一种MEMS微泵测试方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种MEMS微泵测试方法及系统，包括，基于最小二乘支持向量机构建控制模型；结合压力值指标判断贮液组件内压力与预设的第一阈值和第二阈值的大小，获得判断结果；利用所述控制模型读取所述判断结果，分别控制所述贮液组件与补液组件、量测器进行连通和关断；根据所述量测器中的液体变化得到所述待测微泵的测试数据。本发明专利技术使用补液组件和贮液组件辅助进行MEMS微泵测试，能够测试较小的输出液体体积和流量，同时，通过控制贮液组件的压力，可测试MEMS微泵在不同压力下的输出液体体积和流量，且系统中使用了单向阀的设计，保证了测试过程中不存在液体倒流的情况，保证了测试精度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS微泵测试方法及系统
本专利技术涉及MEMS微泵的
，尤其涉及一种MEMS微泵测试方法及系统。
技术介绍
近年来，由于MEMS技术的发展，带动了相关技术的发展，MEMS微泵也进入快速发展阶段。但是，由于MEMS微泵体积极小，流量、压力也非常小，对于MEMS微泵的性能测试存在极大困难，目前常规的测试办法以手动测试为主，一般是通过微泵压出的液柱高度来计算出口压力，一方面，这种测试方法不仅无法通过直接控制出口压力来测流量，也就是无法测试MEMS微泵在特定压力下的输出液体体积和流量，另一方面，手动测试的精确度不高。
技术实现思路
本部分的目的在于概述本专利技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和专利技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和专利技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本专利技术的范围。鉴于上述现有存在的问题，提出了本专利技术。因此，本专利技术提供了一种MEMS测试方法及系统，能够精准测试MEMS微泵在特定压力下的输出液体体积和流本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS微泵测试方法，其特征在于：包括，/n基于最小二乘支持向量机构建控制模型；/n结合压力值指标判断贮液组件内压力与预设的第一阈值和第二阈值的大小，获得判断结果；/n利用所述控制模型读取所述判断结果，分别控制所述贮液组件与补液组件、量测器进行连通和关断；/n根据所述量测器中的液体变化得到所述待测微泵的测试数据。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS微泵测试方法，其特征在于：包括，
基于最小二乘支持向量机构建控制模型；
结合压力值指标判断贮液组件内压力与预设的第一阈值和第二阈值的大小，获得判断结果；
利用所述控制模型读取所述判断结果，分别控制所述贮液组件与补液组件、量测器进行连通和关断；
根据所述量测器中的液体变化得到所述待测微泵的测试数据。


2.根据权利要求1所述的MEMS微泵测试方法，其特征在于：所述判断包括，
当所述贮液组件内压力低于预设的所述第一阈值时，所述控制模型控制补液组件与贮液组件连通，向所述贮液组件补液；
当所述贮液组件内的压力达到所述第一阈值时，所述控制模型控制所述补液组件与所述贮液组件关断并控制待测微泵与所述贮液组件连通。


3.根据权利要求2所述的MEMS微泵测试方法，其特征在于：还包括，
当所述贮液组件内的压力达到预设的所述第二阈值时，所述控制模型控制所述贮液组件与所述量测器连通；
当所述贮液组件内的压力再次达到所述第二阈值时，所述控制模型控制所述贮液组件与所述量测器关断。


4.根据权利要求1或3所述的MEMS微泵测试方法，其特征在于：构建所述控制模型包括，
选取径向基函数作为所述控制模型的目标函数，如下式：



其中，x＝{x1；x2；…；x14}：所述贮液组件内压力的幅频特性向量组成的幅频特性矩阵，y：所述量测器历史数据的幅频特性向量，σ：核宽度，即训练样本数集的分布或范围特性。


5.根据权利要求4所述的MEMS微泵测试方法，其特征在于：所述控制模型需进行训练测试，包括，
初始化惩罚参数C和σ，利用训练样本对所述目标函数进行训练，并用测试样本进行测试；
若所述控制模型精度未达到要求，根据误差对所述C和所述σ进行赋值优化，直到测试数据精度达到要求，输出所述控制模型。


6.根据权利要求5所述的MEMS微泵测试方法，其特征在于：获得所述测试数据包括，
当所述贮液组件内的压力达到所述第一阈值时，获取所述量测器内的第一量测刻度；
当所述贮液组件内的压力再次达到所述第二阈值时，获取所述量测器内的第二量测刻度；
根据所述第二量测刻度与所述第一量测刻度的差值和所述量测器的内径，计算得到所述待测微泵的输液体积。


7.一种MEMS微泵测试系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞达，赵晓燕，郭永信，赵永武，王永光，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32