分色镜制造技术

本发明专利技术提供一种即使杂散光的入射角变大，亦能使杂散光难以透射的分色镜。玻璃等透明基板（１）的一面形成有第１多层膜滤波器（２），在另一面形成有第２多层膜滤波器（３）。将多层膜滤波器（２）作为低通滤波器，将多层膜滤波器（３）作为高通滤波器。并将多层膜设计成因入射角的变化导致的分光透射特性的偏移，在多层膜滤波器（３）大于在多层膜滤波器（２）。从而，即使在多层膜滤波器（２）产生因分光透射特性的偏移而应被遮光的波长透射的情形，亦能借助多层膜滤波器（３）的分光透射特性的偏移来遮断该波长的透射。因此，可大幅降低以较大入射角入射的杂散光透射过分色镜的比率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种分色镜。
技术介绍
分色镜的使用目的，是用以在光通信等领域中使第1波长光透射、并使第2波长光无法透射而加以反射。例如，设计成使1560 nm的波 长光透射、并使1310nm波长的光无法透射而加以反射的分色镜，是 使自光纤出射的1560 nm波长的光垂直入射分色镜并透射，且使自另 一光源出射的1310 nm的光以相同分色镜加以反射而入射上述光纤 中。上述光学系统中，由于1560 nm的光是垂直入射分色镜，以高透 射率透射，因此成为杂散光的量较少，实质上并无考虑的必要。然而， 由于1310 nm的光是以规定角度入射分色镜并反射，因此会有反射后 在光学系统中成为杂散光，而以较大入射角再次入射分色镜的情形。一般而言，已知以多层膜(本说明书及权利要求范围中，是指将 高折射物质与低折射物质交互重叠而使其具有规定光学特性的膜)形 成的滤波器中，分光透射特性是随着入射角的增大而偏移至短波长侧 (高频侧)。例如，图8是表示形成于玻璃上的具有表1所示膜构成的由多层 膜所构成的高通滤波器的分光透射特性。可以得知，对于1310nm的 光的透射率，至入射角40。为止能大致保持于0，但入射角在60。以上 则接近于40%。另外，表1中，n表示折射率、nm表示膜厚、nd表 示光学膜厚(nm)，关于上述表示，在以下的表中亦相同。表l<table>table see original document page 6</column></row><table> 一般而言，此种滤波器是设计成高折射物质与低折射物质的光学 膜厚之比大致为1。相对于此，专利技术人发现，若高折射物质与低折射物质的光学膜厚之比为2以上，则上述波长偏移可被抑制到某程度， 其结果，即使当倾斜入射时，特性的变化亦不大，并依据此发现进行 专利技术。本专利技术已公开于日本特开平11 - 101913号公报(专利文献1)。专利文献1:日本特开平11 _ 101913号7>才艮然而，即使应用专利文献l所揭示的技术，亦不易避免以较大入 射角入射的杂散光透射。例如，图9是表示形成于玻璃上的具有表2 所示膜构成的由多层膜所构成的高通滤波器的分光透射特性。与图8 相较，虽然特性已有改善，但对于1310nm的光的透射率，在入射角 60度时有2%左右，但在入射角80。时则达到30%左右。表2<table>table see original document page 7</column></row><table><table>table see original document page 8</column></row><table>
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而构成，其目的在于提供一种即使杂散光 的入射角变大，亦能使杂散光难以透射的分色镜。为达成上述目的，第l方案的分色镜，具有形成于基板单侧、或分别形成于基板两侧的由2种多层膜所构成的滤波器，是使以设计使 用角度入射该滤波器的第1波长光无法透射而加以反射，并使以该设 计使用角度入射该滤波器的波长大于该第1波长的第2波长光透射， 其特征在于由该多层膜所构成的滤波器包含低通滤波器部与高通滤 波器部，该低通滤波器部对于以该设计使用角度入射该滤波器的入射 光的截止频率处于在该第1波长的对应频率与该第2波长的对应频率 之间，该高通滤波器部对于以设计使用角度入射该滤波器的入射光的 截止频率是低于该第2波长的对应频率的频率；因光束以大于该设计 使用角度的入射角入射该滤波器所引起的该滤波器的分光透射特性的 偏移，而使得在该第l波长下，该低通滤波器部的透射率对于入射角 大于该设计使用角度的入射光超过设计值时，该高通滤波器部对于大 于该设计使用角度的入射光的截止频率，成为该第1波长的对应频率 以上，其结果，对于超过该设计值的入射光，该第1波长光的透射率 在该设计值以下。为达成上述目的，第2方案的分色镜，具有形成于基板单侧、或 分别形成于基板两侧的由2种多层膜所构成的滤波器，是使以设计使 用角度入射该滤波器的第1波长光无法透射而加以反射，并使以该设 计使用角度入射该滤波器的波长大于该第1波长的第2波长光透射， 其特征在于由该多层膜所构成的滤波器包含低通滤波器部与带通滤 波器部，该低通滤波器部对于以该设计使用角度入射该滤波器的入射 光的截止频率处于在该第1波长的对应频率与该第2波长的对应频率 之间，该带通滤波器部对于以设计使用角度入射该滤波器的入射光使 该第2波长光透射的低频侧的截止频率是低于该第2波长的对应频率 的频率；因光束以大于该设计使用角度的入射角入射该滤波器所引起 的该滤波器的分光透射特性的偏移，而使得在该第l波长下，该低通滤波器部的透射率对于入射角大于该设计使用角度的入射光超过设计 值时，该带通滤波器部对于大于该设计使用角度的入射光的低频侧截 止频率，成为该第1波长的对应频率以上，其结果，对于超过该设计 值的入射光，该第1波长光的透射率在该设计值以下。为达成上述目的，第3方案的分色镜，具有形成于基板单侧、或 分别形成于基板两侧的由2种多层膜所构成的滤波器，是使以设计使 用角度入射该滤波器的第1波长光无法透射而加以反射，并使以该设 计使用角度入射该滤波器的波长大于该第1波长的第2波长光透射， 其特征在于由该多层膜所构成的滤波器包含带通滤波器部与高通滤 波器部，该带通滤波器部对于以该设计使用角度入射该滤波器的入射 光使该第2波长光透射的高频侧的截止频率处于在该第1波长的对应 频率与该第2波长的对应频率之间，该高通滤波器部对于以设计使用 角度入射该滤波器的入射光的截止频率是低于该第2波长的对应频率 的频率；因光束以大于该设计使用角度的入射角入射该滤波器所引起 的该滤波器的分光透射特性的偏移，而使得在该第l波长下，该带通 滤波器部的透射率对于入射角大于该设计使用角度的入射光超过设计 值时，该高通滤波器部对于大于该设计使用角度的入射光的截止频率， 成为该第1波长的对应频率以上，其结果，对于大于该设计使用角度 的入射光，该第1波长光的透射率在该设计值以下。为达成上述目的，第4方法的分色镜，具有形成于基板单侧、或 分别形成于基板两侧的由2种多层膜所构成的滤波器，是使以设计使 用角度入射该滤波器的第1波长光无法透射而加以反射，并使以该设 计使用角度入射该滤波器的波长大于该第1波长的第2波长光透射， 其特征在于由该多层膜所构成的滤波器，是由对于入射角度的分光 透射率特性变化相异的带通滤波器构成， 一侧的滤波器是第l带通滤 波器，其对于以设计使用角度入射该滤波器的入射光使该第2波长光 透射的高频侧的截止频率处于在该第1波长的对应频率与该第2波长 的对应频率之间，另一侧的滤波器是第2带通滤波器，其对于以设计 使用角度入射该滤波器的入射光使该第2波长光透射的低频侧的截止频率，是低于该第2波长的对应频率的频率；因光束以大于该设计使 用角度的入射角入射该滤波器所引起的该滤波器的分光透射特性的偏 移，而使得在该第1波长下，该第1带通滤波器的透射率对于入射角 大于该设计使用角度的入射光超过设计值时，该第2带通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分色镜，具有形成于基板单侧、或分别形成于基板两侧的由２种多层膜所构成的滤波器，对以设计使用角度入射该滤波器的第１波长光具有设计值以下的透射率，对以该设计使用角度入射该滤波器的波长大于该第１波长的第２波长光具有大于对该第１波长光的透射率，其特征在于：　由该多层膜所构成的滤波器包含低通滤波器部与高通滤波器部，该低通滤波器部对于以该设计使用角度入射该滤波器的入射光的截止频率处于在该第１波长的对应频率与该第２波长的对应频率之间，该高通滤波器部对于以设计使用角度入射该滤波器的入射光的截止频率是低于该第２波长的对应频率的频率；　因光束以大于该设计使用角度的入射角入射该滤波器所引起的该滤波器的分光透射特性的偏移，而使得在该第１波长下，该低通滤波器部的透射率对于入射角大于该设计使用角度的入射光超过该设计值时，该高通滤波器部对于大于该设计使用角度的入射光的截止频率，成为该第１波长的对应频率以上，其结果，对于超过该设计值的入射光，该第１波长光的透射率在该设计值以下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：岗本干夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP[]