波长合分波器制造技术

本发明专利技术提供一种合分波用光学部件，它改善用一个部件进行３个波长以上的光的合成和分解时依赖于偏光面的特性劣化，并且以小型得到优良的分解合成光波的特性，并且保存特性也优良。本发明专利技术的波长合分波器备有：具有一个光学基板或由几个光学基板一体形成的结构、被支撑在该光学基板上的第１光学滤波器（Ａ）以及第２光学滤波器（Ｂ）。并且，在３个波长波幅的中心波长为λ１、λ２、λ３时，具有０．９２≤λ２／λ１≤１．０８，０．２０≤λ３／λ１≤０．９２，或１．０８≤λ３／λ１≤５．００的关系，第１光学滤波器（Ａ）将λ３的光合成或分解为λ１与λ２的２波长多重光，第２光学滤波器（Ｂ）将２波长多重光合成或分解为λ１和λ２的光。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及波长合分波器。
技术介绍
介电质多层膜一般用作眼镜镜片表面的防反射膜或覆盖在玻璃基板上的电视的色分解滤波器等。例如，有用于液晶投影仪或照相机等的色分解滤波器。或者，作为用于DVD装置等的激光探测用镜，有将介电质多层膜夹在棱镜状的2个玻璃基板间的结构，能够使光以某个角度入射到介电质多层膜上。另外，在通讯领域，波长多重光通讯技术的导入得到推进。其中，为了分离不同波长的光，需要采用在玻璃基板上形成成为带边滤波器或带通滤波器的介电质多层膜。在光通信中，通过将3端子组件组合成级联组件，就可能进行多个波长波幅的光的合成和分解。然而，由于需要至少比合成分解波长的数目少一个的3端子组件，所以装置成本上升，占地面积变大，安装成本也上升。另外，如特开平8-82711号公报或藤井阳一所著的《光工学》(アグネ承风出版社，1993年，第169页)所提出的方案是在单一组件内组装进多个带通滤波器和带边滤波器，对多个波长的光进行合成或分解的组件。然而，由于光的分离角小，要组装进发送信号用激光和接收信号用二极管的话，需要将光程取得很长，从而产生装置大型化而使设置成本上升的问题。另一方面，要使装置小型化的话，就需要使用激光/二极管阵列，从而成为导致成本上升的主要原因。要使装置小型化但不增加装置成本的话，就需要使光的分离角变大。该场合，出射光的P以及S波的背离变大，引起合成分解光波特性变差的问题。该高背离角，即高入射角度下依赖于P以及S偏振光的特性变差的问题，即因入射光的偏振方向引起的出射光的振幅波长特性背离变大问题的改善方法在特开2000-162413号公报中被提了出来。在特开2000-162413号公报中对介电质体多层膜滤波器的高折射率层用了Si。然而，如特开2000-162413号公报所公布的那样，在低折射率层用TiO2、SiO2的话，在85℃、85％RH的高温高湿度下长时间放置时，TiO2、SiO2中的氧会扩散到高折射率层中去。这样，因Si、Ge层折射率降低、低折射率层的折射率上升而导致波长漂移和光学特性的变动。另外，对ZnS、ZnSe来说，由于与SiO2、TiO2的粘接性差，也会有易于剥离之类的问题。在这里，假如入射介质是折射率为1的空气的话，能够使因偏振方向的不同而导致的特性差别减小。但是，在近年的光学部件中，为了小型化而使集成度上升，多数场合滤波器直接接合到其它光学部件如光纤毛细管、棱镜、透镜、导波路上使用。这种场合，为了用空气作入射介质，有必要做成空气夹层结构。在做成空气夹层结构的场合，为了抑制在接合面上的多重反射所导致的振幅变动而形成防反射膜。由于该防反射膜相对于折射率为1的空气进行了最优化，所以接合时树脂等在光通过面迂回渗入的话透射特性就变差。因此，由于需要做成树脂不迂回渗入的接合结构，而成为成本上升的主要原因。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述状况而提出的专利技术，其目的是提供一种改善用一个光学部件对3波以上的光进行合成和分解时依赖于偏振面的特性劣化，小型并且合成分解光波的特性优良，另外在接合多个基板时选择结合材料的自由度高，在光透射的场合也具有良好的保存特性的多层膜滤波器以及合成分解光波用光学部件。另一方面，本专利技术是鉴于上述状况而提出的专利技术，其目的是提供一种改善用一个光学部件对3波以上的光进行合成和分解时依赖于偏振面的特性劣化，小型并且合成分解光波的特性优良的多层膜滤波器以及合成分解光波用光学部件。本专利技术的波长合成分解器是使由至少3个波长波幅组成的波长多重光在所定的波幅分解或者/以及合成波长多重光的波长合成分解器，该波长合成分解器具有一个光学基板或使多个光学基板一体化的结构，具备支撑在该光学基板上的至少2个特性不同的第1光学滤波器A以及第2光学滤波器B，在上述3个波长波幅的中心波长为λ1、λ2、λ3时，0.92≤λ2/λ1≤1.08，有0.20≤λ3/λ1≤0.92或者1.08≤λ3/λ1≤5.00的关系，上述第1光学滤波器A配置在上述3波长多重光的光路上，对上述波长波幅的中心波长为λ3的光进行分解或者合成为上述波长波幅的中心波长为λ1和λ2这两个的波长多重光，上述第2光学滤波器B配置在上述2波长多重光的光路上，对上述2波长多重光进行分解或者合成为上述波长波幅的中心波长为λ1和λ2的光。利用这样的结构，能够改善因入射光的偏振面、S波、P波而使出射光的振幅波长特性背离的问题。另外，本专利技术作为波长多重合分波器的方式，上述第1光学滤波器A反射3波长多重光之中上述波长波幅的中心波长为λ3的光，同时，透射上述波长波幅的中心波长为λ1和λ2的2波长多重光，上述第2光学滤波器B反射在透射上述第1光学滤波器A的2波长多重光之中上述波长波幅的中心波长为λ2的光，同时，透射上述波长波幅的中心波长为λ1的光，以上述第1光学滤波器A的入射介质的折射率为nA，向上述第1光学滤波器A的3波长多重光和上述第1光学滤波器A的滤波器面的法线所成的角度为θA，以上述第2光学滤波器B的入射介质的折射率为nB，向上述第2光学滤波器B的2波长多重光和第2光学滤波器B的滤波器面的法线所成的角度为θB时，最好使θA≥15°，nA·SinθA≤0.95，θB≥15°，nB·SinθB≤0.85。另外，在上述方式中，在上述第1光学滤波器A和上述第2光学滤波器B所成的角度为α时，最好使60°≤α≤120°。另外，本专利技术作为波长多重合分波器的其他方式，上述第1光学滤波器A透射在3波长多重光之中上述波长波幅的中心波长为λ3的光，同时，反射上述波长波幅的中心波长为λ1和λ2的2波长多重光，上述第2光学滤波器B反射上述第1光学滤波器A反射的2波长多重光之中上述波长波幅的中心波长为λ2的光，同时，透射上述波长波幅的中心波长为λ1的光，在上述第1光学滤波器A的入射介质的折射率为nA，向上述第1光学滤波器A的3波长多重光和上述第1光学滤波器A的滤波器面的法线所成的角度为θA，在上述第2光学滤波器B的入射介质的折射率为nB，向上述第2光学滤波器B的2波长多重光和第2光学滤波器B的滤波器面的法线所成的角度为θB时，最好使θA≥5°，nA·SinθA≤0.95，θB≥5°，nB·SinθB≤0.85。另外，在上述方式中，上述第1光学滤波器A和上述第2光学滤波器B所成的角度为α时，最好使α≥θA+5，且10°≤α≤90°。另一方面，本专利技术的波长合分波器是将由至少3个波长波幅组成的波长多重光在所定的波幅分波或者/以及合成波长多重光的波长合分波器，该波长合分波器由一个光学基板或者将多个光学基板做成一体的结构组成，备有支撑在该光学基板上的至少2个第1光学滤波器A以及第2光学滤波器B，在上述3个波长波幅的中心波长为λ1、λ2、λ3时，0.94≤λ2/λ1≤0.98，有0.20≤λ3/λ1≤0.94的关系，上述第1光学滤波器A配置在上述3波长多重光的光路上，将上述波长波幅的中心波长为λ1的光与上述波长波幅的中心波长为λ2和λ3的2波长多重光进行合成或者分解，上述第2光学滤波器B配置在上述2波长多重光的光路上，对上述2波长多重光进行合成或者分解为上述波长波幅的中心波长为λ2和λ3的光。利用这样的结构，能够改善因入射光的偏振面、S波、P波所导致的出射光的振幅波长特性背离的问题。另外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波长合分波器，其特征在于，是将由至少３个波长波幅组成的波长多重光在所定的波幅分波或者／以及合波成波长多重光的波长合分波器，该波长合分波器具有一个光学基板或者由多个光学基板一体化的结构，备有支撑在该光学基板上的至少２个特性不同的第１光学滤波器Ａ以及第２光学滤波器Ｂ，在使上述３个波长波幅的中心波长为λ１、λ２、λ３时，０．９２≤λ２／λ１≤１．０８，有０．２０≤λ３／λ１≤０．９２或１．０８≤λ３／λ１≤５．００的关系，上述第１光学滤波器Ａ配置在上述３波长多重光的光路上，将上述波长波幅的中心波长为λ３的光合波或者分波成上述波长波幅的中心波长为λ１和λ２的２波长多重光，上述第２光学滤波器Ｂ配置在上述２波长多重光的光路上，将上述２波长多重光合波或者分波成上述波长波幅的中心波长为λ１和λ２的光。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：皆川良明，麿毅，
申请(专利权)人：日立麦克赛尔株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]