宇，
申请(专利权)人：台达电子工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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