一种基于信息融合的良率损失根因分析方法技术

本发明专利技术公开了一种基于信息融合的良率损失根因分析方法，涉及OLED、显示器、面板及半导体制造业技术领域。本发明专利技术针对良率损失的根因分析，构建了一种基于信息融合的问题参数快速自动定位方法和因子水平自动划分方法，解决了传统分析方法自动化程度低，数据信息利用率低，问题定位精度低的问题。本发明专利技术对数据进行了标签化和分组，提高了数据的针对性，同时设计了不同的规则组合，融合了不良率数据和参数数据各方面的信息，综合而全面的考虑两者之间的关系，使得问题参数的定位分析更加准确，高效。同时，为了确定问题参数的异常波动范围，提出了基于聚类的参数水平划分方法，解决了现有划分方法速度慢精度低，不利于大数据分析的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种基于信息融合的良率损失根因分析方法
本专利技术属于显示面板，OLED，TFT-LCD，半导体制造业
，具体为一种基于信息融合的良率损失根因分析方法。
技术介绍
半导体，面板领域的生产制造过程涉及的工艺复杂，制程繁多，每道工艺和制程涉及到不同的站点、机组、机台、工具等，而这些生产设备又对应很多相关的参数，一般可达上万个，且数据量巨大。当良率问题发生时，需要快速定位引起良率损失的机台及其对应的参数；对异常参数进行调整，保证机台正常运行，解决良率损失问题。目前，对良率问题的问题参数查找及分析方法，主要依赖于有经验的工程师从数据库中挑出问题产品的不良率数据及参数数据，进行参数相关性分析及问题排查，属于事后静态分析，自动化程度低，存在较大的时间滞后，定位精度较粗糙，且效率低下，费时费力。随着设备自动化程度的提高，各种生成过程参数的自动采集，上传和存储，利用大数据分析和数据挖掘算法，实现自动分析不良率数据和参数数据，快速准确定位问题参数，识别因子的异常波动水平，对于设备预测维护，缩短故障发生时排查时间，提高产品良率，降低生产成本，提高生产制造商的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于信息融合的良率损失根因分析方法，其特征在于：包括以下步骤：/nS1、获取产品不良率数据和参数数据；/nS2、对获取数据进行预处理，包括对缺失值，单一值，冗余值，离群值的处理，以及对数据量的控制；/nS3、数据打标签，根据不良率的取值计算阈值，根据不良率同阈值的关系来打标签；/nS4、数据分组；/nS5、规则设计，设计了五种不同的规则，包括差异性规则，距离尺度规则，相关性规则，数据量尺度规则，数据取值范围规则，其中差异性规则使用了基于秩序的Kruskal-Wallis检验方法；/nS6、规则计算及整合，使用加权和的方式整合各规则计算的结果；/nS7、问题参数定位；/nS8、参数水平的...

【技术特征摘要】
1.一种基于信息融合的良率损失根因分析方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1、获取产品不良率数据和参数数据；
S2、对获取数据进行预处理，包括对缺失值，单一值，冗余值，离群值的处理，以及对数据量的控制；
S3、数据打标签，根据不良率的取值计算阈值，根据不良率同阈值的关系来打标签；
S4、数据分组；
S5、规则设计，设计了五种不同的规则，包括差异性规则，距离尺度规则，相关性规则，数据量尺度规则，数据取值范围规则，其中差异性规则使用了基于秩序的Kruskal-Wallis检验方法；
S6、规则计算及整合，使用加权和的方式整合各规则计算的结果；
S7、问题参数定位；
S8、参数水平的...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢箭，赵文政，刘林平，
申请(专利权)人：上海喆塔信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31