一种检测设备的检测方法及检测装置制造方法及图纸

本申请实施例公开了一种检测设备的检测方法及检测装置，检测设备具有测量方向、根据测量方向确定的设备参考系以及与测量方向对应的基准方向，检测设备包括检测模块，待测物上包括第一特征点和第二特征点，则可以在检测模块和第一特征点具有第一相对位置时，利用检测设备对第一特征点进行第一检测，而后，在检测模块和第二特征点具有第二相对位置时，利用检测设备对第二特征点进行第二检测，从而可以根据检测结果以及第一特征点和第二特征点的固有位置关系获取基准方向和测量方向之间的待测夹角，以提高检测设备的检测准确性，且该方法中确定待测夹角的方式仅需要两个沿基准方向距离已知的特征点，操作简单。

【技术实现步骤摘要】
一种检测设备的检测方法及检测装置
本申请涉及检测领域，特别是涉及一种检测设备的检测方法及检测装置。
技术介绍
目前，可以利用检测设备对待测物上的特征点进行检测，获取物体的特征，例如可以利用检测设备对待测物体进行检测，从而得到检测设备与待测物体上的特征点之间的距离，进而根据检测结果确定待测物的形貌。具体的，检测设备可以向待测物体发射检测光，检测光经待测物体表面反射后，反射光被检测设备接收，根据检测光和反射光的特征可以计算得到检测设备与待测物体表面的距离。在对特征点进行检测的检测过程中，可以为检测设备预设基准方向，通过检测设备的检测特性、固定方向以及对检测设备的检测结果的分析，可以将检测设备得到的检测结果处理为沿基准方向的位置信息，从而确定特征点的实际位置。其中，对于多个特征点而言，基准方向是一致的，从而可以体现各个特征点的相对位置。例如基准方向为竖直方向时，特征点在基准方向的位置信息可以通过各个特征点的高度体现，检测设备的固定方向可以有多种对应不同的分析过程，从而利用对特征点的检测结果得到特征点的高度。也就是说，检测设备的检测特性、固定方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测设备的检测方法，其特征在于，所述检测设备具有测量方向、根据所述测量方向确定的设备参考系以及与所述测量方向对应的基准方向，待测物上包括第一特征点和第二特征点，所述检测设备包括检测模块，所述方法包括：/n在所述检测模块和所述第一特征点具有第一相对位置时，利用所述检测设备对所述第一特征点进行第一检测，获取所述第一特征点在所述设备参考系中的第一位置信息；在所述第一相对位置时所述检测模块与所述第一特征点之间具有第一距离矢量；/n在所述检测模块和所述第二特征点具有第二相对位置时，利用所述检测设备对所述第二特征点进行第二检测，获取所述第二特征点在所述设备参考系中的第二位置信息；在所述第二相对位置...

【技术特征摘要】
1.一种检测设备的检测方法，其特征在于，所述检测设备具有测量方向、根据所述测量方向确定的设备参考系以及与所述测量方向对应的基准方向，待测物上包括第一特征点和第二特征点，所述检测设备包括检测模块，所述方法包括：
在所述检测模块和所述第一特征点具有第一相对位置时，利用所述检测设备对所述第一特征点进行第一检测，获取所述第一特征点在所述设备参考系中的第一位置信息；在所述第一相对位置时所述检测模块与所述第一特征点之间具有第一距离矢量；
在所述检测模块和所述第二特征点具有第二相对位置时，利用所述检测设备对所述第二特征点进行第二检测，获取所述第二特征点在所述设备参考系中的第二位置信息；在所述第二相对位置处所述检测模块与所述第二特征点之间具有第二距离矢量，所述第一距离矢量和所述第二距离矢量在所述基准方向上具有第一预设差值，所述第一预设差值为非零值；
根据所述第一预设差值、所述第一位置信息和所述第二位置信息，获取所述基准方向和所述测量方向之间的待测夹角。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一预设差值、所述第一位置信息和所述第二位置信息，获取所述基准方向和所述测量方向之间的待测夹角，包括：
根据所述第一位置信息及所述待测夹角获取第一特征点和所述第二基准点在沿所述基准方向上的第一位移表达式；
根据所述第二位置信息及所述待测夹角获取第二特征点和所述第二基准点在沿所述基准方向上的第二位移表达式；
根据所述第一位移表达式、所述第二位移表达式和所述第一预设差值建立关系等式；
根据所述关系等式获取所述待测夹角。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述检测模块具有第一基准点，所述待测物具有第二基准点，所述第二基准点位于所述设备参考系中，且在所述设备参考系中具有固定位置；
所述第一位置信息包括：在所述第一相对位置处所述第一基准点与所述第二基准点在沿所述基准方向的第一基准位移，以及所述第一特征点与所述第一基准点之间的第一特征位移；
所述第二位置信息包括：在所述第二相对位置处所述第一基准点与所述第二基准点在沿所述基准方向的第二基准位移，以及所述第二特征点与所述第一基准点之间的第二特征位移。


4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，
根据所述第一位置信息及所述待测夹角获取第一特征点和所述第二基准点在沿所述基准方向上的第一位移表达式的步骤包括：根据所述第一特征位移及所述待测夹角，获取所述第一特征位移在所述基准方向上的第一关系表示；根据所述第一基准位移和所述第一关系表示的矢量和，获取所述第一位移表达式；
和/或，
根据所述第二位置信息及所述待测夹角获取第二特征点和所述第二基准点在沿所述基准方向上的第二位移表达式的步骤包括：根据所述第二特征位移及所述待测夹角，获取所述第二特征位移在所述基准方向上的第二关系表示；根据所述第二基准位移和所述第二关系表示的矢量和，获取所述第二位移表达式。


5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述检测模块用于根据测量特征点与所述第一基准点沿检测模块的光轴方向的固有距离在所述测量方向的投影，获取所述测量特征点与所述第一基准点沿所述测量方向的特征距离；所述测量方向与所述检测模块的光轴方向之间具有预设夹角；所述测量特征点包括第一特征点和第二特征点，所述第一特征点与所述第一基准点沿所述测量方向的特征距离为所述第一特征位移，所述第二特征点与所述第一基准点沿所述测量方向的特征距离为所述第二特征位移；
根据所述第一特征位移及所述待测夹角，获取所述第一特征位移在所述基准方向上的第一关系表示的步骤包括：根据所述预设角度获取所述第一特征位移在所述光轴方向的逆投影，得到第一固有距离；根据所述预设角度和待测角度，获取所述第一固有距离在所述基准方向上的投影，得到第一关系表示；
根据所述第二特征位移及所述待测夹角，获取所述第二特征位移在所述基准方向上的第二关系表示的步骤包括：根据所述预设夹角获取所述第二特征位移在所述光轴方向的逆投影，得到第二固有距离；根据所述预设角度和待测角度，获取所述第二固有距离在所述基准方向上的投影，得到第二关系表示。


6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设夹角等于零度，或者所述预设夹角为锐角。


7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一特征点和所述第二特征点在所述基准方向上的距离为零，所述第一基准位移和所述第二基准位移不同，则所述第一预设差值为0，所述关系等式为：
[Z1/cos(θ0)*cos(θx+θ0)+h1]-[Z2/cos(θ0)*cos(θx+θ0)+h2]＝0；
其中，所述Z1表示所述第一特征位移，所述Z2表示所述第二特征位移，所述θ0为所述预设夹角，所述θx表示所述待测角度，所述h1表示所述第一基准位移，所述h2表示所述第二基准位移。


8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一特征点和所述第二特征点在所述基准方向上的距离不为零，所述第一基准位移和所述第二基准位移相同或不同，所述关系等式为：
[Z1/cos(θ0)*cos(θx+θ0)+h1]-[Z2/cos(θ0)*cos(θx+θ0)+h2]＝h0；
其中，所述Z1表示所述第一特征位移，所述Z2表示所述第二特征位移，所述θ0为所述预设夹角，所述θx表示所述待测角度，所述h1表示所述第一基准位移，所述h2表示所述第二基准位移，所述h0表示所述第一预设差值。


9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述检测设备还包括移动装置，所述移动装置用于使所述检测模块和/或所述待测物绕旋转轴相对旋转，所述旋转轴垂直于待测物的旋转平面，所述测量方向与所述旋转轴垂直，所述基准方向与所述旋转轴垂直，所述基准方向与所述旋转轴相交于所述待测物的旋转中心；所述检测模块具有第一基准线，所述待测物具有第二基准线，所述第一基准线垂直于所述旋转轴，所述第一基准线随所述检测模块旋转，所述第二基准线随所述待测物旋转，所述第二基准线垂直于所述旋转轴，所述第二基准点包括所述待测物的旋转中心；在基准位置时，所述第一基准线、所述第二基准线和所述基准方向重合；
获取所述第一基准位移的步骤包括：通过移动装置使所述待测物与所述检测模块相对旋转，使所述检测模块和所述第一特征点具有第一相对位置，获取所述第一相对位置处所述第一基准线和所述第二基准线之间的第一相对角，以及所述第一相对位置处所述第一基准点与所述旋转中心之间的第一轴向相对位移；根据所述第一相对角对所述第一轴向相对位移进行投影处理，得到所述第一基准位移；
和/或，
获取所述第二基准位移的步骤包括：所述第一检测之后，通过移动装置使待测物与检测模块相对旋转，使所述检测模块和所述第二特征点具有第二相对位置，获取所述第二相对位置处所述第一基准线和所述第二基准线之间的第一相对角，以及所述第二相对位置处所述第一基准点与所述旋转中心之间的第二轴向相对位移；根据所述第二相对角对所述第二轴向相对位移进行投影处理，得到所述第二基准位移。


10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，根据所述第一特征位移及所述待测夹角，获取所述第一特征位移在所述基准方向上的第一关系表示的步骤包括：获取所述第一相对角与所述待测夹角的矢量和，得到第一特征角；利用所述第一特征角对所述第一特征位移进行投影处理，得到所述第一关系表示；和/或，
根据所述第二特征位移及所述待测夹角，获取所述第二特征位移在所述基准方向上的第二关系表示的步骤包括：获取所述第二相对角与所述待测夹角的矢量和，得到第二特征角；利用所述第二特征角对所述第二特征位移进行投影处理，得到所述第二关系表示。


11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述第一特征点和所述第二特征点在所述基准方向上的距离不为零，所述第一基准位移和所述第二基准位移相同或不同，所述第一相对角为零，所述关系等式为：
[OA1+A1P1*cos(θ2)]-[OA2*cos(θ1)+A2P2*cos(θ1+θ2)]＝d0；
所述OA1为所述第一轴向相对位移，所述A1P1为所述第一特征位移，所述θ2为所述待测夹角，所述OA2为所述第二轴向相对位移，所述θ1为所述第二相对角，所述A2P2为所述第二特征位移，所述d0为所述第一预设差值。


12.根据权利要求2-8任意一项所述的方法，其特征在于，所述检测设备还包括移动装置，所述移动装置用于使待测物与检测模块相对运动；
利用所述检测设备对所述第一特征点进行第一检测，获取所述第一特征点在所述设备参考系中的第一位置信息，包括：通过所述移动装置使所述待测物与所述检测模块相对移动第一矢量，使所述检测模块和所述第一特征点具有第一相对位置；根据所述第一矢量获取所述第一基准点与所述第二基准点在沿所述基准方向的第一基准位移；当所述检测模块和所述第一特征点具有第一相对位置时，通过所述检测模块检测所述第一特征点，获取所述第一特征点与所述第一基准点在沿所述测量方向的第一特征位移；
利用所述检测设备对所述第二特征点进行第二检测，获取所述第二特征点在所述设备参考系中的第二位置信息，包括：所述第一检测之后，通过所述移动装置使所述待测物与所述检测模块相对移动第二矢量，使所述检测模块和所述第一特征点具有第二相对位置；根据所述第二矢量获取所述第一基准点与所述第二基准点在沿所述基准方向的第二基准位移；当所述检测模块和所述第一特征点具有第二相对位置时，通过所述检测模块检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，吕肃，李青格乐，方一，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44