检查系统技术方案

本发明专利技术提供一种检查系统。检查系统具备对物品输送车升降自如地具备的升降部的倾斜状态进行检测的检测部，升降部具有基准面，检测部具备第1摄像装置和第2摄像装置，将升降部处于规定的设定升降位置的状态下的基准面的位置作为设定基准面位置，第1摄像装置及第2摄像装置被设置为，作为第1摄像装置的光轴的第1光轴与作为第2摄像装置的光轴的第2光轴交叉的交点成为与设定基准面位置对应的位置，并且第1光轴及第2光轴成为沿着基准面的方向，检测部基于由第1摄像装置及第2摄像装置摄像的基准面的图像，检测升降部的倾斜方向及倾斜角度。

【技术实现步骤摘要】
检查系统
本专利技术涉及一种检查系统，所述检查系统具备对物品输送车升降自如地具备的升降部的倾斜状态进行检测的检测部。
技术介绍
作为这样的检查系统，例如已知有日本特开2017－095261号公报中记载的结构。以下，在
技术介绍
的说明中，写有括号的附图标记为现有技术文献中的附图标记。日本特开2017－095261号公报所记载的检查系统在检查用夹具（Wb）具备角度传感器（8），构成为，通过使该检查用夹具（Wb）支承于升降部（升降体22），由角度传感器（8）检测升降部（22）的倾斜方向及倾斜角度。
技术实现思路
但是，在日本特开2017－095261号公报的检查系统中，由于是使检查用夹具（Wb）支承于升降部（22）的结构，所以在检查多个物品输送车（1）的升降部（22）的倾斜的情况下，需要使检查用夹具（Wb）在多个物品输送车（1）之间移动。即，在检测各物品输送车（1）中的升降部（22）的倾斜状态的情况下，需要在使检查用夹具（Wb）支承于升降部（22）后检测升降部（22）的倾斜方向及倾斜角度，然后从升降部（22）将检查用夹具（Wb）取下。因此，有难以有效率地进行升降部（22）的倾斜状态的检查的情况。所以，希望能够有效率地进行升降部的倾斜状态的检查的检查系统的实现。鉴于上述的检查系统的特征结构在于，具备对物品输送车升降自如地具备的升降部的倾斜状态进行检测的检测部，前述升降部具有基准面，前述检测部具备第1摄像装置和第2摄像装置，将前述升降部处于规定的设定升降位置的状态下的前述基准面的位置作为设定基准面位置，前述第1摄像装置及前述第2摄像装置被设置为，作为前述第1摄像装置的光轴的第1光轴与作为前述第2摄像装置的光轴的第2光轴交叉的交点成为与前述设定基准面位置对应的位置，并且前述第1光轴及前述第2光轴成为沿着前述基准面的方向，前述检测部基于由前述第1摄像装置及前述第2摄像装置摄像的前述基准面的图像，检测前述升降部的倾斜方向及倾斜角度。根据该特征结构，由于基于由第1摄像装置及第2摄像装置从交叉的两方向摄像的升降部的基准面的图像来检测升降部的倾斜状态，所以能够恰当地检测升降部的倾斜方向及倾斜角度。此外，根据该特征结构，由于通过使物品输送车的升降部移动到规定的设定升降位置，在此状态下由第1摄像装置及第2摄像装置将升降部摄像，能够检测升降部的倾斜状态，所以不需要使检测用夹具等支承于升降部。因此，即使在检查多个物品输送车的升降部的倾斜状态的情况下，也不需要使检查用夹具等在多个物品输送车之间移动，能够有效率地进行升降部的倾斜状态的检查。附图说明图1是物品输送设备的俯视图。图2是物品输送车及处理装置的侧视图。图3是物品输送车及检查系统的立体图。图4是检查系统的控制框图。图5是检查控制的流程图。图6是表示从宽度方向第2侧观察的设定基准面位置的基准面的图。图7是表示从延伸方向第2侧观察的设定基准面位置的基准面的图。图8是表示从宽度方向第2侧观察的设定基准面位置的基准面的图。图9是表示从延伸方向第2侧观察的设定基准面位置的基准面的图。图10是另一实施方式的检查系统的侧视图。具体实施方式1.实施方式基于附图对具备检查系统的物品输送设备的实施方式进行说明。如图1所示，在物品输送设备中，设有在顶棚附近沿着行驶路径L行驶而将作为物品的容器W（参照图2）输送的物品输送车1、对收容在容器W中的基板进行处理的处理装置2、以邻接于该处理装置2的状态设置在地面上的作为输送对象部位的支承台3、和检查系统4。另外，在本实施方式中，将收容半导体基板的FOUP（FrontOpeningUnifiedPod；前开式标准盒）作为容器W（物品）。以下，如图2及图3所示，将沿着行驶路径L设置的轨道5延伸的延伸方向X的一方侧称作延伸方向第1侧X1，将其相反侧称作延伸方向第2侧X2。此外，如图3所示，将以沿着上下方向Z的上下方向观察相对于延伸方向X正交的方向称作宽度方向Y，将宽度方向Y的一方侧称作宽度方向第1侧Y1，将其相反侧称作宽度方向第2侧Y2。另外，在本例中，物品输送车1从延伸方向第2侧X2朝向延伸方向第1侧X1在一方向上行驶。如图2及图3所示，物品输送车1具备在轨道5上沿着该轨道5行驶的行驶部6、将容器W以悬挂状态支承的升降部7、和使升降部7在上下方向Z上移动的升降装置8。这样，物品输送车1升降自如地具备升降部7。行驶部6具备第1行驶单元6A和相对于该第1行驶单元6A位于延伸方向第2侧X2的第2行驶单元6B。如图3所示，第1行驶单元6A具备在轨道5上滚动的一对车轮11和使一对车轮11旋转的行驶用马达12。此外，第2行驶单元6B与第1行驶单元6A同样，具备一对车轮11和行驶用马达12。如图2所示，升降装置8具备卷绕体14、被卷绕于卷绕体14且在前端部连结着升降部7的卷取带15、和使卷绕体14旋转驱动的升降用马达16。升降装置8构成为，借助升降用马达16的驱动，通过使卷绕体14向正方向旋转而将卷取带15放出来使升降部7下降，通过使卷绕体14向反方向旋转而将卷取带15卷取来使升降部7上升。升降部7具备沿着水平方向向相互接近或离开的方向移动自如的一对把持爪18、使一对把持爪18的各自向相互接近或离开的方向移动的把持用马达19、和收容把持用马达19的箱体20。升降部7构成为，通过借助把持用马达19的驱动使一对把持爪18向相互接近或离开的方向移动，状态转移为由一对把持爪18把持容器W的状态和将由一对把持爪18对于容器W的把持解除的状态。而且，如图3所示，升降部7具有基准面F。在本实施方式中，箱体20被形成为长方体形状，将该箱体20的朝向上方侧的面（上表面）作为基准面F。接着，对检查系统4进行说明。在由检查系统4检测物品输送车1的升降部7的倾斜状态的情况下，检查系统4如图3所示，在物品输送车1的行驶部6停止在规定的设定行驶位置、升降部7的升降方向的位置处于规定的设定升降位置的状态下，检测升降部7的倾斜状态。这样，将物品输送车1处于规定的设定行驶位置并且升降部7处于规定的设定升降位置的状态下的基准面F的位置作为设定基准面位置V。在升降部7在延伸方向X及宽度方向Y的哪个方向上都不倾斜的正常的状态下，处于设定基准面位置V的基准面F成为水平的姿势。如图3及图4所示，检查系统4具备对物品输送车1具备的升降部7的倾斜状态进行检测的检测部22。在本实施方式中，检测部22具备第1摄像装置23、第2摄像装置24、第1投光装置25、第2投光装置26和控制部27（参照图4）。第1摄像装置23及第2摄像装置24被设置为，使作为第1摄像装置23的光轴的第1光轴L1与作为第2摄像装置24的光轴的第2光轴L2交叉的交点P成为与设定基准面位置V对应的位置，并且第1光轴L1及第2光轴L2成为沿着基准面F的方向。这里，与设定基准面位置V对应的位置被设定为，即使在从理想的设定基准面位置V（在本实施方式中，基准面F处于预先设定的高度且成为水平的姿势的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查系统，具备对物品输送车升降自如地具备的升降部的倾斜状态进行检测的检测部，其特征在于，/n前述升降部具有基准面，/n前述检测部具备第1摄像装置和第2摄像装置，/n将前述升降部处于规定的设定升降位置的状态下的前述基准面的位置作为设定基准面位置，/n前述第1摄像装置及前述第2摄像装置被设置为，作为前述第1摄像装置的光轴的第1光轴与作为前述第2摄像装置的光轴的第2光轴交叉的交点成为与前述设定基准面位置对应的位置，并且前述第1光轴及前述第2光轴成为沿着前述基准面的方向，/n前述检测部基于由前述第1摄像装置及前述第2摄像装置摄像的前述基准面的图像，检测前述升降部的倾斜方向及倾斜角度。/n

【技术特征摘要】
20190703 JP 2019-1245901.一种检查系统，具备对物品输送车升降自如地具备的升降部的倾斜状态进行检测的检测部，其特征在于，
前述升降部具有基准面，
前述检测部具备第1摄像装置和第2摄像装置，
将前述升降部处于规定的设定升降位置的状态下的前述基准面的位置作为设定基准面位置，
前述第1摄像装置及前述第2摄像装置被设置为，作为前述第1摄像装置的光轴的第1光轴与作为前述第2摄像装置的光轴的第2光轴交叉的交点成为与前述设定基准面位置对应的位置，并且前述第1光轴及前述第2光轴成为沿着前述基准面的方向，
前述检测部基于由前述第1摄像装置及前述第2摄像装置摄像的前述基准面的图像，检测前述升降部的倾斜方向及倾斜角度。


2.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，
前述...

【专利技术属性】
技术研发人员：小川大介，矢嶋翼，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本;JP