一种半导体器件检测方法、装置、智能终端及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种半导体器件检测方法、装置、智能终端及存储介质，其中，上述半导体器件检测方法包括：获取半导体器件的彩色图像；对上述彩色图像进行处理，获得至少两个不同颜色通道的目标图像；基于各上述目标图像进行图像特征分析并与预设的特征检测标准进行对比及判断，结合各上述目标图像的判断结果获得上述半导体器件的检测结果；输出上述检测结果。本发明专利技术方案将半导体器件的彩色图像分为多个颜色通道的目标图像并分别进行分析判断，结合各个颜色通道下的判断结果获得半导体器件的检测结果。因此，本发明专利技术方案可有效降低环境以及半导体器件上的印刷内容等因素的影响，使得检测结果更准确可信。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体器件检测方法、装置、智能终端及存储介质
本专利技术涉及半导体器件缺陷检测
，尤其涉及的是一种半导体器件检测方法、装置、智能终端及存储介质。
技术介绍
随着科学技术的发展，对于半导体技术的研究逐渐成熟，半导体器件得到越来越广泛的应用。在半导体器件的生产和运输过程中可能出现晶片脱落、晶片倾斜、焊线断裂、漏焊等缺陷。而在使用过程中，必须严格控制半导体器件的品质以降低半导体器件的缺陷率，因此需要对半导体器件进行缺陷检测以对存在缺陷的半导体器件进行筛选。现有技术中，通常通过缺陷检测机对半导体器件的表面进行扫描，分析并获取半导体器件的缺陷检测结果。现有技术的问题在于，直接对半导体器件的表面进行扫描和分析获取检测结果，容易受到环境以及半导体器件上的印刷内容等因素的影响，造成检测结果的准确率较低。因此，现有技术还有待改进和发展。
技术实现思路
针对现有技术中直接对半导体器件的表面进行扫描分析造成的半导体器件检测结果的准确率较低的问题，本专利技术提供一种半导体器件检测方法、装置、智能终端及存储介质，可通过获取半导体器件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体器件检测方法，其特征在于，所述方法包括：/n获取半导体器件的彩色图像；/n对所述彩色图像进行处理，获得至少两个不同颜色通道的目标图像；/n基于各所述目标图像进行图像特征分析并与预设的特征检测标准进行对比及判断，结合各所述目标图像的判断结果获得所述半导体器件的检测结果；/n输出所述检测结果。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体器件检测方法，其特征在于，所述方法包括：
获取半导体器件的彩色图像；
对所述彩色图像进行处理，获得至少两个不同颜色通道的目标图像；
基于各所述目标图像进行图像特征分析并与预设的特征检测标准进行对比及判断，结合各所述目标图像的判断结果获得所述半导体器件的检测结果；
输出所述检测结果。


2.根据权利要求1所述的半导体器件检测方法，其特征在于，所述对所述彩色图像进行处理，获得至少两个不同颜色通道的目标图像，包括：
对所述彩色图像进行矩阵变换，获得图像矩阵；
对所述图像矩阵进行不同颜色的通道划分，获得至少两个不同颜色通道的通道图像；
分别对所述通道图像进行二值化处理，获得至少两个不同颜色通道的目标图像。


3.根据权利要求2所述的半导体器件检测方法，其特征在于，所述对所述图像矩阵进行不同颜色的通道划分，获得至少两个不同颜色的通道图像，包括：
基于RGB色彩模式对所述图像矩阵进行红色通道、绿色通道以及蓝色通道的划分；
分别获得所述半导体器件在红色通道、绿色通道以及蓝色通道的通道图像。


4.根据权利要求1至3任一项所述的半导体器件检测方法，其特征在于，所述基于各所述目标图像进行图像特征分析并与预设的特征检测标准进行对比及判断，结合各所述目标图像的判断结果获得所述半导体器件的检测结果，包括：
分别对各所述目标图像进行图像特征分析，获得各所述目标图像的检测特征；
分别基于所述检测特征与预设的特征检测标准判断各所述目标图像中的目标缺陷及缺陷位置，其中，所述目标缺陷包括所有与所述预设的特征检测标准的差异值大于预设的差异阈值的检测特征；
根据所有所述目标图像中的目标缺陷及缺陷位置获得所述半导体器件的所有缺陷，作为所述半导体器件的检测结果。


5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗建华，
申请(专利权)人：罗建华，
类型：发明
国别省市：广东;44