一种芯片用无尘烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片用无尘烘干装置，包括无尘烘干装置本体、风机、加热管和电机，所述无尘烘干装置本体的右侧带动固定连接有进风口，所述无尘烘干装置本体的右侧内部固定连接有风机，且风机的左侧顶端固定连接有出风口，所述无尘烘干装置本体的内部固定连接有加热管，所述无尘烘干装置本体的左侧顶端固定连接有放置轮，所述无尘烘干装置本体的左侧内部固定连接有电机。本实用新型专利技术设置有风机和灰尘粘附垫，通过灰尘粘附垫粘附下芯片表面的灰尘，同时风机会吹出无尘烘干装置本体左侧口部的灰尘，通过密封盒装设烘干后的芯片，同时扭力弹簧对密封盒进行密封使芯片取出后保持无尘状态。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片用无尘烘干装置
本技术涉及芯片生产
，具体为一种芯片用无尘烘干装置。
技术介绍
芯片是一种把集成电路小型化并制造在半导体晶圆表面上元件，通过硅晶棒支撑切片制成晶圆，在晶圆上涂膜光刻后，在进行多次烘干使光刻胶的光化学反应更为充分，涂胶、烘烤和显影都是在匀胶显影机中完成的，曝光是在光刻机中完成的，需要多次转移芯片，在转移过程中会使芯片表面粘附灰尘，影响表面电路连接。现有的芯片烘干装置在烘干前大多数无法对芯片表面进行除尘，导致烘干后灰尘粘附在芯片表面，影响芯片的生产质量，并且现有的芯片烘干装置在完成烘干后，取出芯片时无法对芯片完成防尘保护导致芯片转移下到工序前会粘附灰尘，影响生产质量，因此亟需一种芯片用无尘烘干装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种芯片用无尘烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的传统的芯片烘干装置烘干前无法对芯片进行除尘和烘干后无法对芯片进行防尘保护的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片用无尘烘干装置，包括无尘烘干装置本体、风机、加热管和电机，所述无尘烘干装置本体的右侧带动固定连接有进风口，所述无尘烘干装置本体的右侧内部固定连接有风机，且风机的左侧顶端固定连接有出风口，所述无尘烘干装置本体的内部固定连接有加热管，所述无尘烘干装置本体的左侧顶端固定连接有放置轮，所述无尘烘干装置本体的左侧内部固定连接有电机，且电机的正面顶端固定连接有转动主轴，所述转动主轴的表面套有转动轮，且转动轮的表面套有灰尘粘附垫，所述转动主轴的表面套有第一连接皮带，且第一连接皮带的右侧内壁包裹有连接轴，所述连接轴的表面套有第二连接皮带，且第二连接皮带的左侧内壁包裹有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的表面啮合有第二锥形齿轮，且第二锥形齿轮右侧顶端固定连接有转动齿轮，所述转动齿轮的表面啮合有齿条，且齿条的正面固定连接有密封盒，所述密封盒的内壁固定连接有扭力弹簧，且扭力弹簧的左侧表面套有密封盖，所述无尘烘干装置本体的顶端固定连接有密封取出口，且密封取出口的内壁固定连接有密封垫，所述密封取出口的底端固定连接有密封仓门。优选的，所述放置轮与灰尘粘附垫组成转动式结构，且放置轮的顶端表面与灰尘粘附垫的顶端表面保持水平。优选的，所述灰尘粘附垫设置为六组，且灰尘粘附垫成对称分布。优选的，所述密封盒为矩形结构，且密封盒与密封取出口组成滑动式结构。优选的，所述扭力弹簧设置为两组，且扭力弹簧与密封盒组成转动式结构。优选的，所述密封取出口为矩形结构，且密封取出口的顶端内口长度大小等于密封盒的长度大小。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该芯片用无尘烘干装置设置有风机和灰尘粘附垫，通过转动轮转动带动灰尘粘附垫上的芯片滑动进入无尘烘干装置本体同时，灰尘粘附垫粘附下芯片表面的灰尘，同时风机会吹出无尘烘干装置本体左侧口部的灰尘，通过密封盒装设烘干后的芯片，同时扭力弹簧对密封盒进行密封使芯片取出后保持无尘状态。(1)该装置设置有风机和灰尘粘附垫，通过转动轮转动带动灰尘粘附垫上的芯片滑动进入无尘烘干装置本体同时，灰尘粘附垫粘附下芯片表面的灰尘，同时风机会吹出无尘烘干装置本体左侧口部的灰尘。(2)该装置通过密封盒装设烘干后的芯片，同时扭力弹簧对密封盒进行密封使芯片取出后保持无尘状态。附图说明图1为本技术的结构正视剖面示意图；图2为本技术的电机和转动主轴结构俯视剖面示意图；图3为本技术的第一锥形齿轮和转动齿轮结构后视剖面示意图；图4为本技术的图1中A处结构放大示意图。图中：1、无尘烘干装置本体；2、进风口；3、风机；4、出风口；5、加热管；6、放置轮；7、电机；8、转动主轴；9、转动轮；10、灰尘粘附垫；11、第一连接皮带；12、连接轴；13、第二连接皮带；14、第一锥形齿轮；15、第二锥形齿轮；16、转动齿轮；17、齿条；18、密封盒；19、扭力弹簧；20、密封盖；21、密封取出口；22、密封垫；23、密封仓门。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：一种芯片用无尘烘干装置，包括无尘烘干装置本体1、风机3、加热管5和电机7，无尘烘干装置本体1的右侧带动固定连接有进风口2，无尘烘干装置本体1的右侧内部固定连接有风机3，且风机3的左侧顶端固定连接有出风口4，无尘烘干装置本体1的内部固定连接有加热管5，无尘烘干装置本体1的左侧顶端固定连接有放置轮6，放置轮6与灰尘粘附垫10组成转动式结构，且放置轮6的顶端表面与灰尘粘附垫10的顶端表面保持水平，通过芯片放置在放置轮6上，然后插入无尘烘干装置本体1内，当芯片右侧顶端接触灰尘粘附垫10后，灰尘粘附垫10会转动带动芯片滑动进入无尘烘干装置本体1内进行烘干，无尘烘干装置本体1的左侧内部固定连接有电机7，且电机7的正面顶端固定连接有转动主轴8，转动主轴8的表面套有转动轮9，且转动轮9的表面套有灰尘粘附垫10，灰尘粘附垫10设置为六组，且灰尘粘附垫10成对称分布，通过灰尘粘附垫10带动芯片滑动同时会粘附芯片表面的灰尘，使芯片进入无尘烘干装置本体1内表面无尘状态。转动主轴8的表面套有第一连接皮带11，且第一连接皮带11的右侧内壁包裹有连接轴12，连接轴12的表面套有第二连接皮带13，且第二连接皮带13的左侧内壁包裹有第一锥形齿轮14，第一锥形齿轮14的表面啮合有第二锥形齿轮15，且第二锥形齿轮15右侧顶端固定连接有转动齿轮16，转动齿轮16的表面啮合有齿条17，且齿条17的正面固定连接有密封盒18，密封盒18为矩形结构，且密封盒18与密封取出口21组成滑动式结构，通过密封盒18在密封取出口21内滑动，使芯片进入密封盒18后在从密封取出口21内滑动出无尘烘干装置本体1，使无尘烘干装置本体1内始终保持无尘状态，密封盒18的内壁固定连接有扭力弹簧19，扭力弹簧19设置为两组，且扭力弹簧19与密封盒18组成转动式结构，通过芯片推动扭力弹簧19，在芯片进入密封盒18后扭力弹簧19对密封盒18进行密封，使密封盒18内保持无尘状态，芯片取出后在密封盒18内保持无尘状态，且扭力弹簧19的左侧表面套有密封盖20，无尘烘干装置本体1的顶端固定连接有密封取出口21，密封取出口21为矩形结构，且密封取出口21的顶端内口长度大小等于密封盒18的长度大小，通过密封盒18卡合在密封取出口21顶端口部，使密封盒18滑出到密封取出口21顶端时对密封取出口21进行密封，防止无尘烘干装置本体1内进入灰尘，且密封取出口21的内壁固定连接有密封垫22，密封取出口21的底端固定连接有密封仓门23。工作原理：使用时，根据附图1-4所示，通过芯片插入无尘烘干装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片用无尘烘干装置，包括无尘烘干装置本体(1)、风机(3)、加热管(5)和电机(7)，其特征在于：所述无尘烘干装置本体(1)的右侧带动固定连接有进风口(2)，所述无尘烘干装置本体(1)的右侧内部固定连接有风机(3)，且风机(3)的左侧顶端固定连接有出风口(4)，所述无尘烘干装置本体(1)的内部固定连接有加热管(5)，所述无尘烘干装置本体(1)的左侧顶端固定连接有放置轮(6)，所述无尘烘干装置本体(1)的左侧内部固定连接有电机(7)，且电机(7)的正面顶端固定连接有转动主轴(8)，所述转动主轴(8)的表面套有转动轮(9)，且转动轮(9)的表面套有灰尘粘附垫(10)，所述转动主轴(8)的表面套有第一连接皮带(11)，且第一连接皮带(11)的右侧内壁包裹有连接轴(12)，所述连接轴(12)的表面套有第二连接皮带(13)，且第二连接皮带(13)的左侧内壁包裹有第一锥形齿轮(14)，所述第一锥形齿轮(14)的表面啮合有第二锥形齿轮(15)，且第二锥形齿轮(15)右侧顶端固定连接有转动齿轮(16)，所述转动齿轮(16)的表面啮合有齿条(17)，且齿条(17)的正面固定连接有密封盒(18)，所述密封盒(18)的内壁固定连接有扭力弹簧(19)，且扭力弹簧(19)的左侧表面套有密封盖(20)，所述无尘烘干装置本体(1)的顶端固定连接有密封取出口(21)，且密封取出口(21)的内壁固定连接有密封垫(22)，所述密封取出口(21)的底端固定连接有密封仓门(23)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种芯片用无尘烘干装置，包括无尘烘干装置本体(1)、风机(3)、加热管(5)和电机(7)，其特征在于：所述无尘烘干装置本体(1)的右侧带动固定连接有进风口(2)，所述无尘烘干装置本体(1)的右侧内部固定连接有风机(3)，且风机(3)的左侧顶端固定连接有出风口(4)，所述无尘烘干装置本体(1)的内部固定连接有加热管(5)，所述无尘烘干装置本体(1)的左侧顶端固定连接有放置轮(6)，所述无尘烘干装置本体(1)的左侧内部固定连接有电机(7)，且电机(7)的正面顶端固定连接有转动主轴(8)，所述转动主轴(8)的表面套有转动轮(9)，且转动轮(9)的表面套有灰尘粘附垫(10)，所述转动主轴(8)的表面套有第一连接皮带(11)，且第一连接皮带(11)的右侧内壁包裹有连接轴(12)，所述连接轴(12)的表面套有第二连接皮带(13)，且第二连接皮带(13)的左侧内壁包裹有第一锥形齿轮(14)，所述第一锥形齿轮(14)的表面啮合有第二锥形齿轮(15)，且第二锥形齿轮(15)右侧顶端固定连接有转动齿轮(16)，所述转动齿轮(16)的表面啮合有齿条(17)，且齿条(17)的正面固定连接有密封盒(18)，所述密封盒(18)的内壁固定连接有扭力弹簧(19)，且扭力弹簧(19...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明，
申请(专利权)人：张明，
类型：新型
国别省市：新疆;65