一种超纯水热交换系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种超纯水热交换系统，超纯水系统与循环流体系统之间接有套管换热管路，采用套管换热管路实现循环流体与超纯水的换热，超纯水管路采用软态洁净管路，减少超纯水污染环节，且布置方便；过程中超纯水中的热量通过套管换热管路把热量转移到循环流体中，经第一温度传感器采集循环流体温度信号后，由微电脑处理系统分析匹配控温系统半导体制冷片的输出换热量，从而调节循环流体的温度，进而实现对超纯水的热交换控制；无其他直接接触的部件，回路简单，成本低，实现热交换目的保证半导体工艺制程需求的同时，减少了超纯水污染的可能性，可靠性高。

【技术实现步骤摘要】
一种超纯水热交换系统
本技术涉及一种热交换系统，特别涉及一种超纯水热交换系统。
技术介绍
超纯水(Ultrapurewater)又称UP水，是指电阻率达到18MΩ·CM(25℃)的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。在半导体制造中，超纯水被用在晶圆的清洁和蚀刻上。尤其是晶圆残渣，它是造成晶圆工厂中超纯水大量消耗的主要原因。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。不同于其他行业超纯水的要求，在半导体行业，超纯水有极其严苛的水质要求。在半导体工艺中，会有一部分工艺制程有热量产生，为保证工艺制程的稳定性和可靠性，需要引入温控设备保证工艺制程中超纯水的温度，因此对应的超纯水热交换系统也需配套解决。
技术实现思路
技术目的：本技术的目的是提供一种超纯水热交换系统，具有超纯水温度控制的功能。技术方案：本技术所述的一种超纯水热交换系统，包括控温系统、循环流体系统和超纯水系统，超纯水系统与循环流体系统之间接有套管换热管路，套管换热管路以实现循环超纯水流体的换热；套管换热管路包括循环流体进口、循环流体出口、超纯水进口、超纯水出口，循环流体在循环流体管路中流动，超纯水流体在超纯水管路中流动，循环流体管路套在超纯水管路外侧，循环流体管路内部的超纯水管路可以为单条管路或多条管路，循环流体和超纯水流体的流动方向相反。进一步的，控温系统包括第一换热冷板和半导体制冷片，在第一换热冷板中的厂务水与半导体制冷片换热，厂务水带走半导体制冷片产生的热量或冷量，在第二换热冷板中的循环流体与半导体制冷片换热，循环流体带走半导体制冷片产生的冷量或热量。进一步的，循环流体系统包括第二换热冷板和半导体制冷片，在第二换热冷板中的循环流体与半导体制冷片换热，循环流体带走半导体制冷片产生的冷量或热量。进一步的，循环流体系统还包括检测水泵出口循环流体温度的第一温度传感器，检测套管换热管路出口循环流体温度的第二温度传感器，检测水泵出口循环流体压力的压力传感器。进一步的，循环流体系统还包括排液管路，排液管路设置有截止阀。有益效果：本技术与现有技术相比：采用套管换热管路实现循环流体与超纯水的换热，超纯水管路采用软态洁净管路，减少超纯水污染环节，且布置方便；过程中超纯水中的热量通过套管换热管路把热量转移到循环流体中，经第一温度传感器采集循环流体温度信号后，由微电脑处理系统分析匹配控温系统半导体制冷片的输出换热量，从而调节循环流体的温度，进而实现对超纯水的热交换控制；无其他直接接触的部件，回路简单，成本低，实现热交换目的保证半导体工艺制程需求的同时，减少了超纯水污染的可能性，可靠性高。附图说明图1为本实施例的系统原理图；图2为本实施例的套管换热管路示意图。具体实施方式如图1所示，一种超纯水热交换系统，包括控温系统和循环流体系统。其中，控温系统包括第一换热冷板10和半导体制冷片11，在第一换热冷板10中的厂务水与半导体制冷片11换热，厂务水带走半导体制冷片11产生的热量或冷量，在第二换热冷板5中的循环流体与半导体制冷片11换热，循环流体带走半导体制冷片11产生的冷量或热量。循环流体系统包括第二换热冷板5和半导体制冷片11，在第二换热冷板5中的循环流体与半导体制冷片11换热，循环流体带走半导体制冷片11产生的冷量或热量。循环流体系统还包括依次相连的水泵7、过滤器3、流量计4和水箱6，第二换热冷板5出口与水箱6连通，第二换热冷板5的进口与过滤器3出口连通。循环流体系统的水泵7和过滤器3之间设置有套管换热管路1，套管换热管路1还包括循环流体进口、循环流体出口、超纯水进口、超纯水出口，循环流体系统的水泵7的出口与套管换热管路1的循环流体进口连通，套管换热管路1的循环流体出口和过滤器3的进口连通；套管换热管路1的超纯水进口和超纯水出口与超纯水系统接通，且超纯水管路1-2可以为单条管路或多条管路。如图2所示，循环流体在循环流体管路1-1中流动，超纯水流体在超纯水管路1-2中流动，循环流体管路1-1套在超纯水管路1-2外侧，循环流体和超纯水流体的流动方向相反。如图1所示，循环流体系统还包括检测水泵7出口循环流体温度的第一温度传感器9，检测套管换热管路1出口循环流体温度的第二温度传感器2，检测水泵7出口循环流体压力的压力传感器8。循环流体系统还包括排液管路，排液管路设置有截止阀12，截止阀12用于清污的疏通。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超纯水热交换系统，包括控温系统、循环流体系统和超纯水系统，其特征在于超纯水系统与循环流体系统之间接有套管换热管路(1)，套管换热管路(1)以实现循环超纯水流体的换热；套管换热管路(1)包括循环流体进口、循环流体出口、超纯水进口、超纯水出口，循环流体在循环流体管路(1-1)中流动，超纯水流体在超纯水管路(1-2)中流动，循环流体管路(1-1)套在超纯水管路(1-2)外侧，循环流体管路(1-1)内部的超纯水管路(1-2)可以为单条管路或多条管路，循环流体和超纯水流体的流动方向相反。/n

【技术特征摘要】
1.一种超纯水热交换系统，包括控温系统、循环流体系统和超纯水系统，其特征在于超纯水系统与循环流体系统之间接有套管换热管路(1)，套管换热管路(1)以实现循环超纯水流体的换热；套管换热管路(1)包括循环流体进口、循环流体出口、超纯水进口、超纯水出口，循环流体在循环流体管路(1-1)中流动，超纯水流体在超纯水管路(1-2)中流动，循环流体管路(1-1)套在超纯水管路(1-2)外侧，循环流体管路(1-1)内部的超纯水管路(1-2)可以为单条管路或多条管路，循环流体和超纯水流体的流动方向相反。


2.根据权利要求1所述的一种超纯水热交换系统，其特征在于控温系统包括第一换热冷板(10)和半导体制冷片(11)，在第一换热冷板(10)中的厂务水与半导体制冷片(11)换热，厂务水带走半导体制冷片(11)产生的热量或冷量，在第二换热冷板...

【专利技术属性】
技术研发人员：席海冬，金鑫，
申请(专利权)人：无锡溥汇机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32