【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种光学焦平面补偿机构。本技术的技术解决方案是一种光学焦平面补偿机构,其特点于它为一盘形的机械框架结构,在框架结构中,以显微物镜基线长度为直径的圆周上,分布着不同规格的光程补偿器,对径位置上的一对补偿器规格相同,其中一对的补偿量为零。本技术安装在一个球面调平机构上,对准时,根据样片规格,先设定好显微物镜到掩摸间的间隙,选择匹配的补偿器对,将补偿器相对掩摸调平,这时,掩摸上的标记刚好位于显微物镜的焦平面上;记录下其成像位置后,放入样品,设定样品与掩摸之间的间隙并调平,选择补偿量为零的补偿器,显微物镜焦面下降,样品底面的标记刚好位于显微物镜焦平面上,达到焦面补偿的目的。本技术与现有技术相比具有如下优点取代机械调焦机构,改善了调焦过程中机械式调焦机构运动引起图像的侧向位移和焦面的判读的主观性误差,降低了其结构的复杂性和加工装调难度,降低制造成本。本专利技术与现有技术相比有以下优点(1)调焦过程中,标记相对光学系统摆动及侧向位移小;(2)调焦判读客观准确,不受主观因素影响;(3)其结构简单、小巧,降低了加工装调难度和成本。如图2所示,光程补偿器2为有两个相互平行的折射平面构成的圆形的玻璃平行平板21结构,其介质材料22均匀,两平行平面23的面形为 平行度小于0.01秒。光程补偿器的工作原理为平行平板玻璃的成像原理平行平板使像或物沿光轴向光线行进方向平移Δ=d(1-1n),]]>n为平板材料的折射率,d为平板厚度。加入补偿器后,将物镜前工作距由样片底面拉伸到掩模底面。按补偿原理,从第一焦平面到第二焦平面,引起掩摸图像侧移的因 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:赵立新,胡松,张强,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:实用新型
国别省市:
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