一种光斑指示系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种光斑指示系统，包括提供可指示激光的指示光的聚光系统和将所述指示光光轴与激光光轴重合的耦合镜，于所述指示光与激光重合后的光轴上设置有用于将所述指示光和激光整形为形状相同的整形器。指示光与激光通过耦合镜重合后，穿过整形器，整形器将指示光和激光整形为形状大小一样，并呈现出所需几何形状的混合光束，指示光束照射于被观测物面上后，指示激光加工区域的形状，从而提高了激光微细加工的精度。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学领域，尤其涉及一种光斑指示系统。
技术介绍
光斑指示系统是激光微细加工设备用来对可见与不可见激光光斑进行指示 的光学系统。此系统还要与激光共聚焦显微系统同时工作。现有技术中两种常用的方法为(1 )设置另外的指示光点直接照射到待加工位置，并调整用于加工的不可 见激光与指示光点重合，此方法调整困难，指示光点定位精度极低，不能用于 高精度的激光微细加工。(2 )将指示光路用半反射镜引入与用于加工的不可见激光轴线重合，同时 经显微系统聚焦到待加工位置，此方法指示光点只能表示出待加工区域的中心 点，不能指示出所有激光加工区域，激光微细加工区域的形状与精度没法保证。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，提供一种光斑指示系统，能够指示激光 加工区域的形状，提高激光微细加工的精度。为了解决上述技术问题，本技术提供一种光斑指示系统，包括提供可 指示激光的指示光的聚光系统，以及将所述指示光光轴与激光光轴重合的耦合 镜，于所述指示光与激光重合后的光轴上,设置有用于将所述指示光和激光整形 为相同形状与大小的整形器。指示光与激光通过耦合镜重合后，穿过整形器，整形器将指示光和激光整 形为形状大d、一样，并呈现出所需几何形状的混合光束，混合光束照射于祐:观测物面上后，指示激光加工区域的形状，从而提高了激光微细加工的精度。附图说明图1是本技术实施例提供的一种光斑指示系统工作示意图； 图2是本技术提供的一种光斑指示系统的原理示意图。具体实施方式为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明 白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解， 此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1和图2，本技术实施例提供一种光斑指示系统10，包括提 供可指示激光的指示光的聚光系统2, W及将指示光光轴21与激光光轴11重 合的耦合镜3，于指示光与激光重合后的光轴4上，设置有用于指示光和激光 整形的整形器5。具体地，上述聚光系统2包括依次同光轴设置的指示光源22、透镜23、第 一球面镜24和第二球面镜25。其中指示光源22可以是LED或光纤的发光面， 也可以是灯泡类的点状发光面，指示光源22所提供的光谱范围比较宽，波长在 350~700nm之间的都可以使用。宽光谱的指示光源22发出的指示光，经过透镜23、第一球面镜24和第二 球面镜25聚焦后，形成有一定面积的均匀光斑，并被耦合镜3反射，使指示光 光轴21与激光光轴11重合。于引入激光的光轴11上设置有一反射镜或反射棱镜12,激光引入后通过 反射镜或反射棱镜12照射于耦合镜3上，激光穿过耦合镜3后，与指示光混合。本实施例中，整形器5为形状大小都可变的光阑，由于加工的对象有不同 大小的尺寸与形状，而且有不同工艺需要，通过光阑来调整混合光束大小和边 缘位置。示光指示光束的形状大小，均在本技术的保护范围之内。因此，指示光与激光通过耦合镜3混合后，穿过整形器5,整形器5将指 示光和激光整形为形状大小一样，并呈现出所需几何形状的混合光束，混合光 束照射于被观测物面6上后，指示激光加工区域的形状，从而提高了激光微细 加工的才青度。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术， 凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应 包含在本技术的保护范围之内。权利要求1、一种光斑指示系统，包括提供可指示激光的指示光的聚光系统，以及将所述指示光光轴与激光光轴重合的耦合镜，其特征在于于所述指示光与激光重合后的光轴上，设置有用于将所述指示光和激光整形为相同形状和大小的整形器。2、 如权利要求1所述的光斑指示系统，其特征在于所述整形器为可变大 小形状的光阑。3、 如权利要求1所述的光斑指示系统，其特征在于所述聚光系统包括指 示光源、接收所述指示光并将所述指示光聚集的透镜、第一球面镜和第二球面 镜，所述指示光源、透镜、第一球面镜、第二球面镜、耦合镜依次设置于所述 指示光光轴上。4、 如权利要求3所述的光斑指示系统，其特征在于所述指示光源为LED、 光纤的发光面或灯泡类的点状发光面。5、 如权利要求3所述的光斑指示系统，其特征在于所述指示光源的波长 范围为350nm 700nm。6、 如权利要求l-5任一项所述的光斑指示系统，其特征在于所述激光光 轴上设置有将所述激光反射于所述耦合镜上的反射镜或反射棱镜。专利摘要本技术提供一种光斑指示系统，包括提供可指示激光的指示光的聚光系统和将所述指示光光轴与激光光轴重合的耦合镜，于所述指示光与激光重合后的光轴上设置有用于将所述指示光和激光整形为形状相同的整形器。指示光与激光通过耦合镜重合后，穿过整形器，整形器将指示光和激光整形为形状大小一样，并呈现出所需几何形状的混合光束，指示光束照射于被观测物面上后，指示激光加工区域的形状，从而提高了激光微细加工的精度。文档编号B23K26/00GK201237669SQ20082021200公开日2009年5月13日 申请日期2008年9月19日 优先权日2008年9月19日专利技术者宋体涵 申请人:清溢精密光电(深圳)有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光斑指示系统，包括提供可指示激光的指示光的聚光系统，以及将所述指示光光轴与激光光轴重合的耦合镜，其特征在于：于所述指示光与激光重合后的光轴上，设置有用于将所述指示光和激光整形为相同形状和大小的整形器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋体涵，
申请(专利权)人：清溢精密光电深圳有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]